2022/06/15 15:12
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方案摘要:
产品配置单:
圆晶片和晶锭寿命测量 MDPspot 单点寿命检测仪
型号: MDPspot 单点寿命检测仪
产地: 德国
品牌: Freiberg Instruments
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MDPinline高速晶圆片在线面检测仪 -- 一秒内完成晶
型号: MDPinline高速晶圆片在线面检测仪
产地: 德国
品牌: Freiberg Instruments
¥80万 - 100万
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MDPlinescan 在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪
型号: MDPinlinescan
产地: 德国
品牌: Freiberg Instruments
¥80万 - 100万
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方案详情:
近年来碳化硅材料的质量有了很大的提高,在大功率器件中碳化硅已成为硅的竞争对手。由于碳化硅是一种宽带隙半导体,与硅相比,它有许多优点。少数载流子寿命是关系半导体器件性能的基本参数之一,特别是SiC在高压器件中的应用。因此,有必要进行寿命检测,以获得某一器件的性能。为了制造出最高成品率的SiC器件,需要一种具有高分辨率的材料表征方法,以及一种研究SiC缺陷来源的方法,以进一步提高SiC器件的质量。
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