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半导体&电子测试测量，投稿：kangpc@instrument.com.cn
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2月15日，北京烁科中科信宣布本年度首台大束流离子注入机在国内某知名集成电路产线move in。
离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备。北京烁科中科信称，本台设备是大束流离子注入机工程化最新成果的集中体现，在原有设备性能的基础上，优化了多项机台核心参数，综合WPH已实现与国际先进机台对标。
据了解，北京烁科中科信电子装备有限公司成立于2019年6月17日，公司源于中国电科第48研究所，是国内唯一一家专注于集成电路领域离子注入机业务的高端装备供应商。公司产品聚焦集成电路主要应用领域，兼顾化合物半导体、材料加工制备等领域，形成中束流、大束流、高能机、定制机、化合物半导体等系列化离子注入机产品体系。2022年8月，北京烁科中科信第4台中束流离子注入机顺利于某集成电路产线Movein；同年9月，北京烁科中科信中束流离子注入机交付。
[来源：全球半导体观察]
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