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少子寿命检测在SiC领域的应用
2022/06/15 15:12
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方案摘要：
产品配置单：
圆晶片和晶锭寿命测量 MDPspot 单点寿命检测仪
型号： MDPspot 单点寿命检测仪
产地： 德国
品牌： Freiberg Instruments
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MDPinline高速晶圆片在线面检测仪 -- 一秒内完成晶
型号： MDPinline高速晶圆片在线面检测仪
产地： 德国
品牌： Freiberg Instruments
¥80万 - 100万
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MDPlinescan 在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪
型号： MDPinlinescan
产地： 德国
品牌： Freiberg Instruments
¥80万 - 100万
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方案详情：
近年来碳化硅材料的质量有了很大的提高，在大功率器件中碳化硅已成为硅的竞争对手。由于碳化硅是一种宽带隙半导体，与硅相比，它有许多优点。少数载流子寿命是关系半导体器件性能的基本参数之一，特别是SiC在高压器件中的应用。因此，有必要进行寿命检测，以获得某一器件的性能。为了制造出最高成品率的SiC器件，需要一种具有高分辨率的材料表征方法，以及一种研究SiC缺陷来源的方法，以进一步提高SiC器件的质量。
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