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近日,千里马招标网公布了中芯国际集成电路制造(天津)有限公司24台离子注入机应用项目信息。
千里马招标网截图
信息显示,项目建设地点位于天津市直辖市西青区西青开发区兴华道19号,占地面积16800平方米,由中芯国际集成电路制造(天津)有限公司建设,项目投资1222000万元,其中环保投资36719万元。
千里马招标网截图
本次项目建设内容为扩建项目芯片离子注入车间使用离子注入机。项目将新安装使用24台离子注入机(最大能量2900KeV;最大电压1500KV,最大电流20MA,数量24台)。
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