PHI公司的PHI 710扫描俄歇纳米探针是一台设计独特的高性能的俄歇电子能谱(AES)仪器。该设备能分析纳米级特征区域,超薄薄膜和多层结构表界面的元素态和化学态信息。作为高空间分辨率,高灵敏度和高能量分辨率的俄歇电子能谱仪, PHI 710可以为用户提供纳米尺度方面的各种分析需求。
PHI710主要特点:
SEM分辨率≤ 3 nm, AES分辨率≤ 8 nm
在俄歇能谱的采集分析过程中,包括谱图,深度剖析及元素分布像,需要先在SEM图像上定义样品分析区域,必然要求束斑直径小且稳定。PHI 710的SEM图像的空间分辨率优于3nm,AES的空间分辨率优于8nm(@20kV,1nA),如下图所示:
图2则是关于铸铁韧性断裂的界面分析,左边是SEM图像,中间是钙、镁、钛的俄歇成像,右边则是硫的俄歇成像,这充分证明了PHI 710在纳米级尺度下的化学态的分析能力。
同轴筒镜分析器(CMA):
PHI 公司电子设备和分析器同轴的几何设计,具有灵敏度高和视线无遮拦的特点,满足了现实复杂样品对俄歇分析多方面表征能力的需求。如上图所示,所有俄歇的数据都是从颗粒的各个方向收集而来,成像没有阴影。
若设备配备的不是同轴分析器,则仪器的灵敏度会降低,并且成像有阴影,一些分析区域会由于位置的原因,而无法分析。如果想要得到高灵敏度,只能分析正对着分析器的区域。如下图所示,若需要对颗粒的背面,颗粒与颗粒之间的区域分析,图像会有阴影。
俄歇能谱仪的化学态成像:
图谱成像
PHI710能从俄歇成像分析的每个像素点中提取出谱图的相关信息,该功能可以实现化学态成像。
高能量分辨率俄歇成分像
下图是半导体芯片测试分析,测试的元素是Si。通过对Si的俄歇影像进行线性小二乘法拟合(LLS),俄歇谱图很清楚的反映出了三个Si的不同化学态的区域,分别是:单质硅、氮氧化硅和金属硅,并且可以从中分别提取出对应的Si的俄歇谱图,如第三行三张图所示。
纳米级的薄膜分析
如下SEM图像中,以硅为衬底的镍的薄膜上有缺陷,这是由于退火后,在界面处形成了硅镍化合物。分别在缺陷区域和正常区域设定了一个分析点,分析条件为高能量分辨率模式下(0.1%),电子束直径20nm,离子设备采用0.5kV设定,如下图所示:在MultiPak软件中,采取小二乘拟合法用于区分金属镍和硅镍化合物,同样区分金属硅和硅化物。可以看出,硅镍化合物只存在于界面处,而在镍薄膜层和硅衬底中都不存在。但是,在镍涂层的缺陷处,发现了硅镍化合物。
PHI SmartSoft-AES用户界面:PHI SmartSoft是一个从用户需求出发而设计的软件。该软件通过任务导向的方式指引用户导入样品,定义分析点,并设置分析条件,可以让新手快速,方便地测试样品,并且用户可以很方便的重复之前的测量。
PHI MultiPak 数据处理软件:MultiPak软件拥有多方面的俄歇能谱数据库。采谱分析,线扫描分析,成像和深度剖析的数据都能用MultiPak来处理。软件强大的功能包括谱峰的定位,化学态信息及检测限的提取,定量测试和图像的增强等。
选配件:
1. 真空室内原位样品泊放台;
2. 原位脆断;
3. 真空传送管;
4. 预抽室导航相机;
5. 电子能量色散探测器(EDS);
6. 电子背散射衍射探测器(EBSD);
7. 背散射电子探测器(BSE);
8. 聚焦离子束(FIB);
应用领域:
•半导体器件:缺陷分析、蚀刻/清洁残余物分析、短路问题分析、接触污染物分析、界面扩散现象分析、封装问题分析、FIB器件分析等。
•显示器组件:缺陷分析、蚀刻/清洁残余物分析、短路问题分析、接触污染物分析、接口扩散现象分析等。
•磁性存储器件:表面多层、表面元素、界面扩散分析、孔洞缺陷分析、表面污染物分析、磁头缺陷分析、残余物分析等。
•金属、合金、玻璃及陶瓷材料:表面沉积物分析、清洁污染物分析、晶间晶界分析等。
ULVAC-PHI俄歇电子能谱PHI 710的工作原理介绍
俄歇电子能谱PHI 710的使用方法?
ULVAC-PHIPHI 710多少钱一台?
俄歇电子能谱PHI 710可以检测什么?
俄歇电子能谱PHI 710使用的注意事项?
ULVAC-PHIPHI 710的说明书有吗?
ULVAC-PHI俄歇电子能谱PHI 710的操作规程有吗?
ULVAC-PHI俄歇电子能谱PHI 710报价含票含运吗?
ULVAC-PHIPHI 710有现货吗?
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企业名称
束蕴仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310120003388984
成立日期
2016-09-23
注册资本
500
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
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