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束蕴仪器（上海）有限公司

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应用分享 | 异形器件的失效分析测试方案之原位XPS+AES

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

元器件
失效分析（Failure Analysis）是探究元器件失效根源的重要手段，旨在为元器件设计、工艺、制造等流程提供改进方向，从而提升产品良率和可靠性。

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PHI X射线光电子能谱仪

PHI GENESIS 500

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应用分享 | 固态电池中电解质/金属锂界面的XPS-HAXPES表征

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

固态电池
以立方石榴石型Li7La3Zr2O12 (LLZO)作为固态电解质的固态电池（SSB），具有高锂离子电导率、低电子导电率（EC）、高机械和热稳定性以及宽电化学窗口等特点，有望成为推动下一代储能技术腾飞的“种子选手”。

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PHI 硬X射线光电子能谱仪

PHI GENESIS 900

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应用分享 | Bruker SkyScan XRM 在电池与清洁能源领域的应用

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

电池
随着全球对清洁能源需求的日益增长，电池技术的进步成为推动这一转变的关键因素之一。Bruker SkyScan X射线显微镜（XRM）因其在非破坏性高分辨率成像方面的优异表现，正在电池材料研发与质量控制中扮演着日益重要的角色。

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三维X射线显微镜（XRM）SKYSCAN 2214 CMOS版

SKYSCAN 2214 CMOS版

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应用分享 | 燃料电池电极界面的XPS-HAXPES表征

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

燃料电池
质子交换膜燃料电池（PEMFC），作为化石燃料极具潜力的可替代者而备受关注。燃料电池由阳极、阴极和电解质组成，其中电催化氧气还原和氢气氧化分别在不同的电极上单独进行，电子和质子分别通过电路和离子交换膜传输。

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PHI 硬X射线光电子能谱仪

PHI GENESIS 900

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应用分享 | FIB-TOF‖高效的TOF-SIMS深度分析

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

合金
聚焦离子束（Focused Ion beam，简称FIB）技术是利用静电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割技术。离子束轰击样品时，其动能会传递给样品中的原子/分子，产生溅射效应，从而达到不断蚀刻，进而切割样品的效果。

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飞行时间二次离子质谱仪

PHI nanoTOF3+

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应用分享 | TOF-SIMS在光电器件研究中的应用二

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

光电器件
宽带隙钙钛矿（1.68 eV）是两端钙钛矿/硅叠层太阳电池的重要前电池吸光材料。然而，这类宽带隙钙钛矿太阳电池中存在大量缺陷诱导的非辐射电荷复合，导致器件开路电压（VOC）远低于理论值，严重限制了器件效率的进一步提升。

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飞行时间二次离子质谱仪

PHI nanoTOF3+

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应用分享 | TOF-SIMS在光电器件研究中的应用

应用领域

半导体

检测样品

光电器件

检测项目

电池器件
光伏发电新能源技术对于实现碳中和目标具有重要意义。近年来，基于有机-无机杂化钙钛矿的光电太阳能电池器件取得了飞速的发展，目前报道的光电转化效率已接近26%。

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飞行时间二次离子质谱仪

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应用分享 | HAXPES∣多层结构器件界面的无损深度分析案例

应用领域

半导体

检测样品

光电器件

检测项目

电子元器件
XPS的探测深度在10nm以内，然而对于实际的器件，研究对象往往会超过10 nm的信息深度，特别是在一些电气设备中，有源层总是被掩埋在较厚的电极之下。因此，利用XPS分析此类样品，需要结合离子刻蚀技术。

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PHI 硬X射线光电子能谱仪

PHI GENESIS 900

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应用分享 | 锂离子电池充放电下的原位XPS表征

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

锂离子电池
锂离子电池(LIBs)和锂金属电池(LMB)都是多层的复杂体系，具有多种材料和界面，每个膜层和界面在性能和稳定性方面都起着关键作用。

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PHI 硬X射线光电子能谱仪

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应用分享 | PHI X射线光电子能谱仪在光学中的应用

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

带隙（Band Gap）
带隙（Band Gap），亦被称为禁带宽度，是半导体材料的重要参数之一。它不仅揭示了价电子被束缚的紧密程度，还是衡量半导体光学性能优越与否的重要指标。

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PHI X射线光电子能谱仪

PHI GENESIS 500

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应用分享 | PHI TOF-SIMS助力锂电的绿色可持续发展战略

应用领域

半导体

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检测项目

锂电
随着国内新能源汽车销量高速增长，动力电池装机量也随之迅速攀升。鉴于新能源汽车动力电池的平均使用寿命约为6~8年，动力电池在未来2-3年内将迎来大规模退役潮，因此动力电池的回收已成为全国甚至全球相关产业可持续发展的关键。锂的回收需要考虑诸多问题，如回收效率、回收成本、环境污染以及方法的可行性等。传统的废锂回收方法主要有火法冶金、湿法冶金、生物冶金和电化学萃取等。然而，根据全球环境规划署（United Nations Environment Programme）的报告，欧盟的废LIB回收率不5%，这意味着废锂的回收仍然面临着极大的挑战。

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飞行时间二次离子质谱仪

PHI nanoTOF3+

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应用分享 | 薄膜深度分析之角分辨XPS

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

薄膜
角度分辨X射线光电子能谱（Angle resolved XPS，ARXPS）是通过改变光电子起飞角，能量分析器检测到样品表面不同深度区域激发出来的光电子，进而得到样品化学信息的深度分布。ARXPS常用于对具有不同膜层结构的超薄膜样品进行分析，通常测试的膜层厚度要小于7.5 nm。

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PHI 硬X射线光电子能谱仪

PHI GENESIS 900

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应用分享 | 反光电子能谱IPES专辑

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

酞菁铜
固体的电学、光学和化学性质深受其占据态（occupied state）和非占据态（unoccupied state）电子结构的共同影响。

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PHI 硬X射线光电子能谱仪

PHI GENESIS 900

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应用分享 | 二次离子质谱中的基体效应

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

基体
在使用二次离子质谱（SIMS）技术对样品进行定量分析时，常遇到一系列棘手的问题：即便在浓度相同、测试条件一致的情况下，同一组分在不同的化学环境中二次离子产额可能跨越几个数量级；

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飞行时间二次离子质谱仪

PHI nanoTOF3+

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应用分享 | 全固态电池截面的原位 FIB 加工和分析

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半导体

检测样品

其他

检测项目

全固态电池
锂离子电池具有自放电小、开路电压高、能量密度大、循环寿命长等优点，自问世以来就备受关注。但是，锂离子电池采用含有机溶剂的液体电解质，存在不容忽视的安全隐患。

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飞行时间二次离子质谱仪

PHI nanoTOF3+

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​应用分享 | 使用高分辨率表面光电压(SPV)光谱分析SiC晶圆的表面质量

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

碳化硅基半导体
具有宽带隙的碳化硅基半导体，在制备各种高频、高温和大功率电子器件方面具有非常有前景。

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微波光电导衰减法--MDPmap 晶圆片寿命检测仪

MDPmap- 晶圆片寿命检测仪

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应用分享 | 电阻率测试对碳化硅半导体的意义

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

碳化硅
随着全球对能源需求的不断增加，特别是在电动或混合动力汽车和可再生能源管理这些领域，人们越来越注重以较低的电力消耗为目标，因此能在高频、高温、高压环境下工作的第三代半导体材料碳化硅（SiC）逐渐受到了广泛的关注

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电阻率测试仪（RESmap ）

电阻率测试仪（RESmap ）

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XRM应用分享 | 半导体芯片（封装）/电子元器件

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

电子元器件
目前的半导体产业正面临CMOS微缩极限的挑战,业界需要通过半导体封装技术的不断创新和发展来弥补性能上的差距。

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三维X射线显微镜（XRM）SKYSCAN 2214 CMOS版

SKYSCAN 2214 CMOS版

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XRD应用分享 | 单晶外延薄膜高分辨XRD表征

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

单晶材料
高分辨率 X 射线衍射 (HRXRD) 是一种强大的无损检测方法，其研究对象主要是单晶材料、单晶外延薄膜材料以及各种低维半导体异质结构。

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布鲁克BrukerX射线衍射仪(XRD)多功能桌面式（台式）衍射系统（XRD）D6 Phaser

多功能桌面式衍射系统（XRD）D6 Phaser

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一篇文章让你了解Topcon电池中的的PID效应

应用领域

半导体

检测样品

其他

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电池
“双碳”目标为我国带来能源领域的巨大变革，以光伏为表示的可再生能源逐渐成为实现我国能源结构优化与“双碳”目标的主力军。在此形势下，具有更高效率极限（28.2%~28.7%）的隧穿氧化钝化电池（tunnel oxide passivating contacts，TOPCon）成为了研究重点，其效率极限是较接近晶体硅太阳能电池理论极限效率（29.43%）的晶硅电池。

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台式双面电池PID测试仪

PIDcon bifacial

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应用分享 | MDP在4H-SiC少子寿命中的应用

应用领域

半导体

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其他

检测项目

载流子寿命
少数载流子寿命是影响半导体器件性能的基本参数之一，特别是对于应用在高压器件中的SiC来说。对于外延层来说，载流子寿命的主要影响因素是相当复杂的，因为外延层表面、外延层-衬底界面、外延层和衬底这都有助于载流子复合行为。

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MDPmap 晶圆片寿命检测仪

MDPmap

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德国弗莱贝格电池片PID测试仪PIDcon bifacial技术

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

太阳能电池
自2010年以来，潜在的诱导退化被认为是导致模块故障的主要原因之一。利用弗劳恩霍夫CSP开发的新技术，以及弗莱贝格仪器公司的台式工具PIDcon，可以对太阳能电池和微型组件的PID敏感性进行测试，现在已经投入市场。

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台式双面电池PID测试仪

PIDcon bifacial

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MDP少子寿命测试仪 | 掺杂样品的光导率测量

应用领域

半导体

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其他

检测项目

样品
B（硼）和P（磷）的掺杂被用于微电子工业的许多应用，但是到目前为止，还没有一种方法可以在不接触样品并由于必要的退火步骤而改变其特性的情况下检查这些掺杂的均匀性。到目前为止的困难是，掺杂区域通常只有几微米的深度，而且掺杂的剂量非常低。MDP能够以高的分辨率来描述这些掺杂的样品，并能很好地区分不同的掺杂剂量。

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MDPspot少子寿命测试仪

MDPspot少子寿命测试仪

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微型模组分类|电池片PID测试仪PIDcon bifacial

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

太阳能电池
台式系统PIDcon可以对微组模块进行常规质量控制，作为一种快速和低成本的PID敏感性测试，不需要气候室或其他扩张性工具。

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台式双面电池PID测试仪

PIDcon bifacial

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MDP少子寿命测试仪 | 铁浓度测定

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

铁浓度测定
铁浓度的精确测定是非常重要的，因为铁是硅中非常丰富也是较大有害的缺陷之一。因此，有必要尽可能准确和快速地测量铁的浓度，而且要有很高的分辨率，好的方法 是在线测量。

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MDPspot少子寿命测试仪

MDPspot少子寿命测试仪

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太阳能电池分类| 电池片PID测试仪PIDcon bifacial

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

太阳能电池
PIDcon可以在短时间内对太阳能电池的PID敏感性进行常规质量控制，并且不受EVA和玻璃的影响。

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台式双面电池PID测试仪

PIDcon bifacial

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台式PID检测仪用于EVA及其它封装材料的评估

应用领域

半导体

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其他

检测项目

太阳能电池
PIDcon的目的是使生产商不仅能测试太阳能电池，而且能测试封装材料。EVA或其它封装材料（POE/EPE胶膜）对PID的敏感性有至关重要的影响，需要进行测试评价。

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台式双面电池PID测试仪

PIDcon bifacial

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生产监控|电池片PID测试仪PIDcon bifacial

应用领域

半导体

检测样品

其他

检测项目

太阳能电池
电池片PIDcon设备被设计用来研究生产监控的PID敏感性，以及新工艺、材料和层变化的测试。

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台式双面电池PID测试仪

PIDcon bifacial

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少子寿命检测在SiC领域的应用

应用领域

半导体

检测样品

集成电路

检测项目

电化学及储能
近年来碳化硅材料的质量有了很大的提高，在大功率器件中碳化硅已成为硅的竞争对手。由于碳化硅是一种宽带隙半导体，与硅相比，它有许多优点。少数载流子寿命是关系半导体器件性能的基本参数之一，特别是SiC在高压器件中的应用。因此，有必要进行寿命检测，以获得某一器件的顶配性能。

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圆晶片和晶锭寿命测量 MDPspot 单点寿命检测仪

MDPspot 单点寿命检测仪

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X射线衍射仪(XRD) 少子寿命测试仪 X光电子能谱仪(XPS/ESCA) 其它X射线(衍射)仪 其它无损设备

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