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核心参数
自动化度： 全自动
方块电阻测量范围： 1mΩ/sq – 200MΩ/sq
方阻测量精度： ±1%
电阻率测量精度： ±1%
基板尺寸： 4寸～12寸
Filmetrics的薄膜电阻测量设备开发源自于有着超过30年经验的KLA的薄膜电阻计量技术，并由20年台式测量设备开发经验的Filmetrics团队完善了桌面式方块电阻测量产品。KLA薄膜电阻测量技术包括接触（4PP）和非接触（EC）方法。
优势 :
1)接触式四点探针(4PP)和非接触式电涡流(EC)
2) 100mm Z行程，高精度控制
3)导体和半导体薄膜电阻，10个数量级范围适用
4)测试点自定义编辑，包括矩形、线性、极坐标 以及自定义配置
5)100mm和200mm XY电动平台可选
6)RSMapper软件灵活易用
7)兼容KLA所有电阻测试探针
应用市场：
1）半导体
2）化合物半导体
3）先进封装
4）平板和VR显示
5）印刷电路
6）穿戴设备
7）导电材料
8）太阳能
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企业名称
上海艾尧科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91310230MA1K17UD9U
成立日期
2018-07-06
注册资本
300
经营范围
仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、橡塑制品、家用电器、照明设备、电气设备、消防器材、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑材料、电缆电线、电子产品、通信设备、文化办公用品、工艺礼品(象牙及其制品除外)、日用百货、普通劳防用品、服装鞋帽的销售,市政工程,环保工程,机电设备安装工程,机械设备租赁,商务信息咨询,会务服务,展览展示服务,从事机械、仪器仪表、信息技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,物业管理,房地产经纪,市场营销策划,设计、制作各类广告,货物运输代理,从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址
浦东新区建韵路500号
客服电话
公司名称： 上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址： 浦东新区建韵路500号 联系人： 张经理 13818193473 邮编： 201318 联系电话： 400-860-5168转4306
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