天眼查显示,兆易创新科技集团股份有限公司“一种半导体存储结构及其制作方法、存储装置”专利公布,申请公布日为2024年7月19日,申请公布号为CN118368896A。
背景技术
随着半导体工艺的发展,器件的尺寸越来越小,进一步带来的沟道长度或宽度也随之减少。
基于浮栅结构的存储单元,由于其擦写动作的特殊需求,不能一味地减少沟道长度或宽度,否则会严重影响存储单元的擦写性能。
发明内容
本申请公开了一种半导体存储结构及其制作方法、存储装置,该半导体存储结构包括:衬底,衬底的上表面上形成有沟槽;第一氧化层,形成于沟槽内,第一氧化层覆盖沟槽的侧壁和底壁;浮栅,形成于沟槽内,浮栅的上表面低于衬底的上表面;控制栅,形成于沟槽内,控制栅的上表面低于衬底的上表面;漏源区,形成于沟槽的两侧。通过上述方式,能够在保证沟道长度的同时,使得整体的半导体存储结构占用更小的衬底面积。
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