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微波光电导衰减法--MDPmap 晶圆片寿命检测仪
产品介绍▼
MDPmap是一个紧凑的离线台式检测设备，主要被设计用于生产控制或研发、测量少子寿命、光电导率、电阻率和缺陷信息等参数。其工作状态为稳态或短脉冲激励下（μ-PCD）。
MDPmap自动化的样品识别和参数设置可以使该仪器方便地适应各种不同的样品，包括从生长的晶圆到高达95%的金属化晶圆之间不同制备阶段的各种外延片和晶圆片。
MDPmap主要优点是其高度的灵活性，它允许集成多达4个激光器，用于从超低注入到高注入的与注入水平相关的寿命测量，或者通过使用不同的激光波长提取深度信息。
设备特点▼
>>灵敏度：对外延工艺监控和不可见缺陷检测，具有可视化测试的较高分辨率
>>测量速度：6英寸硅晶圆片，1mm分辨率 ，小于5分钟
>>寿命测试范围: 20纳秒到几十毫秒
>>沾污检测：源自坩埚和生长设备的金属(Fe)污染
>>测量能力：从初始切割的晶圆片到所有工艺加工的样品
>>灵活性：允许外部激光通过触发器，与探测模块耦合
>>可靠性： 模块化和紧凑台式仪器，更高可靠性，正常运行时间> 99%
>>重现性： > 99.5%
>>电阻率：无需时常校准的电阻率面扫描
Lifetime map of passivated multicrystalline silicon
Iron contamination map of multicrystalline silicon
Bor oxygen map of mono silicon
Trap density map of mono silicon
设备参数▼
样品尺寸 | 5mm—300mm（300mm为标配，可根据需求提升至450mm） |
寿命范围 | 20ns到几毫秒 |
电阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
电导类型 | p/n |
材质 | 硅晶圆，外延层，部分或完全加工晶圆，化合物半导体等 |
测量属性 | 少数载流子寿命、光电导性 |
激励源 | 可选四种不同波长（355nm—1480nm），默认值为980nm |
大小 | 680 x 380 x 450 mm, 重量: 65 kg |
电源 | 100-250V，50/60 Hz, 5A |
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企业名称
束蕴仪器（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310120003388984
成立日期
2016-09-23
注册资本
500
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
束蕴仪器（上海）有限公司
公司地址
上海市松江区新桥镇千帆路288弄3号楼602室-1
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