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红外光是最适合硅晶圆检测的光！因为硅它能透射红外光，却不能透射可见光，当使用近红外光进行成像时，硅这种特定的材料是可以透射并成像的，因此红外显微检测是硅晶圆缺陷检查用得最多的检测方式。
瑞士idonus红外显微镜装有长工作距离的物镜，三步变焦可以很容易选择视野。红外传感器镜头通过USB将图像传输到电脑。在物镜5倍的条件下，分辨率可以优于3 μm。另配有顶部光源，既可以作为传统模式使用，又能进行晶圆上面检查。XY移动台可以最大可以检测8英寸以内的晶圆，移动台用一个操纵杆进行全自动控制。
idonus红外显微镜的特点：
1、背面红外光源
2、顶部光源
3、XY移动台最大可检测晶圆尺寸8英寸
4、长工作距离物镜
5、三步变焦
6、红外传感器镜头
7、高分辨率（5倍物镜下分辨率优于3 μm）
8、操作简单，快速显示结果
idonus红外显微镜的应用：
1、MEMS器件的检查
2、填埋材料的蚀刻速率测试（如SOI晶圆）
3、融熔接合的检查
4、硅晶圆/碎片的背面校准
5、质量控制
IDONUS红外显微镜IR-M的工作原理介绍
红外显微镜IR-M的使用方法?
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红外显微镜IR-M可以检测什么？
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企业名称
上海艾尧科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91310230MA1K17UD9U
成立日期
2018-07-06
注册资本
300
经营范围
仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、橡塑制品、家用电器、照明设备、电气设备、消防器材、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑材料、电缆电线、电子产品、通信设备、文化办公用品、工艺礼品(象牙及其制品除外)、日用百货、普通劳防用品、服装鞋帽的销售,市政工程,环保工程,机电设备安装工程,机械设备租赁,商务信息咨询,会务服务,展览展示服务,从事机械、仪器仪表、信息技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,物业管理,房地产经纪,市场营销策划,设计、制作各类广告,货物运输代理,从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址
浦东新区建韵路500号
客服电话
公司名称： 上海艾尧科学仪器有限公司
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