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EM01-PV-III多入射角激光椭偏仪（光伏专用）已升级至EMPro-PV极致型多入射角激光椭偏仪，主要升级内容包括：
EM01-PV-III为太阳能电池测试专用激光椭偏仪，用于单晶硅、多晶硅以及薄膜太阳能电池的膜厚和折射率测量，产品提供单晶硅专用太阳能电池样品台。
单晶、多晶及各种薄膜太阳能电池的折射率和膜厚测量领域，既适合科研院所研究使用，亦适合工厂进行工艺研究分析和产线上产品检测。
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激光波长 |
632.8nm(He-Ne laser) |
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膜厚测量重复性 |
0.05nm(对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) |
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折射率精度 |
5x10-4(对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) |
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结构 |
PSCA |
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激光光束直径 |
<1mm |
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入射角度 |
40°-90°可选，步进5° |
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样品方位调整 |
三维平移调节：±12.5mm（X-Y-Z三轴） 二维俯仰调节：±4° 光学自准直系统监视 |
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样品台尺寸 |
Φ170mm |
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单次测量时间 |
典型1.1s |
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推荐测量范围 |
0-2000nm |
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最大外形尺寸(长x宽x高) |
980 x 660 x 430mm (入射角为90º时) |
量拓科技作为专业的高端椭偏仪器制造商，荣获国家“高新技术企业”、“ISO9001国际质量体系认证”、“中关村高新技术企业”、“海淀区创新企业”等资质，并获得“第五届北京发明创新大赛”金奖，以及入围“2011年度光伏行业十大创新设备供应商”等殊荣。
