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MDPlinescan 在线晶圆片/晶锭点扫或面扫检测仪
产品介绍▼
l 各种不同的样品，从单晶硅到多晶硅，从生长的晶片到加工过的晶片，都可以通过MDPlinescan使用少子寿命测量进行检测。
l MDPlinescan是一个易于集成的OEM单元，可集成到各种自动化的检测线。关键的测量参数是实时的载流子寿命扫描。
l 样品通常由测量头下的传送带或机器人系统来输送。应用实例从晶锭到晶圆的检测，每个晶圆的测量速度小于一秒。
l 该仪器有许多专门应用可能性。由于其易于集成，只需要以太网连接和电源即可。例如，电池生产线上的来料质量检查是其最常用的一种应用方向，同样，钝化和扩散后的工艺质量检查也能用到此款产品。
特性▼
l 允许单片调查
l 配方的基础测量
l 监控材料质量、工艺的完整性和稳定性
优势▼
l 在μ-PCD或稳态激发条件下测量少数载流子寿命和电阻率是这个工具的重点。
l 用于集成在生产线的多晶或单晶硅晶圆,包括材料制备，和各种工艺处理阶段。
l 小尺寸和标准的自动化接口使集成变得容易。优势是长时间的可靠性和测量结果的高精度。
技术参数▼
样品种类 | 多晶或单晶晶元片， 晶锭，晶胞 |
样品尺寸 | 大约50 x 50 mm2 |
电阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
电导类型 | p, n |
材质 | 硅晶圆，部分或完全加工晶圆，化合物半导体等 |
测量属性 | 载流子的少子寿命 |
硬件接口 | ethernet |
大小 | 174 x 107 x 205 mm, 重量: 3 kg |
电源 | 24 V DC, 2 A |
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少子寿命检测在SiC领域的应用
近年来碳化硅材料的质量有了很大的提高，在大功率器件中碳化硅已成为硅的竞争对手。由于碳化硅是一种宽带隙半导体，与硅相比，它有许多优点。少数载流子寿命是关系半导体器件性能的基本参数之一，特别是SiC在高压器件中的应用。因此，有必要进行寿命检测，以获得某一器件的顶配性能。
半导体
2022/06/15
企业名称
束蕴仪器（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310120003388984
成立日期
2016-09-23
注册资本
500
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
束蕴仪器（上海）有限公司
公司地址
上海市松江区新桥镇千帆路288弄3号楼602室-1
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公司名称： 束蕴仪器（上海）有限公司
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