1. 使用CMA通州分析器,同时实现高灵敏度和高传输率。即使在低电流高空间分辨率情况下,都可轻松的进行分析。
2. 以20kV加速电压和电流1nA进行俄歇分析,AES空间分辨率可达≤8nm
3. 在保有所有CMA的优点同时,并加上了获得AVS(美国真空协会)设计奖的高能量分辨率功能,可以AES进行各种纳米级区域的化学态分析
4. Windows兼容软件
同轴筒镜分析高灵敏度和高通量分析仪CMA
1.同轴筒镜分析仪
同轴CMA是PHI公司在其电子光谱仪的中心轴上放置电子枪。CMA能各方面360度收集产生的俄歇电子,因此具有不受样品形貌和倾角影响的优点,下图显示同轴CMA和非同轴谱仪SCA的灵敏度特点。CMA从垂直入射到角度入射均能表现出高灵敏度特点,角度依赖性低,从而采用各种入射角度,分析各种形貌的样品均可得到好的定量结果。
![图片 1.png 图片 1.png](https://img01.71360.com/file/read/www/M00/F6/D2/wKj0iWKm__GAUPXUAAEOVDQaKug554.png)
△同轴CMA及非同轴分析器SCA灵敏度的比较
2.比较分析形态复杂的样本
下图比较CMA和SCA所采集的铜锡球SEM成像,以及俄歇成分像,SCA中俄歇成分图的阴影效果非常明显,而CMA所获得的SEM像和俄歇成分像可准确地反映真实结果。
![图片 2.png 图片 2.png](https://img01.71360.com/file/read/www/M00/F6/D2/wKj0iWKnAAWAOnjxAAFY9UWHoAU280.png)
△球状样品中CMA和SCA数据的比较
SEM空间分辨率≤3nm
AES成分像空间分辨率≤8nm
俄歇分析通过SEM观察确定分析位置,再进行采谱,成分分布成像和深度剖析。在SEM观察时需要细小的聚焦电子束斑,同时进行俄歇分析,需要非常稳定的电子束。
SEM成像分辨率可达3纳米左右,AES710使用低噪声电源(图1),采用隔音罩以减小震动、声音和温度的影响,AES分析时分辨率可达到8nm(20kV 1nA)
图2案例:球墨铸铁断面中晶间杂质的分析。
图2所示:二次电子像,Ca(蓝色)Mg(绿色)Ti(红色)俄歇成分像,以及S的俄歇成分分布像,表明了AES纳米级微区的化学分析能力。
![图片 3.png 图片 3.png](https://img01.71360.com/file/read/www/M00/F6/D3/wKj0iWKnAGuALckRAADubz8IWkI631.png)
AES化学态分析图谱和分布像
PHI710 AES成分像,每个像素点对应的图谱可对元素存在的化学态进行解析,进而化学态成像。
高能量分辨率
下图显示半导体芯片电极Si KLL的高能量分辨率成分分布图。由Si KLL谱进行 小二乘法拟合(LLS)得出三个主要成分:硅、氮氧化硅、金属硅化物,可得到这三种硅的化学态在同一表面的分布像。
△半导体芯片电极分析实例
基于Windows系统的操作软件和数据处理软件
SmartSoftTM-AES(操作软件)
SmartSoft AES是在Windows系统上运行的PHI710控制软件。软件设置的AES分析操作流程显示在屏幕上,即便是初学者也可以轻松掌握。为提高分析效率,实时测量位置,SEM图、俄歇分布图及谱图等都能同事呈现。Zalar旋转功能使深度剖析灵活实现,烘烤和真空控制自动化。下图是操作屏幕画面。
PHI MultiPakTM(数据分析软件)
提供分析软件PHI MultiPak使俄歇分析更完善。支持快速创建报告,并提供了基于WINDOWS
系统的易于使用的数据处理功能和数据分析能力。
![图片 6.png 图片 6.png](https://img01.71360.com/file/read/www/M00/F6/D3/wKj0iWKnAKWAb8yHAAHlRax7N94590.png)