桌面单点测量
低成本的台式寿命测量系统,可在不同的制备阶段表征各种不同的硅样品,没有内置的自动化。可选配手动z轴,用于厚度在156毫米以下的晶锭。结果可视化的标准软件。
MDPspot包括一个额外的电阻率测量选项。电阻率测量仅适用于硅,可用于没有高度调整可能性的晶圆片,也可用于晶锭。须预定义这两个选项之一。
· 无接触破坏的电子半导体特性
μ-PCD测量选项
外延片不可见的缺陷和检测的灵敏度的可视化
集成多达四个激光器适用于一个广泛的注射水平
获取单一瞬态的原始数据以及用于特殊评估目的的图
· 用于不同制备阶段,从成体到最终器件,多晶硅或单晶硅单点测量载流子寿命的台式装置。
· 体积小,成本低,使用方便。拥有一个基本的软件,结果可视化。
适用于晶圆片到晶锭,易于高度调整。
样品 | 不同的处理步骤,如钝化或扩散后的单晶或多晶硅晶圆、晶锭、电池、晶圆 |
样品尺寸 | 50 x 50 mm2 到12“ 或210 x 210 mm2 |
电阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
材质 | 硅晶圆,晶锭,部分或全部加工晶圆,复合半导体和更多其它类型 |
检测性能 | 载流子寿命 |
尺寸 | 360 x 360 x 520 mm,质量:16 kg |
电源 | 110/220 V, 50/60 Hz, 3 A |
· 允许单片调查
不同种类的晶圆片有不同的菜单
监控材料、工艺质量和稳定性
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少子寿命检测在SiC领域的应用
近年来碳化硅材料的质量有了很大的提高,在大功率器件中碳化硅已成为硅的竞争对手。由于碳化硅是一种宽带隙半导体,与硅相比,它有许多优点。少数载流子寿命是关系半导体器件性能的基本参数之一,特别是SiC在高压器件中的应用。因此,有必要进行寿命检测,以获得某一器件的顶配性能。
半导体
2022/06/15
企业名称
束蕴仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310120003388984
成立日期
2016-09-23
注册资本
500
经营范围
仪器仪表、实验室设备、机械设备及配件、机电设备及配件、电子产品、化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品)、一般劳防用品、玻璃制品的批发、零售,从事仪表科技、机械科技、机电科技、电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务,一类医疗器械、仪表仪器的维修,一类医疗器械批发、零售,自有设备租赁,设计、制作各类广告,电子商务(不得从事金融业务),从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
束蕴仪器(上海)有限公司
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上海市松江区新桥镇千帆路288弄3号楼602室-1
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