核心参数
仪器种类: 国产等离子体表面处理仪
射频频率: 13.56MHz
功率: 500W
设备尺寸: 18*12*10
样品腔容积: 1.6L
样品腔材质: 不锈钢
工作气体: 3路
控制方式: 自动
用户单位
采购时间
采购数量
郑州大学
2022/04/29
1
山东大学
2021/12/09
1
中科院大连化学物理研究所
2021/11/04
1
中科院青岛能源所
2021/09/21
1
湖南大学
2021/08/19
1
武汉理工大学
2021/04/30
1
南开大学
2021/04/23
1
北京理工大学
2021/03/17
1
西安理工大学
2021/03/10
1
南方科技大学
2021/01/06
1
北京航空航天大学
2020/11/13
1
清华大学
2020/09/18
1
南开大学
2020/09/08
1
聊城大学
2020/08/27
1
厦门大学
2020/07/22
1
桂林电子科技大学
2020/05/27
1
中国计量科学研究院
2020/04/15
1
北京工业大学
2020/03/26
1
上海大学
2020/03/19
1
深圳信息职业技术学院
2020/03/05
1
中科院金属所
2020/02/28
2
速普仪器表面处理仪SPC的工作原理介绍
表面处理仪SPC的使用方法?
速普仪器SPC多少钱一台?
表面处理仪SPC可以检测什么?
表面处理仪SPC使用的注意事项?
速普仪器SPC的说明书有吗?
速普仪器表面处理仪SPC的操作规程有吗?
速普仪器表面处理仪SPC报价含票含运吗?
速普仪器SPC有现货吗?
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等离子清洗仪处理TEM透射电镜样品清洗和活化
SEM/TEM电镜样品对于前处理有如下三点应用需求:1.等离子清洗;2.等离子活化;3.高真空存储。 针对扫描电镜领域,导电差的样品易于在场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)中形成“积碳”的问题;以及在透射电镜领域,有机污染物影响高分辨成像及STEM成像产生“白框”碳污染的问题,可以通过RF射频离子源在样品放入扫描电镜或透射电镜观察表征之前,对样品进行真空等离子清洗的工艺来减轻甚至消除积碳影响。 离子清洗的工作原理为:RF射频离子源通入氧气后产生的等离子体被电磁场束缚于离子源内部;只有部分电中性的活性氧原子由于气压差的作用源源不断地被“挤压”进入到样品腔室内,与样品表面残留的有机污染物发生化学反应,生成CO2,CO,H2O并被真空泵组抽出;最终实现样品成像无积碳之目的,同时提高成像分辨率及衬度。 离子活化原理与离子清洗原理类似,RF射频离子源通入氧气后产生的等离子体被电磁场束缚于离子源内部。只有部分电中性的活性氧原子由于气压差的作用源源不断地被“挤压”进入到样品腔室内,与样品表面发生作用,提高表面能使之亲水(表面氧原子与水形成氢键,使后者有序平铺)。但样品的表面能量高,处于不稳定状态,故亲水效果不会维持太久(~几十分钟)。 高真空存储电镜样品及透射样品杆的原理为:真空泵组选用无油分子泵和无油隔膜泵,可以避免油污染的影响。并且由于采用分子泵+隔膜泵两级真空系统设计方案,系统能够实现高本底真空度,将样品表面残留气体及污染物抽走,避免样品前处理导致的二次污染问题。
半导体
2018/01/16
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SPC真空等离子微栅碳支持膜活化测试报告
进口品牌涡轮分子泵和无油隔膜泵的完美配合产生一个洁净的<3*10-6 Torr的真空压强。特别适用于TEM 样品杆的真空检漏和样品等离子体清洗用途。采用远程射频离子源清洗,高效、低等离子体轰击损伤。标配两路清洗气体流量控制器,触摸屏控制,即插即用。
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2018/01/16
TEM样品杆及样品真空等离子清洗及活化报告
进口品牌涡轮分子泵和无油隔膜泵的完美配合产生一个洁净的<3*10-6 Torr的真空压强。特别适用于TEM 样品杆的真空检漏和样品等离子体清洗用途。采用远程射频离子源清洗,高效、低等离子体轰击损伤。标配两路清洗气体流量控制器,触摸屏控制,即插即用。
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2018/01/16
深圳市速普仪器有限公司
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