Park NX-TSH帕克原子力显微镜

Park NX-TSH

专为大型纳米平板显示器测量而设计的自动化原子力显微镜（AFM）系统

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Park NX-TSH的全自动特点

高精度，高效率

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专为OLED面板行业整片测量，LCD测量提供的全自动探针扫描器解决方案

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Park NX-TSH特点

克服了样品大小和重量的限制。

Park原子力显微镜公司新开发的探针扫描器结合了X、Y和Z扫描器，可以直接移动到所需测量的点。Park NX-TSH可以在X, Y和Z方向扫描探针头，X- Y方向可达到100µm X 100 μm和Z方向可达到15 μm ，并有灵活的卡盘，以适应超过300毫米的超大超重样品，用于OLED和LCD大样品分析。 样品固定在样品卡盘上，连接在机架上的探针扫描头移动到样品表面的测量位置。 Park NX-TSH的探针扫描头系统因此克服了样品固定在样品卡盘上时候样品大小和重量的限制。

闭环的100μmx 100μm柔性导向XY扫描器

XY扫描器由对称的二维挠曲和高强度压电叠层组成，它微小化的面外运动能提供高度的正交扫描，用超快的响应来完成纳米尺度上精准的样品扫描。

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具有低噪声位置传感器的15μm高速Z扫描器

NX-TSH利用其超低噪声Z检测器代替了通常使用的非线性Z电压信号，可为用户提供高精度测量。业界引领的低噪声Z检测器取代了所施加的Z电压作为形貌信号。

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专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸上限可达2200mm

Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战，可扫描出高分辨率图像。

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自动测量控制，简易操作测量更精准！

NX-TSH配备自动化软件，使用测量程序便可获得精准的多点分析，并对悬臂梁调谐、扫描速率、增益和设定点参数进行优化设置。 Park人性化设计的软件可使用户自由访问NX-TSH的全部功能并获得所需的测量值。 创建新的测量程序其实很简单，从开始创建到能够自动化运行只需大约10分钟的时间，而对创建过的程序进行修改的话也只需不到5分钟。

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