Park FX200 原子力显微镜

Park FX200

创新型多功能200毫米样品原子力显微镜

Park FX200，是Park Systems近期倾心推出的200毫米样品原子力显微镜。FX200拥有强大的机械结构，确保显著降低噪音、微小化热漂移并强化了稳定性，树立了精度和可靠性的新标准。

其更快的Z伺服性能和增强的高功率样品视图提高了操作效率和成像能力，同时自动探针识别和更换、激光对准以及宏观光学全样品视图等功能简化了用户操作并大大提高了工作效率。

凭借光学自动对焦、导航、多坐标顺序测量，自动AFM扫描参数设置和自动数据分析等功能，FX200成为了研究和工业应用的理想选择。其强大的性能和便捷的易用性，可有效改变纳米级成像和分析的现状，使科学家和工程师能够在各自的领域实现“质”的飞跃进步。

简化您的研究流程 丰硕您的研究成果！

增强的原子力显微镜核心技术

更低的噪音和更小的热漂移

增强的机械结构降低了操作噪音、热漂移，并实现了更集中的SLD光束，突破了以往的限制。这显著提高了测量精度和高分辨率成像能力。

小激光光斑尺寸

• 通过物镜聚焦SLD光束，激光光斑尺寸小

• 11µm的SLD光束直径使快速成像悬臂更具适用性

更快的Z伺服性能

• 由强力压电叠层驱动，并由柔性结构引导
• 新的FX AFM电子控制器提供更快的Z伺服性能和更高的精度

精准的AFM扫描模式

凭借更快速、更精准的True Non-contact™模式，Park FX200 在亚纳米尺度上实现了理想中的针尖与样品距离控制。

精准且可重复的测量以提高生产效率

非接触模式原子力显微镜的优势已被广泛认可，如：无针尖磨损，无样品损伤，保持高分辨率成像和高精度AFM测量。通过其基于柔性结构的强力Z扫描仪，Park有效实现了True Non-Contact™模式。在该模式下，针尖与样品的距离成功保持在几纳米的净吸引力范围内。针尖振荡的小幅度弱化了针尖与样品的相互作用，从而实现了真正的针尖保护和可忽略不计的样品修改。

·精准强大的Park扫描系统 ·True Non-Contact™模式技术

可以处理晶圆和多样品

它适用于各种样品尺寸（包括200毫米的晶圆），满足工业需求。真空卡盘可以固定多达16个小样品，支持在一次设置中进行多种实验。

·全面支持200毫米晶圆

可容纳200毫米的晶圆，这对半导体制造和材料科学研究至关重要。真空卡盘确保了高分辨率成像和精准测量的稳定定位，提高了测量多功能性和效率。

可容纳多达16个小样品

真空卡盘可以同时固定多达16个小尺寸的样品。该功能可在一次设置中进行多种实验，减少了停机时间并提高了效率，尤其适合需要快速分析多样品测量的实验室。

智能自动化

它自动化了包括探针识别和更换、激光对准和参数调节在内的关键任务，同时拥有16个探针槽，用于重复测量和模式转换。该自动化大大减少了停机时间并显著提高了测量效率。

·自动探针类型识别 ·自动探针更换 ·自动激光束对准

探针识别相机通过读取印在新探针芯片载体上的二维码，能显示每个针尖的相关信息（包括类型、型号、应用和使用情况）。该功能可以根据任务快速选择合适的探针，以确保测量的准确性和效率。

自动探针更换功能则可以轻松安全地自动更换旧探针。16个探针槽用于重复测量和模式转换。快速自动的探针切换减少了停机时间并提高了效率。

自动对准将激光束定位到悬臂的适当位置，并进一步调整激光点在PSPD上的垂直和横向位置。按下按钮时，它能自动调整X、Y和Z轴，生成高清无失真的图像。

简化操作

·自动对焦和导航 ·自动顺序测量

通过快速精准定位的简化分析，高级感兴趣区域（ROI）缩放使用大视场样品相机来显示整个200毫米晶圆。这大大减少了从广泛扫描到详细放大的目标区域定位时间。此外，精细的光学视野提供了高清晰度，可以解析小于1微米的线宽。

它能在大型样品（如200毫米晶圆或多样品卡盘上的样品）上设置预定义坐标，并自动执行操作。同时支持包括成像和高级模式在内的顺序测量，简化了研究和工业环境中的工作流程。

新一代高端产品原子力显微镜控制器

Park FX控制器为提升Park FX系列的性能而设计。这一重要发展支持了高级压电响应力显微镜（PFM）应用，如接触共振PFM（CR-PFM）和双频共振跟踪（DFRT-PFM）。它无需额外硬件，即可确保我们的客户能够充分利用原子力显微镜取得理想进展。

·无需外部放大器的DFRT-PFM
·增强安全性和实时环境监测
·直接支持CR-PFM，具有更高的探针偏压调制带宽 ·更快的通讯连接，快速数据和图像处理 · · · ·‍