产地类别: 国产
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激光波长 | 632.8nm (He-Ne laser) |
膜厚测量重复性 | 0.01nm (对于Si基底上110nm的SiO2膜层) |
折射率精度 | 1x10-4 (对于Si基底上110nm的SiO2膜层) |
光学结构 | PSCA |
激光光束直径 | <1mm |
入射角度 | 40°-90°可选,步进5° |
样品方位调整 |
三维平移调节
二维俯仰调节
光学自准直系统对准
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样品台尺寸 | Φ170mm |
单次测量时间 | 0.2s |
推荐测量范围 | 0-6000nm |
最大外形尺寸(长x宽x高) | 887 x 332 x 552mm (入射角为70º时) |
仪器重量(净重) | 25Kg |
量拓科技作为专业的高端椭偏仪器制造商,荣获国家“高新技术企业”、“ISO9001国际质量体系认证”、“中关村高新技术企业”、“海淀区创新企业”等资质,并获得“第五届北京发明创新大赛”金奖,以及入围“2011年度光伏行业十大创新设备供应商”等殊荣。
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