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核心参数
仪器种类： 原子力显微镜
产地类别： 进口
仪器类型： 工业型
定位检测噪声： 0.02nm RMS
样品尺寸： 直径≤200mm(可选300mm)
样品台移动范围： 200mm*200mm (可选300mm*300mm)
Park NX20 原子力显微镜 用于失效分析的理想选择 |
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引领用于故障分析和大型样品研究的纳米计量工具
作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。 而仪器所提供的数据不能允许有错误的存在。 Park NX20，这款高精密的大型样品原子力显微镜，凭借着数据的准确性，在半导体和硬盘行业中大受赞扬。
全面多样的分析功能 Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。 高精密度可为用户带来高分辨率数据，让用户能够更加专注于工作。 与此同时，非接触扫描模式让探针针尖更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。 | 即便是刚接触原子显微镜的工程师也易于操作 Park NX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。 借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。 |
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为FA和研究实验室提供精准的形貌测量解决方案
样品侧壁三维结构测量 NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。 众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必需的。 |
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对样品和基片进行表面光洁度测量 表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精准的失效分析和质量保证。 |  |
高分辨率电子扫描模式 QuickStep SCM 超快的扫描式电容显微镜 PinPoint AFM 无摩擦导电原子力显微镜 |  |
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多种创新且创新的专利技术帮助顾客减少测试时间
| CrN样品所做的针尖磨损实验 | AFM测量 | |
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通过对比重复扫描情况下探针尖端的形状变化，您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。 | 借助真正非接触模式，探针尖端在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。 氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。 |
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低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌
没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌
超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。
√ 使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。 √ 在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。 | √ 没有前沿或后沿过冲现象 √ 终身无需校准，减少设备维护成本 |
| Park NX系列原子力显微镜 | 传统的原子力显微镜 |
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Park NX20特点 ————
低噪声XYZ位置传感器
低噪声XYZ闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。 | 高速Z轴扫描器,扫描范围达15um
高强度压电堆栈和挠性设计，标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz）且探针的Z轴扫描速率不低于48 mm/秒。 Z轴扫描范围可从标准的15um扩展至30um（可另选Z扫描头）。 | |
自动多点样品扫描 借助驱动样品台，可编程步进扫描，多区域成像，以下是它的工作流程： 1) 扫描成像 2) 抬起悬臂 3) 移动驱动平台到设定位置 4) 进针 5) 重复扫描该自动化功能可大大减少扫描 过程中人工移动样品所需时间，从而缩短测试时间，提高生产率。
| 集成編碼器的XY自动样品载台
编码器可用于所有自动样品载台，并可保证更高的重复定位精度，从而可更精准地控制样品测量位置。XY马达运动工作时分辨率为1 um重复率为2um。Z马达运动的分辨率为0.1um,重复率为1um。 | |
扫描头滑动嵌入式设计
您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜扫描头。 该设计可将扫描头自动锁定至预对准的位置， 无需调节激光位置，激光自动投射在针尖上。 借助于四象限检测器，显微镜可精确成像并准确测定力.距离曲线。 | 操作方便的样品台
借助创新的镜头设计，用户可从侧面操作控样品和探针。 根据XY轴样品台所设定的行程范围，用户在样品台上可放置的大样品体积直径可高达200 mm。 | |
用于高级扫描模式易插槽
您只需要将可选模块插入扩展槽，您便可激活高级扫描探针显微镜模式。 得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计，其产品线的配置兼容性大大提高。 | 同轴高功率光学集成LED照明和CCD系统
定制物镜配有超长工作距离（51 mm，0.21的数值孔径，1.0um的分辨率），带来超高的镜头清晰度。 同轴光源设计让用户可轻易地在样品表面寻找测试区域，物镜分辨率为0.7um。 得益于CCD的高端传感器，在获得较大视场的同时，分辨率却不受影响。 由软件控制的LED光源能为样品表面提供足够的照明，便于清晰观察样品。 | |
高速24位数字电子控制
所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理的。 该控制器是全数字、24位高速控制器， 可确保Park 真正非接触模式下的成像精度和速度。 凭借着低噪声设计和高速处理单元， 该控制器是纳米级成像和精确电压电流测量的绝佳选择。 嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能， 更好的解决方案，是资深研究院的理想选择。 XY.Z轴检测器的24位信号分辨率
嵌入式数字信号处理功能
集成式信号端口
| 自动Z轴移动和聚焦系统
高度限行Z轴移动和聚焦系统，可以得到清晰的视野和图像，用户通过软件界面进行操作，由高精度步进电机驱动，即使液体或者透明样品也可快速找到样品表面。 |
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QuickStep SCM模式
√ 比传统的扫描式电容显微镜(SCM)扫描速度快十倍 √ 信号灵敏度、空间分辨率和数据精准度不受影响 | 高通量QuickStep扫描 在QuickStep扫描模式下，SCM测量通量大幅提升，可达到标准SCM扫描速度的十倍，且信号灵敏度、空间分辨率和数据精准度不受影响。 在QuickStep扫描模式下，XY轴扫描器在各像素点停住，记录数据。 扫描器会在各像素点之间快速跳跃。 |
| QuickStep扫描 | 传统扫描 |
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| 扫描速度1.5Hz | 扫描速度1Hz |
扫描大小: 10 µm×3 µm, AC Bias: 0.5 Vp-v, DC Bias: 0 V
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Park SCM精准的掺杂形貌量测
在半导体制造业，分析掺杂剂分布对于确定失效原因和进行设计改进有着重要作用。 在器件特性化方面，SCM有着优异二维量化掺杂剂分布分析能力。 |  |
PinPoint导电原子力显微镜模式
PinPoint导电原子力显微镜模式是针对探针和样品之间的指定电接点而开发设计的。 在电流采样过程中，XY轴扫描器会依据用户设定的接触时间停止。 PinPoint导电原子力显微镜模式能够带来更高的空间分辨率，且不受 侧向力的影响，同时在不同样品表面的电流测量也得到优化。
| ——————PinPoint模式——————— | —————Contact————— | |
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样品: ZnO nano-rods, -3 V sample bias
通过对比氧化锌纳米棒在不同类型的导电原子力显微镜图像，我们可以看到相比轻敲式导电原子力显微镜，传统的接触式导电原子力显微镜有着更高精度的电流测量，但其分辨率低，原因 在于探针在接触中快速磨损。 全新的PinPoint导电原子力显微镜不但空间分辨率更高，且电流测量也得到优化。
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高带宽低噪声导电原子力显微镜
导电原子力显微镜是各类元件研究的重要工具，特别是工业的失效分析。 Park导电原子力显微镜在市场中拥有核心竞争力，不但有着全行业超低的电流噪声，且增益范围也是较大。
业内超低的电流噪声(0.1 pA)
业内超大的电流(10 μA)
巨大的增益范围（7个数量级，103-109）
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Park NX20先进的SPM模式
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Park NX20技术参数————
| 扫描器 | Z扫描器 柔性引导高推动力扫描器 扫描范围: 15 µm (可选 30um) 高度信号噪声等级: 30 pm (RMS, at 0.5 kHz带宽) | XY扫描器 闭环控制的柔性引导XY扫描器 扫描范围: 100 um× 100 um (可选 50um× 50um) |
| 驱动台 | Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized) 聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized) XY位移台行程范围 : 200 mm x 200 mm | |
| 样品架 | 样品尺寸 : 基本配置开放空间 up to 200 mm x 200 mm,厚度 up to 20 mm 样品重量 : < 500 g | |
| 光学 | 10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1um分辨率) 样品表面和悬臂的直观同轴影像 视野 : 840 × 630 um (带10倍物镜) CCD : 100万像素, 500万像素 (可选) | |
| 软件 | SmartScan™ AFM系统控制和数据采集的专用软件 智能模式的快速设置和简易成像 手动模式的高级使用和更精密的扫描控制 XEI AFM数据分析软件 | |
| 电子 | 集成功能 4通道数字锁相放大器 数据Q控制 信号处理 ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning Maximum data size : 4096 x 4096 pixels 连接外部信号 20个嵌入式输入/输出端口 5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP, 调制和交流偏压 | |
AFM 模式 | (*可选项) 标准成像 真正非接触式原子力显微镜 PinPoint™ 原子力显微镜 接触式原子力显微镜 横向力显微镜(LFM) 相位成像 轻敲式原子力显微镜
力测量 力-距离(F/d)光谱 力谱成像
介电/压电性能 静电力显微镜 (EFM) 动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC) 压电力显微镜 (PFM) 高压压电力显微镜*
机械性能 力调制显微镜 (FMM) 纳米压痕* 纳米刻蚀* 高压纳米刻蚀* 纳米操纵* | 磁学性能* 磁力显微镜 (MFM) 可调制磁力显微镜
电性能 导电原子力显微镜 (C-AFM)* IV 谱线* 扫描开尔文探针显微镜 (KPFM) 扫描电容显微镜 (SCM)* 扫描电阻显微镜 (SSRM)* 扫描隧道显微镜 (STM)* 光电流测绘 (PCM)*
化学性能* 功能化探针的化学力显微镜 电化学显微镜 (EC-AFM) |
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高级选项
为用户量身定制原子力显微镜 自动数据收集和分析，适合工业客户产线测量
Park的自动化控制软件， 可根据您的预设程序自动进行AFM测量。 它可以准确地收集数据，执行模式识别， 并使用它的寻边器和光学模块进行分析， 不需要人工介入，从而为您节省大量宝贵时间。 温度稳定的隔音罩 创新的控制设计使Park NX20能够快速达到温度平衡 NX20具有主动隔振功能。 集成编码器的自动载台 • XY马达运动工作时分辨率为1 µm，重复率为2 µm。 • Z马达运动的分辨率为0.1 µm，分辨率为1 µm。 | 倾斜样品倾角夹具，可帮助您进行样品侧壁成像。
NX20的创新架构实现了对样品侧壁和表面的检测， 还能够测量出相应角度。 这为您提供了更多的创新研究方案和对样品更深入的理解。 样品盘 • 用于电气测量的专用小样品架 • 用于固定晶圆的真空槽 温度控制 · 温控台 1: -25 °C to +170 °C·温控台 2: Ambient to +250 °C · 温控台 3: Ambient to +600 °C |
用户单位
采购时间
采购数量
复旦大学
2015/12/24
1
浙江大学
2016/01/11
1
江西师范大学
2016/03/25
1
中科院上海计物所
2019/04/25
1
曲阜师范大学
2019/06/06
1
Park 原子力扫描探针NX20的工作原理介绍
扫描探针NX20的使用方法?
Park 原子力NX20多少钱一台?
扫描探针NX20可以检测什么？
扫描探针NX20使用的注意事项？
Park 原子力NX20的说明书有吗？
Park 原子力扫描探针NX20的操作规程有吗？
Park 原子力扫描探针NX20报价含票含运吗？
Park 原子力NX20有现货吗？
更多
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利用导电探针原子力显微镜（CP-AFM）测量碳纳米管薄膜导电性
导电性测量是一种有效的方法, 可用来描述某些特殊应用中材料的特性与行为，从能量存储和能量转换元件，到分子元件电路以及纳米级半导体元件。导电探针原子力显微镜（CP-AFM）是其中一种相当有用的技术，它可以提供精确的纳米级测量和先进材料如CNTs膜的导电性的相对分布图。在过去的十年中，几种检测被引入来研究这些材料，然而，绝大多数只能测量有限的电性范围。在这项研究中，配备CP-AFM的Park NX20被用来研究具有广泛导电性的3种不同的材料。实验所得数据清晰地证明了，这项技术借由整合对数型电流放大器于系统中，可利用来测量不同导电材料的典型表征，以及提供薄膜材料的导电率空间解析图。
半导体
2019/07/04
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Park SThM USER'S MANUAL 扫描热显微镜用户操作手册
SThM技术通过使用带有电阻元件的热探针来绘制样品表面的热特性。扫描热显微镜（SThM）在两种模式下是可用的，热力模式（TCM）和热传导模式（CCM）。TCM允许用户测量样品表面的温度变化。CCM允许用户测量样品表面的热导率变化。
1858KB
2019/11/26
Park NX系列MFM USER'S MANUAL 磁力显微镜用户操作手册
磁力显微镜（MFM）是一种通过测量磁化尖端和磁性表面之间的磁力来绘制样品表面磁性的技术。MFM图像包含有关磁性的信息，如磁域的分布。
2060KB
2019/11/26
Park NX系列 EFM User's Manual 静电力显微镜用户操作手册
静电力显微镜（EFM）是一种通过测量样品表面和偏压AFM悬臂之间的静电力来反映样品表面电学性质的技术。EFM图像包含有关电子特性的信息，如样品表面的表面电位和电荷分布。
2641KB
2019/11/26
Park NX系列 C-AFM Users Manual 操作手册
在C-AFM测量中，导电尖端以接触模式AFM扫描表面，以映射出同一表面的形貌。同时，通过测量针尖与样品之间的电流，来反映样品表面的电导率等电特性。一般情况下，针尖与样品之间的电流非常小，需要用电流放大器放大后才能加工成图像。NX系列SPMs支持10^6~10^12 V/A可变增益的内部电流放大器，满足各种测量条件的需要。
2158KB
2019/11/26
网络讲座：导电原子力显微镜（C-AFM）在二维材料及纳米电子器件中的应用
导电原子力显微镜（C-AFM）是一种非常有用的扫描探针显微镜（SPA）纳米表征技术，它不仅可以对样品的形貌进行表征，更重要的是可以探测许多介质材料和电子器件的局部电学性质。C-AFM技术已经成功表征了介质薄膜的许多重要的纳米级现象，比如：局部缺陷、电荷捕获和释放、应力诱导漏电流、负偏置温度不稳定性等。   目前，随着电子器件尺寸和介电材料厚度的不断缩减，纳米级电学性质表征技术手段的应用和发展变得日益重要。本讲座首先简要介绍C-AFM技术的发展历程、工作原理、工作特点及方式；其次重点介绍C-AFM技术在二维材料和忆阻器中的电学表征应用。   具体内容是利用C-AFM技术：1.研究化学气相沉积法制备的六方氮化硼（h-BN）的电学性质：介质击穿特性和厚度及电学性质均一性；2.在不同环境（大气和真空）下探测h-BN基忆阻器的阻变特性及导电细丝的形态表征；3.通过与其它电学设备相结合，实现更高性能的技术表征。最后，探讨未来多探针SPA技术的发展概念，有望实现在真空环境下对材料或器件的原位制备和表征。 主讲人： 惠飞博士 现以色列理工学院博士后，2018年7月获得巴塞罗那大学和苏州大学双博士学位。在攻读博士期间，她曾先后到世界顶级名校美国麻省理工学院和英国剑桥大学进行为期12个月和6个月的访学。在科研方面，5年时间内，她共参与发表SCI期刊学术论文38篇，其中，一作论文11篇，包括顶级期刊Nature Electronics, AdvancedFunctional Materials, ACS Applied Materials & Interfaces, 2D Materials, Nanoscale等。另外，她还参与德国Wiley出版的专著篇章一部，获批国家发明专利一项，申请国际专利两项，参与申请国际间/国家自然科学基金项目等8项。曾获得2019 ParkAFM博后奖学金、英国皇家化学会学者奖学金等。她的主要研究领域是化学气相沉积法制备二维材料及其在电子器件领域内的应用。
2941KB
2019/11/06
Park NX-Wafer 产品彩页介绍
具有自动缺陷检测&原子力轮廓仪功能的低噪声，高吞吐量原子力显微镜。NX-Wafer原子力显微镜提供精确的形貌量测，可用来监控化学机械研磨平面化制程，检测因材料差异所造成异质材料间的凹陷（dishing）效应与浸蚀（erosion）效应
1356KB
2019/11/06
Park NX-Hivac产品彩页介绍
用于失效分析应用的高真空扫描，再高真空条件下进行SSRM(Scanning Spreading-Resistance Microscopy-扫描扩展显微镜)测量能够减少所需的针尖-样品相互作用力，并减少对样品和针尖的损伤，延长针尖的使用寿命，并能通过提高空间分辨率和信噪比从而提供更准确的结果。
2888KB
2019/11/06
Park原子力显微镜NX12彩页
Park NX12有纳米级分辨率成像以及电，磁，热和机械性能测量的能力；纳米管扫描系统可用于高分辨率扫描离子电导显微镜（SICM）。
1392KB
2019/11/06
帕克原子力显微镜XE15使用手册
Park XE15具备多个特殊功能，是共享实验室处理各类样品、研究员进行多变量实验、失效分析时研究晶片等的不二选择。合理的价格搭配强健的性能设置，使其成为业内性价比最高的大型样品原子力显微镜。
1994KB
2018/07/17
Park原子力显微镜NX20使用手册
作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。 而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这款全球最精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。
1656KB
2018/07/17
帕克网络讲堂：原子力显微镜测定力—距离曲线的原理和应用
1. 力和距离曲线在表面科学，纳米技术，生物科学 和许多其他研究领域中也扮演了非常重要角色。 2. 力和距离曲线是Park所有机台的默认配置，不需要 特殊的模块配合使用，但是很少人充分利用。 3. 操作简单，但是涉及的难点却很多。如探针的选择， 参数的设定，悬臂的校准等等。 4. 不仅有一般力和距离曲线，还包括液下力和距离曲 线，还有Park 推出的PinPoint模式也都是这个领域的 延伸。 5. 对于特殊材料进行力曲线分析，如细胞等样品，探 针的改良也是一种保护样品不被破坏的途径，并能够 让测量变成更容易的几何运算。它也是一种力曲线的分析难点之一。
1845KB
2018/07/12
利用Park NX系统的全自动原子粒显微镜测量及分析
多年来，为了不断满足市场需求和同比更快更高效的设计，半导体元件尺寸已经达到甚至小于1X纳米节点。元件制造方法一直在提高，从2006年的65纳米达到了2014年的14纳米1X节点。国际半导体技术路线图目前预测第一个替代1X的7纳米元件或许会在2017年初次登场。[1]为了延续这样的速度，制造商必须有满足分辨率、精密度和精确度的计量要求的能力。满足这些需求的器械必须提供用于临界尺寸测量的纳米成像技术，测量结果可重复并且在大规模生产环境中能精确到提高生产力。[2] 为了应对这些挑战，通过Park系统，用原子力显微镜（AFM）工具和为自动采集和分析数据而特别定制的软件研发出一个引人注目的纳米测量方案。该软件被命名为Park XEA [3]，设计这个软件的目的是为了让过程控制工程师使用AFM系统获得目标元件准确和可重复的纳米级图像，依据用户自定义的程序定制配套文件。相应的增加生产力，使这种结合的软件和硬件方案吸引各个圆片级元件制造工厂。
267KB
2018/06/28
使用扫描电容显微术（SCM）和扫描开尔文探针显微术（SKPM）成像的半导体器件的电学表征
由于半导体器件（如晶体管、二极管以及集成电路）在电路系统中的重要性，半导体器件构成了现代电子学的基础。这些半导体器件应用广泛。最普遍的应用是设计和制造1）常见的模拟设备，如无线电广播设备以及2）数字电路，用于计算机硬件。[1]影响半导体器件性能的基本因素是主要的电参数，如掺杂剂浓度水平、载体类型以及缺陷密度。因此，评估半导体器件可靠性必须用到一种能够测量这些特征并研究纳米样品的技术。对于半导体器件来说，有好几种表征方法。例如，扫描电子显微镜检查法（SEM）、透射电子显微镜法（TEM）、二次离子质谱法（SIMS）、电子束诱生电流法（EBIC）以及一维电容电压测试法（C-V）等[2]。但是，一些方法具有破坏性，一些方法的样品制备要求很苛刻，还有一些仍然不能有效的测定子器件的二维量。这些缺陷的存在以及行业内开始盛行对半导体器件不断缩小的尺寸和高可靠性的要求，促进了对新一代表征工具的需要。为了解决半导体器件工艺计量中的这一新的难度，各种类型的扫描探针显微术（SPM）被用来迎接这一挑战。扫描电容显微术（SCM）和扫描开尔文探针显微术（SKPM）与原子力显微术（AFM）相结合是半导体器件表征最有力的方法，因为它们具有无损扫描能力，在测量纳米样品方面具有较高的精确度，且无需制备任何样品。此外，这些方法与原子力显微术（AFM）的结合，使得同时获取表面状态数据和电学性质数据成为可能，而且无需改变样品或探针尖端。为此，扫描电容显微术（SCM）和扫描开尔文探针显微术（SKPM）被用来探究静态随机存取储器（SRAM）器件，而且资料表明，这些技术是半导体器件电学性质表征的有效手段。
230KB
2018/06/28
什么是原子力显微镜（基本教程）
原子力显微镜是纳米研究技术中最常用也是最基础的一个仪器。它不仅是一种高分辨率的三维形貌成像仪器还可以为工程师和研究者提供各种类型的表面测量。特别是在埃的分辨率范围，强大的原子力显微镜可以在样品制备最小化的情况下生成原子分辨率的图像处理。 那么，原子力显微镜又是怎么操作的呢？我们用视频动画的形式特别解说了原子力显微镜的工作原理，https://i.youku.com/i/UNjA1MDIwNzUy?spm=a2hzp.8244740.0.0，详细内容可参考文章。
19KB
2017/12/14
Park原子力显微镜XE7使用手册
Park XE7配有Park Systems的所有顶尖技术，而且价格十分亲民。与Park Systems的其他高级型号相比，XE7在细节的设计上也相当用心，是帮助您准时且不超预算地完成研究的理想之选。
4180KB
2017/12/07
Park原子力显微镜NX10使用手册
Park NX10为您带来最高纳米级分辨率的数据，值得您信赖、使用和拥有 。无论是样品设定、全扫描成像还是测量与分析，Park NX10都能在每一步为您节约时间，让您可以更加专注于创新研究工作。
3136KB
2017/12/07
企业名称
韩国帕克股份有限公司北京代表处
企业信息已认证
企业类型
代表处
信用代码
91110000MA01EU7K4B
成立日期
2018-09-25
注册资本
0元
经营范围
从事与隶属外国(地区)企业有关的非营利性业务活动
Park帕克原子力显微镜
公司地址
北京市海淀区彩和坊路天创科技大厦518室
客服电话
公司名称： Park帕克原子力显微镜
公司地址： 北京市海淀区彩和坊路天创科技大厦518室 联系人： 张菲 邮编： 100080 联系电话： 400-878-6829
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