半导体&电子测试测量,投稿:kangpc@instrument.com.cn
据科友半导体消息, 在14日举办的宽禁带半导体材料技术成果鉴定会上,哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司(以下简称“科友半导体”)“8英寸碳化硅长晶设备及工艺”通过中国电子学会科技成果鉴定。
资料显示,科友半导体是一家专注于第三代半导体装备研发、衬底制作、器件设计、科研成果转化的国家高新技术企业,研发覆盖半导体装备研制、长晶工艺、衬底加工等多个领域,已形成自主知识产权,实现先进技术自主可控。
2022年底,科友半导体通过自主设计制造的电阻长晶炉产出直径超过8英寸的碳化硅单晶,晶体表面光滑无缺陷,最大直径超过204mm。这是科友半导体继去年10月在6英寸碳化硅晶体厚度上实现40mm突破后,在碳化硅晶体生长尺寸和衬底尺寸上取得的又一次极具历史意义的重大突破。
哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司董事长赵丽丽表示,未来科友半导体将继续加大技术投入,快速推进二期工程。
[来源:全球半导体观察]
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