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等离子清洗仪处理TEM透射电镜样品清洗和活化

2018/01/16 16:35

阅读:2304

分享:
应用领域:
半导体
发布时间:
2018/01/16
检测样品:
集成电路
检测项目:
机械性能
浏览次数:
2304
下载次数:
参考标准:
样品疏水到亲水化转变

方案摘要:

SEM/TEM电镜样品对于前处理有如下三点应用需求:1.等离子清洗;2.等离子活化;3.高真空存储。 针对扫描电镜领域,导电差的样品易于在场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)中形成“积碳”的问题;以及在透射电镜领域,有机污染物影响高分辨成像及STEM成像产生“白框”碳污染的问题,可以通过RF射频离子源在样品放入扫描电镜或透射电镜观察表征之前,对样品进行真空等离子清洗的工艺来减轻甚至消除积碳影响。 离子清洗的工作原理为:RF射频离子源通入氧气后产生的等离子体被电磁场束缚于离子源内部;只有部分电中性的活性氧原子由于气压差的作用源源不断地被“挤压”进入到样品腔室内,与样品表面残留的有机污染物发生化学反应,生成CO2,CO,H2O并被真空泵组抽出;最终实现样品成像无积碳之目的,同时提高成像分辨率及衬度。 离子活化原理与离子清洗原理类似,RF射频离子源通入氧气后产生的等离子体被电磁场束缚于离子源内部。只有部分电中性的活性氧原子由于气压差的作用源源不断地被“挤压”进入到样品腔室内,与样品表面发生作用,提高表面能使之亲水(表面氧原子与水形成氢键,使后者有序平铺)。但样品的表面能量高,处于不稳定状态,故亲水效果不会维持太久(~几十分钟)。 高真空存储电镜样品及透射样品杆的原理为:真空泵组选用无油分子泵和无油隔膜泵,可以避免油污染的影响。并且由于采用分子泵+隔膜泵两级真空系统设计方案,系统能够实现高本底真空度,将样品表面残留气体及污染物抽走,避免样品前处理导致的二次污染问题。

产品配置单:

前处理设备

速普仪器SEM/TEM电镜样品等离子清洗系统

型号: SPC

产地: 广东

品牌: 速普仪器

¥50万

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方案详情:

透射电镜等离子清洗仪概述

      主要适用于TEM 样品杆的真空存储、检漏和样品等离子体清洗用途。采用远程射频离子源清洗,高效、低等离子体轰击损伤。标配两路清洗气体流量控制器,触摸屏控制,即插即用。    

等离子清洗仪有机污染物清洗原理

       采用RF射频远程等离子源作为核心部件。离子源通过RF射频电源将通入的空气离化,离化后产生的O活性自由基、O3臭氧及氧等离子体等强氧化粒子与样品表面有机污染物(碳氢化合物)发生化学反应,生成CO2,CO,H2O并被真空泵组抽出,最终实现样品表面有机污染物清洗之目的。


等离子清洗仪表面改性亲水化原理

       离子源通过RF射频电源将通入的空气离化,离化后产生的等离子体与样品表面作用,提高样品表面能,实现样品表面由疏水性到亲水性的转变。


等离子清洗仪测试结果

图片.png





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