一年前，青岛，AsiaNANO 2018现场，仪器信息网采访了Park Systems(帕克原子力显微镜)创始人兼CEO Sang-il, Park博士(以下简称‘Park博士’)，Park博士讲述了其与AFM之间30余年的故事，以及辗转创业历程。让笔者进一步认识了这家AFM领域的独特公司：技术起源于AFM发明人之一的Calvin Quate教授实验室、最初AFM商业化创业源于美国硅谷、二次再创业于韩国水原市，传承、成长与创新，赋予其传奇色彩。

Park Systems韩国总部——Korea Advanced Nano Fab Center大厦一角

　　近日，仪器信息网受邀走进韩国水原Korea Advanced Nano Fab Center (KANC)大厦，走进帕克(Park)原子力显微镜韩国总部，零距离感受其历史传承与现代创新的碰撞、31年的逐步成长。走访受到了帕克(Park)原子力显微镜全球销售副总裁James Woo, 全球销售本部长YG Lee，亚洲区销售总经理Terry Yang, 全球市场部总经理Kenneth Kang等人的接待与欢迎。

企业历程：31年，伴AFM发展史共成长

　　AFM技术诞生与商用AFM问世——Park博士初次创业

　　1981年，G. Binning 与H. Rohrer 共同发明 STM。1985年， Gerd Binnig (IBM公司阿尔玛登研究中心)、Christoph Gerber(IBM公司苏黎世研究实验室)、Calvin Quate教授(斯坦福大学)共同发明了原子力显微镜，并共同在1986年3月的“物理评论快报”上发表了该成果。斯坦福大学 Calvin Quate 实验室成功发表全球首台AFM。

AFM三位发明人

(左至右：Gerd Binnig、Christoph Gerber、Calvin Quate)

Calvin Quate教授与Park博士

(1982年在读期间合影)

　　同时，作为Calvin Quate教授实验室的在读研究生，Park博士意识到AFM技术的广泛应用潜力，开始初次创业，于1988年在美国硅谷创立Park Scientific Instruments公司(PSI)，PSI作为世界上最初的商业化AFM公司获得了巨大成功。

1988年，世界首家AFM商业公司PSI在美国硅谷森尼维尔市成立

　　回韩国创立Park Systems，Veeco并购——Park博士二次创业

　　1997年，Park博士将正在良好发展的PSI出售给Thermo Spectra，回到韩国，开启归国第二次创业，创立其第二家AFM公司——PSIA(2007年，在公司10周年纪念日将公司名称更名为Park Systems(Park原子力显微镜)，并一直沿用至今，以下统称Park原子力显微镜)。

1997年，Park博士回韩国第二家AFM公司Park Systems(Park原子力显微镜公司)成立

　　1998-2001年间，Veeco先后并购当时三家AFM知名品牌：DI AFM，IBM AFM，Thermo Spectra/ Thermo Micro，一时间形成AFM垄断局面。2010年，Veeco出售给布鲁克，就此尘埃落地。

　　艰难初期到共同成长——Park原子力显微镜之发展

　　Park 原子力显微镜创立初期，James Woo回忆道，Park博士带着AFM技术回到韩国，公司首先面临AFM从零配件到最终成品整个环节的产业配套问题。Park原子力显微镜的供应商主要为数十家纳米领域公司，虽然有一定纳米产品加工基础。但作为当时引进的最新技术、纳米级精密表征仪器产品——AFM对相关零配件精度要求很高，当时相关产业链配套薄弱，本地供应商无法在短时间内完全满足需求。此背景下，1997年创立初，部分零配件需要从美国Thermo Micro等公司引进。与此同时，Park原子力显微镜也逐渐引导培养当地供应商的相关生产技术与能力，并着手开发部分自己独有的技术。2001年，随着Veeco对Thermo Micro等完成并购，公司从美国引进配件的通道就此中断，四年的技术积累及与本地供应商的共同成长之下，Park原子力显微镜就此开启了零配件的完全国内供应。

　　Terry Yang补充道，公司能度过艰难初期，除了得益于与供应商们的共同成长，也离不开与客户们的互助合作及新应用新技术的不断开发。Park原子力显微镜建立初期，回到韩国面对全新的AFM生产基础、全新的市场环境，公司需要开拓新的用户市场，重新获得市场的认可。在最初四年技术积累沉淀的基础上，利用韩国纳米技术领域的优势，公司不断开发新的产品技术。同时，与韩国诸多纳米科技领域高端用户展开多种形式技术合作，不断拓展一系列新的产品技术与解决方案，尤其在半导体等工业应用领域，逐渐积累了自身的优势。

2015年，Park原子力显微镜在韩国证券交易所KOSDAQ上市

　　2015年，Park原子力显微镜成功在韩国证券交易所KOSDAQ上市，成为首个依靠AFM单一产品上市的公司。韩国KOSDAQ对申请上市公司主要从销售额或技术创新两方面之一进行横向对比考量，一般会邀请两到三家第三方专业机构进行评估。Park原子力显微镜是按照技术创新进行评估考核的，且Park原子力显微镜也成为KOSDAQ评估上市以来，首个获得两家评估机构全部给出“AA”的最高评价。

走进Park原子力显微镜总部：感受年轻AFM公司的成长活力

6分29秒视频，走进原子力显微镜微观世界，走进Park原子力显微镜

Park原子力显微镜韩国总部坐落于韩国水原市，位于Korea Advanced Nano Fab Center (KANC)大厦中的四个楼层。KANC为韩国先进纳米技术工厂中心，入驻公司皆为纳米科技创新型企业单位，包括国家纳米研究所、先进半导体公司等。韩国国家在纳米科技领域的发展优势，以及KANC入驻单位的纳米科技属性，也为Park原子力显微镜的纳米级AFM研究与开发提供了得天独厚的创新沃土。Terry Yang举例说，创新的环境获得的一些支持与便利诸如韩国政府对纳米技术项目的基金支持、KANC入驻单位之间设备共享与最新信息互通等。

Park原子力显微镜科研与工业级AFM产品系列

　　而全球各地用户在世界各地实验室安装使用的超过2000台/套的Park品牌AFM产品，便全部是在这座大厦中完成研发、设计、装配、测试，及最终的打包并发往全球各地。

公司荣誉墙一角

　　生产管理——总部技术研发及生产+全球六大分公司共同应用开发

　　为支持全球用户对AFM先进技术的需求，Park原子力显微镜全球市场布局，除韩国总部，还分别在美国、德国、日本、新加坡、台湾、北京等设置了六大分公司，全球各地区办事处30余个。

　　AFM作为高度集成的纳米级精密仪器，为使其产品精确可靠性得到进一步保证，Park原子力显微镜的AFM研发、生产全部在韩国总部完成。全球六大分公司则与总部同时进行针对各地区用户的应用开发，以使产品技术不断创新，实时满足广大用户的最新需求。

　　AFM包含诸多专业配件，需要对应专业供应商提供。1997年在韩国创立，Park原子力显微镜在20余年里，逐渐共同成长出数十家零配件供应合作伙伴，这些供应商主要为纳米科技产品领域，各自负责供应不同的配件。而作为纳米级表征工具，AFM零配件的检测也更加严格，负责产品质量的品保部对配件将实施100%检测。

　　AFM的生产装配，主要在KANC大厦的一层中完成，生产团队达50人，因为AFM生产需要多种相关技术人才。而根据客户领域与需求特点的不同，Park原子力显微镜将产品的研发和生产都划分为科研与工业两个部门。如生产类的客户更看重重复性和准确性，科研类的客户则往往有许多特殊的需求，应用领域也比较广泛。所以针对不同的需求，科研与工业研发生产部门为不同用户提供了二十余项可选模块，基本可涵盖70-80%的用户需求。而针对一些特殊的需求，也会额外提供更多的可能选项。而关于库存管理，每种选型都有一定的库存，库存的数量，则会根据一定时期内对市场需求情况的分析，对不同产品进行动态调整，以最大限度节省生产资源。

研发中心与生产制造中心一角

　　市场推广——资深专家领衔，30余办事处下沉全球用户市场

　　市场推广与服务方面，如上所述，公司主要是通过总部与六大分公司领衔，指导全球30余办事处与当地经销商，对全球用户进行产品推广和技术支持。

　　在人才储备方面，Park原子力显微镜可谓是卧虎藏龙，除了产品研发方面的诸多业界大牛，各大分公司负责人也是全球AFM领域内深耕二十余年的风云人物。

　　Terry Yang介绍说，比如在大中华地区，该区总经理张家荣已经进入AFM领域超过20年，在业界以出色的市场营销能力而闻名。在其带领下，迎合中国政府对科研多元化的倡导，及半导体等行业的兴起，Park原子力显微镜在中国市场的业绩在近几年取得了迅速发展。在台湾已经设立分公司的基础上，2018年，北京办事处也实现升级为北京分公司，以更好地支援服务中国市场，并对中国主要科学实验室以及研究设施提供强有力支持。

　　Terry Yang补充道，AFM作为高精密仪器，专业的技术支持工作同样重要。为保证专业的技术服务，各分公司的员工在入职后，都需要到韩国总部进修一个月，对Park原子力显微镜产品技术进行系统学习。同时，全球所有地区的经销商筛选，除了营销能力，专业技术能力也是一个重要考核。

AFM技术进阶发展：研究领域领衔，工业领域后程助力

　　AFM技术——市场潜力巨大，纳米技术发展带动需求

　　据一份国外研究机构数据，在2012-2018年间，虽然AFM相比光学显微镜、电子显微镜的市场份额更低，但是AFM的年复合增长率达到了最高的10%，高于光镜的4.7%和电镜的6.8%，该数据展现了AFM更高的市场增长潜力。

研发中心一角

James Woo认为，AFM的高增长潜力主要缘于以下几方面：使用方便;常用测量设备的基本限制(电镜、光镜、轮廓仪等已不能满足日益小型化的下一代电子器件制造工艺的要求);所有科学和工业技术对微型计算机的需求;生命科学的发展对纳米尺度研究的需要等。

产品技术讨论

　　Park原子力显微镜十分重视AFM技术的研发，除了根据产品特征分设了科研型产品研发部和生产型产品研发部，另外公司研发人员占比与研发投入占比都分别达到30%以上。同时，Park原子力显微镜开发了三轴分离技术、非接触模式、自适应扫描系统(Adaptive Scan)等创新技术，以应对AFM的未来市场增长需求。三轴分离技术相对传统压电扫描管克服了产生明显图像失真、测量精度下降、反应慢等不足;非接触模式技术则避免了传统接触模式或轻敲模式探针针尖易磨损、样品表面容易被损坏，大大提高了探针寿命和测试结果的精确性;Adaptive Scan合理利用扫描分辨率与扫描速度两者此消彼长的反相关关系，实现“适应性”智能扫描，SmartScan软件更是让用户简单三步获得自己更倾向需求的测试结果。

　　AFM技术应用——科研型领衔，半导体等工业型需求凸显

　　AFM的诞生，最初主要服务于科研领域，应用研究方向广泛，包括纳米光学设备、癌细胞、干细胞、石墨烯、纳米器件、纳米-光刻技术、固体物理等与微观表界面研究相关领域，这些领域对AFM的需求更倾向与高性能、多功能等，体积也相对工业型AFM要小一些。

　　随着纳米科技的快速发展，半导体、电池、IT设备、高端平板玻璃等工业领域向微观尺度不断进阶，在光学显微镜、电子显微镜等以往测量手段无法完全满足需求的基础上，工业型AFM的需求日益凸显。Park原子力显微镜顺应市场需求，陆续发布迎合各类需求工业型-NX系列AFM产品，并逐渐在工业领域获得用户广泛认可。

工业型NX-系列AFM最终安装调试

　　例如在半导体行业，该领域表现明显龙头企业示范效应。IMEC(欧洲微电子研究中心)是欧洲领先的独立研究中心，研究方向主要集中在微电子、纳米技术、辅助设计方法等。最初，IMEC并不认可AFM在半导体领域的应用，即便一些安装了AFM的企业使用率也比较低。示范效应下，一定程度阻碍了AFM在半导体领域的应用推广。随着半导体向着测试半导体、人工智能半导体、感应器等方向的发展，半导体制程向着纳米级进发，AFM原子级三维表征能力便受到这些工业领域的逐渐关注。看到Park原子力显微镜与一些半导体企业的成功合作，IMEC开始重新考虑AFM这种测试工具，对不同AFM品牌经过近两年的评估，最终摒弃对AFM的成见，肯定了其在半导体应用中的可靠性，选择了与Park原子力显微镜合作。在IMEC与韩国三星诸多竞争交叉背景下，Park原子力显微镜也成为唯一进入IMEC工厂的韩国品牌产品。

IMEC首席执行官Luc Van den hove与Park Systems首席执行官Sang-il Park在首尔洲际交易所签署JDP协议

　　2015年2月3日，IMEC与Park原子力显微镜在首尔签署JDP协议，协议包括建立表面粗糙度、厚度、临界尺寸和侧壁粗糙度在内的在线AFM计量体系。此次合作获得多方媒体报道，并起到积极示范效应，AFM在半导体领域的应用得到了广泛的推广。

IMEC首席执行官在2018年访问韩国时，接受韩国KBS采访中谈Park原子力显微镜是IMEC工厂为数不多的韩国品牌

　　伴随Park原子力显微镜在工业型产品领域十余年的研发技术积累，对工业型NX-系列、全自动AFM的逐代改进升级，逐渐形成其品牌在工业领域的优势。工业型用户涵盖了IMEC、三星、IBM、NASA、LG、夏普等全球知名品牌。

　　在工业领域的带动下，AFM的市场份额逐渐走高，开始走进更广泛微观检测、测试领域，AFM也开始在更广的应用领域承担起与电子显微镜、光学显微镜交叉互补作用。面对AFM的未来发展，James Woo表示，Park原子力显微镜对AFM未来持续增长潜力持乐观态度，也坚信始终专注于AFM技术的Park原子力显微镜将会成长为AFM、乃至测量领域的伟大品牌。

合影留念

(左至右：Park原子力显微镜全球销售本部长YG Lee，亚洲区销售总经理Terry Yang, 仪器信息网编辑，全球销售副总裁James Woo, 全球市场部总经理Kenneth Kang)

后记

　　相对电镜、光镜等其他检测表征技术手段，AFM的30余年发展史，并不久远，甚至很年轻。另一个角度，AFM这类年轻的技术尚有很长的发展之路要走，这也使得我们这代人有幸成为AFM技术诞生、成长的见证者，AFM的发展，我们将共同见证。

　　作为只专注于AFM技术的公司，Park原子力显微镜具有独特的公司文化，呈现出美洲文化与亚洲文化的融合，既承接了Park博士早期在美国初次创业时期的勇于创新、开放与冒险精神，也保留了亚洲本土的团队合作、人文、友善文化，在这种东西融合企业文化背景下，“移植”的AFM创新技术的传承与坚守更显珍贵，31年的专注是Park原子力显微镜当下的真实写照，未来，Park原子力显微镜将继续续写AFM传奇!