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聚焦分子束外延设备,以期实现全产品线国产替代--访费勉仪器MBE应用专家高汉超

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分享: 2024/08/07 14:12:25
导读: SEMICON China 2024展会于2024年3月20日至22日在上海新国际博览中心隆重举行。展会上,仪器信息网特别采访了费勉仪器科技(南京)有限公司MBE应用专家高汉超。

2024年3月20日至22日,备受瞩目的SEMICON China 2024在上海新国际博览中心隆重举行。作为全球规模最大、规格最高、最具影响力的展会,有1100家企业参展,覆盖芯片设计、制造、封测、设备、材料、光伏、显示等产业链,是半导体行业的开年盛会。

展会期间,仪器信息网有幸采访到了费勉仪器科技(南京)有限公司MBE应用专家高汉超。在采访中,高老师详细介绍了公司所带来的分子束外延设备的具体型号,同时,还深入阐述了这些设备的创新点。此外,高老师还分享了公司产品相比国外产品在价格好和服务售后方面所具有的优势。不仅如此,高老师还提及了公司过往的销售成绩,并且阐述了未来的规划,包括拓展产品线和实现更大量产型机台的销售。最后,高老师也就国产替代发表了看法,并对分子束外延设备的市场趋势进行了分析和预测。

以下是现场采访视频:


仪器信息网:本次是贵公司第几次参加Semicon China,参会感受如何?

高老师:我们公司是第三次参加半导体展会,然后从这次参会的看,目前国产的设备厂商越来越多,从原材料到设备部件到整机,然后我们也看出来这几年的国产厂商在持续发力,我们这是非常好的现象,然后我们也希望国产的半导体厂商越来越多的进入半导体的供应链,然后实现国产替代。

 

仪器信息网:本次参会,贵公司带来了哪些分子束外延设备和产品?有哪些创新?

高老师:我们这次带来总共有 MBE600、800、800plus和1000这一些型号,然后目前我们展板上就有1000,这些型号我们能覆盖从2寸到8寸的这种化物半导体的晶圆,然后覆盖材料从二代半导体的镓、砷、铟、磷到三代半导体的氮化镓以及超宽基带的半导体这种氧化镓的材料外延生产的分子外延设备。这些分子测设备我们的主要创新点其实主要包括两个方面,第一个我们采用直接蒙特卡洛这种模拟的方法,然后在通过模拟原子和分子在生长腔内的行为,然后我们能够实现结构的优化,我们可以通过这种优化能够实现分子束外延具有非常好的一个布局,能够实现这种良好的均匀性。然后另一个创新点就是采用这种重载式的机械臂,能够实现非常好的定位精度,定位精度大概在±0.05毫米,能够保证分子束外延这种持续高效稳定的运行。

 

仪器信息网:相比于其他分子束外延厂商有哪些优势和特点?贵公司如何保持自己的差异化优势?

高老师:首先我们对比国外的这些产品,我们公司的产品的各项参数性能与国外类似的产品在指标性能上基本能够保持一致,但是价格我们比国外的产品应该是更有优势,而且我们公司立足在国内具有完善的研发服务,还有售后的这种团队,我们能够第一时间响应客户的要求,然后能够为客户提供这种多样的外延服务,就是多样的这种以客户为中心进行服务,能够满足客户的各种需求。

 

仪器信息网:您认为当前半导体行业对分子束外延设备的最大需求是什么?

高老师:MBE需求 我认为主要体现在两个方面,第一个就是在面向应用的就是生产型的设备,主要是面向应用,主要是用于微电子和光电子。由于份数具有比较好的真空,它生产的材料纯度也高,而且它的可控性好,它特别适合制造就是长周期的一些结构,包括砷化镓、磷化铟基的这种激光器、探测器等等以及一些微电子材料。例如砷化镓的一些HTTP的这种结构,这种材料都要求这种界面的可控性要求就比较高。而且随着现在这种微电子和光电子技术发展,可能对材料可控性要求越来越高,然后我相信未来MBE会进入更多的这种研究生产领域。

 

仪器信息网:贵公司在过去一年中,在中国市场取得了怎样的成绩?在2024年又有哪些战略或市场规划?

高老师:我们在2023年总共销售应该有9个产品,就是9套系统,然后目前在国内的分子束外延市场,我们几乎处于领先的一个位置2024年我们希望拓展我们的产品线,能够覆盖更多的材料,生产值及这种研发,然后我们希望能够实现这种更大的量产型机台的这种销售。

 

仪器信息网:近年来,国产替代受到广泛关注,请您谈谈在分子束外延设备领域的国产替代看法,以及贵公司在国产替代方面的布局。

高老师:由于近年来大家众所周知的原因,有很多设备是不能进口到国内的,然后我们分子束有些客户也遇到相同的问题,而且随着这几年的发展,大家对国产设备的接受度越来越高,而且我们公司的产品迭代的也越来越快,性能相比于前几代的产品越来越好,得到了客户的广泛认可。我们现在基本能够实现零部件和一些运动部件的平替,后续我们希望整个产品线从研发生产一直到生产的所有的机台型号设备产品的一个平替。

 

仪器信息网:根据您的观察和分析,您认为未来分子束外延设备市场将呈现哪些趋势?

高老师:我觉得主要有两个趋势,一方面是基础研究,目前国家对这个基础研究投入越来越高,而且MBE是作为一个非常灵活的基础研究的工具,它适合生长各类的材料和薄膜,这块是一个很明显的增量市场,还有一个趋势,可能大家希望在量产型设备向更大尺寸更高稳定性这块发展,我们公司也在规划未来会做一些量产型的这种大设备,以满足市场的需求。


[来源:仪器信息网] 未经授权不得转载

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作者:Jansky

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