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光电/MEMS/半导体薄膜应力表征解决方案
2021/06/02 09:26
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方案摘要：
产品配置单：
速普仪器【SuPro】薄膜应力测量仪FST5000
型号： FST5000
产地： 广东
品牌： 速普仪器
¥60万
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【速普仪器】涂层厚度测量仪/球坑测厚仪BCT1000
型号： BCT1000
产地： 广东
品牌： 速普仪器
¥5万
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速普仪器【SuPro】薄膜残余应力仪FST1000
型号： FST1000
产地： 广东
品牌： 速普仪器
¥50万
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速普仪器【SuPro】薄膜应力测试仪FST 5000
型号： FST 5000
产地： 广东
品牌： 速普仪器
¥60万
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方案详情：
1.测试原理
基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进的激光扫描方式和探测技术，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜应力仪特别适合于晶圆类光电薄膜样品的弓高、轮廓形貌、曲率半径和薄膜
应力测量。
2.为什么检测薄膜应力？
薄膜应力作为半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜镀膜过程中性能测试的必检项，直接影响着薄膜器件的稳定性和可靠性，薄膜应力过大会引起以下问题：
1.膜裂
2.膜剥离
3.膜层皱褶
4.空隙
检测薄膜应力是半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜品检及改进工艺的有效手段！
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等离子清洗仪处理TEM透射电镜样品清洗和活化
SEM/TEM电镜样品对于前处理有如下三点应用需求：1.等离子清洗；2.等离子活化；3.高真空存储。 针对扫描电镜领域，导电差的样品易于在场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）和聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM）中形成“积碳”的问题；以及在透射电镜领域，有机污染物影响高分辨成像及STEM成像产生“白框”碳污染的问题，可以通过RF射频离子源在样品放入扫描电镜或透射电镜观察表征之前，对样品进行真空等离子清洗的工艺来减轻甚至消除积碳影响。 离子清洗的工作原理为：RF射频离子源通入氧气后产生的等离子体被电磁场束缚于离子源内部；只有部分电中性的活性氧原子由于气压差的作用源源不断地被“挤压”进入到样品腔室内，与样品表面残留的有机污染物发生化学反应，生成CO2，CO，H2O并被真空泵组抽出；最终实现样品成像无积碳之目的，同时提高成像分辨率及衬度。 离子活化原理与离子清洗原理类似，RF射频离子源通入氧气后产生的等离子体被电磁场束缚于离子源内部。只有部分电中性的活性氧原子由于气压差的作用源源不断地被“挤压”进入到样品腔室内，与样品表面发生作用，提高表面能使之亲水（表面氧原子与水形成氢键，使后者有序平铺）。但样品的表面能量高，处于不稳定状态，故亲水效果不会维持太久（~几十分钟）。 高真空存储电镜样品及透射样品杆的原理为：真空泵组选用无油分子泵和无油隔膜泵，可以避免油污染的影响。并且由于采用分子泵+隔膜泵两级真空系统设计方案，系统能够实现高本底真空度，将样品表面残留气体及污染物抽走，避免样品前处理导致的二次污染问题。
半导体
2018/01/16
SEM扫描电镜成像积碳清除解决方案
1. SEM电镜腔体等离子清洗； 2. 积木式TEM样品杆及样品等离子清洗； 3. XPS过渡舱内的样品等离子清洗； 4. 超高真空腔体等离子清洗处理；
半导体
2021/09/26
磁控溅射沉积扫描电镜SEM样品贵金属导电膜
采用磁控溅射手段，通过磁控阴极+专用直流电源方式对样品喷金处理，有较低的离子轰击损伤和温升效应；另外，包括原位等离子清洗源选配模块，能够实现样品表面有机污染物清洗和活化；此外，还有操作简单，触控面板界面，一键式操作等特点。
能源/新能源
2018/12/05
贵金属电极材料/喷金喷碳薄膜制备方案
1.无油隔膜泵+分子泵产生无油高真空背景环境，能够在超净间内使用； 2.磁控溅射镀膜，采用高品质恒功率DC磁控溅射电源，保证恒定镀膜沉积速率； 3.能够利用该产品进行常规金属的磁控溅射镀膜应用；
能源/新能源
2018/01/17
公司名称： 深圳市速普仪器有限公司
公司地址： 深圳市南山区桂庙路瑞峰创业中心二楼B区2009 联系人： 张生 邮编： 518000 联系电话： 400-860-5168转4135
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