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北京亚科晨旭科技有限公司

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公司简介

资质荣誉
当前位置： ASTchian > 电子束曝光机 > SPTS深硅刻蚀设备

SPTS深硅刻蚀设备

品牌：
产地： 英国
型号： SPTS深硅刻蚀设备
报价： ¥400万 - 500万

核心参数

产地类别： 进口

最小线宽： 1000

电子束直径： 00

束流电压范围： 00

产品介绍

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SPTS深硅刻蚀设备

 

SPTS作为的深硅刻蚀和牺牲层刻蚀设备的供应商，SPTS能够提供一系列的解决方案来满足客户的生产和开发要求。通过一系列的技术的开发，SPTS能为客户提供一系列的先进的工艺，比如功率MOSFET和200mm和300mm晶圆上的高端封装（3D封装和芯片级封装）。

深硅刻蚀工艺的主要过程包括：

1） 钝化处理过程（C4F8等离子体）

一阶段：由C4F8产生CFn聚合物沉淀在所有的表面

2） 刻蚀过程（SF6等离子体）

第二阶段：由于离子体的定向运动，基面上的聚合物被去除的速度要比在侧壁的去除速度快。

第三阶段：暴露的硅表面就会被F系物刻蚀掉，SF6源源不断提供等离子体，来实现深宽比的刻蚀。

 

   

深硅刻蚀的主要应用包括: MEMS，先进封装（TSV）,功率器件等等。

的深槽刻蚀设备，可以提供快的刻蚀速度，但同时保证侧面特征良好控制和一致性。通过 软件以及硅技术实现了性能的工艺控制。

 

parameter ramping技术：

实时调节工艺过程参数，以达到佳侧面轮廓。


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 是
现场技术咨询： 有
免费培训： 技术人员现场培训
免费仪器保养： 2个月1次
保内维修承诺： 软件免费重装硬件维修
报修承诺： 24小时到达
工商信息

企业名称

北京亚科晨旭科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110105009081828

成立日期

2005-11-28

注册资本

500

经营范围

技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）

北京亚科晨旭科技有限公司为您提供SPTS深硅刻蚀设备，nullSPTS深硅刻蚀设备产地为英国，属于进口电子束曝光机，除了SPTS深硅刻蚀设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多电子束曝光机,ASTchian客服电话400-860-5168转4552，售前、售后均可联系。
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