2024年度Park AFM奖学金第三位获奖人为西安交通大学前沿科学技术研究院先进电子中心的高阳飞博士, 高博士的导师为中心主任娄晓杰教授（国家级别青年人才)。高阳飞博士作为2024年第三位获得Park AFM奖学金的研究人员，他连续两年使用Park AFM发布最新成果在《Nature Communications》和《Advanced Materials》期刊。高阳飞博士以第一作者身份以《通过高熵策略和带隙工程优化钨青铜结构陶瓷的高温储能》（Optimizing high-temperature energy storage in tungsten bronze-structured ceramics via high-entropy strategy and bandgap engineering）为题发表于(Nature Communications, DOI: 10.1038/s41467-024-50252-w）和以《通过弱耦合弛豫设计在钨青铜电介质陶瓷实现超高能量存储》（Ultrahigh Energy Storage in Tungsten Bronze Dielectric Ceramics Through a Weakly Coupled Relaxor Design）为题发表于（Advanced Materials，DOI: 10.1002/adma.202310559)在压电响应力显微镜(PFM)领域引起了广泛关注。  高博士表示：“压电响应力显微镜(PFM)通常用于铁电畴的研究。由于铁电性包含压电性，因此可以通过其在电场作用下的压电变形来可视化畴图。在PFM中，电场是借助尖端局部施加到样品上的。将一个畴的压电响应称为“PFM信号”。在多畴样品中从不同取向畴所获得的PFM信号之间的差异将被表示为“PFM衬度”。利用压电响应力显微镜(PFM)研究极性纳米微区(PNRs)对外部电场的动态响应与介电材料的储能性能密切相关。本工作利用Park systems NX7的PFM模块测量了介电陶瓷对电场的动态响应，结果展示出的PNRs的快速可逆性导致剩余极化(Pr)降低，延迟的极化饱和最终使其具有优异的储能性能"。获奖者采访：1. Park: 请总结一下您的研究，并解释它为什么很重要？高博士: 介质电容储能技术具有极高的功率密度和超快的放电速率，在电动汽车、大功率激光脉冲武器、电磁弹射系统等领域具有巨大的应用潜力。然而，介质电容器的储能密度相对较低，温度稳定性较差，限制了其实际应用。因此，迫切需要开发具有高能量存储密度和高能量存储效率的介质电容器，并了解提高其性能的机制。此外，优化介质电容器在高温或高温差等恶劣条件下的储能性能也是一项关键挑战。与研究广泛的钙钛矿结构铁电陶瓷相比，作为第二大类铁电材料的四方钨青铜结构(TTBs)介质陶瓷由于晶体结构复杂，击穿场较小，储能性能较差，受到的关注较少。针对这些问题，本工作重点研究了影响介质电容器储能性能的关键因素，并采用增加构型熵和带隙等策略来提高具有四方钨青铜结构的无铅介质陶瓷的储能性能。该方法不仅实现了优异的综合储能性能，而且增强了高温储能能力，为介电储能电容器提供了新的候选材料和有效的性能优化策略。2. Park: 请叙述下您的研究将会如何被使用?高博士: 研究成果可应用于能量存储或转换的介质电容器，适用于电动汽车、电磁弹射系统或大功率脉冲装置等需要快速放电和极高瞬时功率的器件。3. Park: 请问Park AFM的哪些特性对您的研究最有帮助？高博士: 压电响应力显微镜(PFM)通常用于铁电畴的研究。由于铁电性包含压电性，因此可以通过其在电场作用下的压电变形来可视化畴图。在PFM中，电场是借助尖端局部施加到样品上的。将一个畴的压电响应称为“PFM信号”。在多畴样品中从不同取向畴所获得的PFM信号之间的差异将被表示为“PFM衬度”。利用压电响应力显微镜(PFM)研究极性纳米微区(PNRs)对外部电场的动态响应与介电材料的储能性能密切相关。本工作利用Park systems XE7的PFM模块测量了介电陶瓷对电场的动态响应，结果展示出的PNRs的快速可逆性导致剩余极化(Pr)降低，延迟的极化饱和最终使其具有优异的储能性能。4. Park: 为什么Park原子力显微镜对您的研究至关重要？高博士: 在弛豫铁电体中，PNRs的快速可逆性是弛豫性能增强的重要指标，弛豫性能与介电陶瓷的储能性能呈强正相关。因此，样品的PFM测试可以有利的证明并解释本工作中观察到的优异性能的原因。论文研究成果介绍：***以下中文介绍内容来自西安交通大学新闻网1.《通过高熵策略和带隙工程优化钨青铜结构陶瓷的高温储能》（Optimizing high-temperature energy storage in tungsten bronze-structured ceramics via high-entropy strategy and bandgap engineering）  介电陶瓷作为储能电容器的重要材料，由于其高功率密度、快速的充放电速度以及长循环寿命等优点，在新能源汽车、脉冲激光等高功率脉冲设备中有着广泛的应用。但是电介质电容器储能密度仍然相对较低，温度稳定性较差，这些缺点限制了其进一步发展。因此，获得具有高储能密度及储能效率的电介质储能电容器并理解其增强机理迫在眉睫。同时，研发在高温下同时具有高能量密度和效率的介电陶瓷是本领域的一个重大挑战。目前电介质储能陶瓷的研究主要集中于具有钙钛矿结构的铁电材料中，这主要是因为其结构简单，储能性能优异。四方钨青铜结构（TTBs）铁电体——作为仅次于钙钛矿结构铁电体的第二大类铁电体——由于其复杂的晶体结构和相对较差的性能在电介质储能领域一直关注不多。  在这项研究中，西安交通大学的娄晓杰教授与合作者在前期工作（Adv. Mater. 2024,36, 2310559）的基础上采用高熵策略和带隙工程进一步增强了四方钨青铜结构介电陶瓷的高温储能性能。高熵效应导致的阳离子随机占位打破了铁电长程有序，形成高动态、弱耦合的极性纳米微区。同时，Ca及Ta氧化物的高熔点和高熵陶瓷的缓慢扩散效应限制了其晶粒生长，增加了陶瓷的整体电阻率和带隙，从而赋予其极高的击穿强度。高熵陶瓷晶体结构的温度稳定性导致其出色的抗高温性能。最终在Ba0.4Sr0.3Ca0.3Nb1.7Ta0.3O6陶瓷中实现了8.9 J cm-3的可恢复能量密度和93%的高效率。相比低熵组分储能密度增幅超过100%。储能效率从81%上升到93%。在四方钨青铜结构陶瓷储能材料中具有领先的性能。同时表现出优异的温度稳定性，在室温至高达180 °C的宽温度范围内，均可保持> 4.9 J cm-3的可恢复储能密度及> 89%的储能效率。这项研究为设计具有超高综合储能性能的四方钨青铜介电陶瓷提供了一种有效的方法，有望为电介质储能领域的未来发展带来新的思路和方向。2.《通过弱耦合弛豫设计在钨青铜电介质陶瓷实现超高能量存储》（Ultrahigh Energy Storage in Tungsten Bronze Dielectric Ceramics Through a Weakly Coupled Relaxor Design）电介质储能陶瓷电容器属于无源组件类别的电能储存设备，由于其高功率密度、快速的充放电速度以及长循环寿命等优点，该类电容器有望在混合动力汽车、大功率换能器以及大功率脉冲设备中得到广泛应用。近年来，科研人员进行了大量的研究工作，致力于开发具有高储能密度和高储能效率的新型电介质材料。尽管如此，目前的研究对象主要集中于具有钙钛矿结构的铁电体、弛豫铁电体和弛豫反铁电体。四方钨青铜结构（TTBs）铁电体，作为仅次于钙钛矿结构铁电体的第二大类铁电体，由于其复杂的晶体结构和多元的元素可调性，在电介质储能方面的研究却鲜有报道。  在本研究中，西安交通大学的娄晓杰教授与合作者通过在Gd0.03Ba0.47Sr0.485Nb2O6陶瓷基体中掺杂Sm3+，打破了铁电体的长程有序，构建了弱耦合的极性纳米微区，从而显著提高了具有四方钨青铜结构的电介质陶瓷的储能性能。在660 kV cm-1的电场条件下，化学式为Gd0.03Ba0.47Sr0.485Nb2O6的弛豫铁电陶瓷获得了高达9 J cm-3的可回收能量密度，同时储能效率高达84%。值得注意的是，该陶瓷的储能性能对频率、温度和循环电场具有显著的稳定性。通过对该样品的介电温谱进行经典的Vogel–Fulcher模型拟合，得到的高激活能证明了其中的极性团簇是相互孤立的（即弱耦合）。同时，具有原子分辨率的HAADF-STEM结果直观地展示了这一重要特征。弱耦合的极化纳米微区有利于在获得高极化的同时具有较低的剩余极化。结构特征分析显示，Sm3+含量越高，非公度系数越大，表明存在高度无序的A位结构。同时，获得了高的电导活化能、拓宽的带隙和较低的电致应变，击穿强度也得到了显著提高，最终获得了超高的储能密度。这项研究极大地提升了基于TTBs的电容器的能量存储能力，使其在性能上与主流的钙钛矿结构电介质陶瓷相媲美，扩大了大功率脉冲设备应用的材料选择范围。这一创新性研究有望为电介质储能领域的未来发展带来新的思路和方向。

（韩国首尔，2024年8月12日）作为市场领先的纳米计量系统制造商， Park Systems宣布推出最新的原子力显微镜 (AFM) 创新产品——Park FX200。该产品专为200毫米样品而设计，不仅可以满足研究和工业应用的需求，还有力促进了大样品AFM技术的重要发展。FX200采用先进的机械结构，可显著降低本底噪声并最小化热漂移，从而提高测量的稳定性。这一改进提升了精度和可靠性，使其在长时间操作中表现稳定。凭借更快的Z伺服性能，FX200能够快速且精准地扫描大面积样品。其增强的高功率样品视图具有自动对焦功能，无论样品类型或条件如何，该功能都能使研究人员在AFM成像中获得出色的清晰度和细节。FX200包含多种自动化功能，以简化操作并保证研究效率最大化。探头无需手动调整，即可自动识别和更换。而减小的激光光斑尺寸和自动对准功能则显著提高了测量的精度且保证了测量的一致性。同轴光学系统提供了全面的200毫米样品视图，无需拼接多幅图像即可进行全面分析。该系统在预定义坐标处能进行自动顺序测量，进一步提高了大样品区域的数据收集效率。Park FX200配备了自动AFM扫描参数设置，旨在提高用户便利性。其直观的界面使研究人员能够更专注于科学目标，而非仪器配置，从而提高了生产力和工作流程效率。此外，卓越的性能使其在广泛的研究和工业应用（包括表面形貌研究、机械性能表征和纳米尺度现象探索）中表现出色，为当代科学研究提供了可靠的数据结果。作为AFM技术的重要进展，Park FX200提供了无可比拟的精度、自动化效率和全面的样品可视化功能。更多详情，请访问：http://www.parksystems.cn/fx200关于Park Systems Corp.（KOSDAQ: 140860）Park Systems是全球领先的原子力显微镜（AFM）、椭偏测量仪及其他纳米计量系统制造商，提供全系列产品，服务于化学、材料、物理、生命科学、半导体和数据存储行业的研究人员和工程师。公司的使命是推动科学家和工程师在纳米尺度上的进步，解决全球最紧迫的问题，并拓展科学发现和工程创新的边界。Park Systems的客户包括全球大多数领先的半导体公司以及亚洲、欧洲和美洲等国家研究型大学。Park Systems在韩国证券交易所（KOSDAQ）上市，公司总部位于韩国水原，并在圣克拉拉、曼海姆、巴黎、诺丁汉、北京、东京、新加坡和班加罗尔设有地区总部。

2024年3月20日至22日，备受瞩目的SEMICON China 2024在上海新国际博览中心隆重举行。作为全球规模最大、规格最高、最具影响力的展会，有1100家企业参展，覆盖芯片设计、制造、封测、设备、材料、光伏、显示等产业链，是半导体行业的开年盛会。展会期间，仪器信息网有幸采访到了PARK SYSTEMS 中国区销售总裁张家荣。在采访中，张总提到帕克公司此次重点推出了原子力显微镜结合白光干涉仪以及可转向原子力显微镜等创新产品。这些产品在解析度、速度和功能性等方面展现出显著优势。此外，面对中美科技战以及全球半导体市场的变化，帕克公司已经着手进行风险管控，计划将部分产品在台湾进行组装生产，并在中国寻找合适的地方评估落实部分国产化。最后，张总表示公司对未来半导体量测和晶圆缺陷检测设备市场的发展充满信心，十分看好其未来前景。以下是现场采访视频：仪器信息网：本次参会，贵公司带来了哪些半导体量测或缺陷检测等方面的解决方案或产品？其采用的主要原理或技术有哪些？有哪些创新？张老师：今年的半导体，我们的主推产品基本上就是原子力显微镜结合白光干涉仪，另外还有我们有可以转向的原子力显微镜，所以基本上这两个产品本身就是个创新，因为它除了原本原子力显微镜的功能之外，它可以带来不同的功能，例如说白光干涉仪先快速的检测缺陷，然后再用原子力显微镜去做更精密的扫描。然后另外一个可以转向的原子力显微镜是可以看到现在很多半导体科室结构的一些缺陷或者粗糙度，这就是我们帕克今年主要的两个主推的产品。 仪器信息网：相比于其他公司，Park的产品有哪些优势和特点？在与竞争对手的较量中，贵公司如何保持自己的差异化优势？张老师：帕克原子力显微镜在半导体原子力显微镜量测这一块一直保有的优势就是超高的解析度超低的杂讯。但是这只是我们的第一个优势，如果跟其他的原子力显微镜来比的话，我们这几年一直在精进的就是所谓的原子力显微镜的速度，相对于传统的原子力显微镜，我们这种半导体在线的显微镜在特殊的应用上可以达到100倍的增速，所以说这就是我们可以跟对手拉出差异化的地方。除了原子力显微镜速度的增加，我们在它的功能性也开始增加，传统原子力显微镜只能量所谓的表面形貌，但是我们现在结合了白光干涉仪或者是一些 AR的显微镜，我们可以在分析材料的特性，或者是我们甚至也可以加入了原子力显微镜跟电镜的结合，所以从深度上来看，我们增加了产能，从广度上来看我们增加了联用，所以由于我们增加了深度跟广度，所以我们可以在市场上跟其他竞争对手来比，维持绝对的优势。 仪器信息网：近年来，中美科技战愈演愈烈，特别是美日荷出口半导体设备的管制越来越严。面对全球市场的变化，贵公司有哪些长远的战略规划？张老师：中美半导体的科技竞争对我们的厂商来讲都是一个非常值得关注的议题，这几年我们已经开始做一个所谓的风险的控管，比较幸运的是，因为我们是韩国的品牌，并不是直接美国品牌，并没有在第一波冲击上受到影响，但是为了长远的打算，我们目前为止已经有开始把部分产品在台湾试着组装生产，也在中国找其他的地方来评估是否可以落实部分的一个国产化，所以说目前为止看整个趋势推动我们会有相对应的方法来减少竞争对我们公司带来的冲击 。 仪器信息网：根据您的观察和分析，您认为未来半导体量测和晶圆缺陷检测设备市场将呈现哪些趋势？张老师：半导体工艺的演进现在日新月异，然后因为现在的工艺比以前的工艺更加复杂，更加困难，所以说半导体的量测或者半导体的缺陷检测，已经从以前的比较附属的设备变成可能关键的设备，因为如果没有办法精准的量测跟找到缺陷，我们没办法把良率给拉上来，所以未来我非常看好量测跟缺陷检测的一个发展的市场。

Park Systems的创始人Park Systems 的创始人朴尚一博士是原子力显微镜发源地斯坦福大学卡尔文·奎特教授课题组的重要成员。朴尚一博士于1988年在美国硅谷创立了世界上第一家AFM公司。1997年，朴尚一博士回到韩国成立了Park Systems。Park Systems的创新路Park Systems不停创新的原子力显微镜，大大提高了测量的准确性可靠性和用户便利性。基于对研发的不懈投资，Park Systems通过提高制造力以满足不断增长的产品需求，并源源不断地向世界推出其在纳米科学和技术领域的创新解决方案。三轴分离和真正非接触模式的扫描系统其AFM具有三轴分离和真正非接触模式的扫描系统。原子力显微镜通过扫描表面上的探针并检测相互作用力，在原子水平上测量其表面形貌和物理性质。原子力显微镜提高测量精度的同时，避免了探针磨损和样品损坏。光掩模的自动缺陷测量修复和验证其AFM能有效修复光刻过程中出现的掩模缺陷。原子力显微镜与白光干涉仪WLI联用的综合解决方案Park Systems将AFM与光学测量技术相结合的联用计量，其工业原子力显微镜现在被广泛用于半导体制作工艺的前端和后端。用于检测超大型显示面板的原子力显微镜Park还推出了能够检测新一代显示器超大型原子力显微镜。此外，Park Systems还开发了一款用户友好型产品，可以实现从自动更换探针到自动对准光束的轻松测量。椭偏仪 & 减震台同时，Park Systems还提供先进的成像椭偏仪，用于薄膜厚度和折射率表征。Park Systems的精益心Park systems以卓越的产品而闻名，并通过与时俱进研发新技术来不断扩展其业务。2022年，通过收购全球椭偏仪公司德国欧瑞库因，Park Systems进一步加强了全球业务，扩大了品牌国际影响力。与此同时，Park还在美国、德国、英国、法国、日本、中国等主要全球市场建立了子公司，获得了全球大学和研究所的认可，并与全球最大的半导体联盟IMEC执行了两个联合开发项目。自2015年在科斯达克上市以来， Park已经连续8年实现了30%的惊人复合年增长率。截至2023年，Park已经成为AFM行业的全球市场份额领先者。Park凭借其悠久的历史，卓越的技术和精锐的团队，成为了纳米计量解决方案的领跑级供应商。Park Systems竭诚致力于产品和解决方案的创新，以创造一个更美好的世界！

今年，Park 原子力显微镜公司很荣幸地宣布两位杰出研究人员荣获2024年度Park AFM奖学金。他们分别是浙江大学物理系郑毅教授课题组的胡奇峰博士和深圳大学周学昌教授课题组的罗紫晴同学。他们凭借其在材料科学和器件制备领域的卓越贡献脱颖而出，成为本年度的优秀获奖者。胡奇峰博士作为2024年第一位获得Park AFM奖学金的研究人员，展示了在多铁性材料领域的杰出研究成果。他最新发表在《Nature Communications》期刊上的论文《Ferrielectricity Controlled Widely-Tunable Magnetoelectric Coupling in van der Waals Multiferroics》（DOI: 10.1038/s41467-024-47373-7）引起了广泛关注。在这项研究中，胡博士利用Park AFM NX10的形貌模式和电学模式，结合其独特的非接触模式，准确地判断出样品的层数，并进行了层数依赖的物性研究。他运用扫描开尔文探针模式解释了磁性隧道结器件中上下电极功函数差异的原因，为材料磁性的调控提供了重要线索。胡博士表示：“我们对于CuCrP2S6的研究是从零开始的，并且涉及到了二维极限下不同层数的样品，因此Park AFM对于判断样品层数有着重要作用，在低温电学实验中我们发现奇数层和偶数层的样品有明显区别，这个结论离不开Park AFM的高度表征。由于我们的实验涉及到精密的电学测量，因此保证材料表面的干净是非常重要的，而Park AFM独家的非接触模式可通过探测样品表面，从而挑选出干净的样品，并且这种非接触模式的探测不会对样品造成损伤或污染."另一位获得Park AFM奖学金获得者是来自深圳大学周学昌教授课题组的罗紫晴同学。她的最新研究成果《Fully Printable and Reconfigurable Hufu-type Electroluminescent Devices for Visualized Encryption》（DOI：10.1002/adma.202313909）发布在"Advanced Materials"期刊上。罗紫晴作为第一作者，在研究中运用Park AFM XE15深入探索了器件的表面特征，包括粗糙度、微观纳米结构、界面特征以及薄膜的平均高度。通过高分辨率观察，她成功地识别出潜在的表面缺陷，为优化器件制备工艺和提高器件性能提供了重要线索和指导。她的研究为可打印电致发光器件的发展提供了新的思路，并在可视化加密领域展示了潜在应用前景。获奖者采访1. Park: 请总结一下您的研究，并解释它为什么很重要？胡博士：多铁性材料由于其丰富的物性与潜在的应用前景一直是备受关注的研究方向，寻找具有高效磁电耦合的室温多铁材料依然是相关领域的最大挑战。最近，具有丰富多样物性的范德瓦尔斯材料的兴起为多铁物性和实现高效磁-电交互控制研究提供了新的可能性。我们在薄层反铁磁-反铁电二维多铁CuCrP2S6体系中发现了一种二维极限下的反常磁电耦合机制，并通过调控材料的异质结构亚铁电态相变，实现了对反铁磁性的高效、可逆控制。2. Park: 请叙述下您的研究将会如何被使用?胡博士：本研究是对于一种新型二维多铁材料CuCrP2S6在二维极限下的物性探索，在实验和器件应用方面，我们首次在CuCrP2S6这个二维多铁体系中实现了电压对磁性的调控，充分展示了基于二维多铁材料高效磁电耦合调控研究的可行性和丰富前景，同时也为二维极限下的外场调控呈展现象探索提供了一个独特研究平台；在理论探索方面，我们提出了一种二维极限下新的磁电耦合机制。3. Park: 请问Park AFM的哪些特性对您的研究最有帮助？胡博士：在我们这项研究工作中，主要用到的是原子力显微镜的形貌模式和电学模式：通过非接触模式的原子力显微镜，我们可以准确判断样品层数，挑选样品制作器件，并进行层数依赖的物性研究。通过Park AFM的扫描开尔文探针模式，我们解释了磁性隧道结器件中，上下电极功函数的差异是低温下电压方向能够调控材料磁性的具体原因。4. Park: 为什么Park原子力显微镜对您的研究至关重要？胡博士：我们对于CuCrP2S6的研究是从零开始的，并且涉及到了二维极限下不同层数的样品，因此Park AFM对于判断样品层数有着重要作用，在低温电学实验中我们发现奇数层和偶数层的样品有明显区别，这个结论离不开Park AFM的高度表征。由于我们的实验涉及到精密的电学测量，因此保证材料表面的干净是非常重要的，而Park AFM独家的非接触模式可通过探测样品表面，从而挑选出干净的样品，并且这种非接触模式的探测不会对样品造成损伤或污染除了形貌模式之外，Park AFM的电学测量功能也在我们的器件表征中起到了重要作用。1. Park: 请总结一下您的研究，并解释它为什么很重要？罗紫晴：柔性发光器件在未来可穿戴设备、表皮电子、软体机器人等领域有着广阔的应用前景。基于弹性体的交流电致发光器件具有高柔性、结构简单、成本低廉等优点，因此成为了近年来的研究热点。然而，这类弹性器件大多要用到传统离子凝胶等材料作为透明电极，这类材料导电性较差且难以实现高分辨率的图案化，阻碍了弹性交流电致发光器件在柔性显示设备上的应用。在虎符概念的启发下，我们首次基于可拉伸的自粘附导电聚合物(Self-adhesive conductive polymer, SACP)提出了具有可重构功能的交流电致发光器件(Alternating current electroluminescent, ACEL)，该器件由透明电极/电致发光层（A部分）和透明电极（B部分）两部分组成。实现这一策略的关键是采用可粘合和拉伸聚合物凝胶复合材料作为EL器件的透明电极。这种聚合物凝胶复合材料有助于EL层和透明电极之间牢固而可逆的接触，使得高性能和可拉伸的ACEL器件易于拆卸和重新组装。在1000次重复拆卸和重新组装实验后，ACEL器件的亮度仍能保持约81%的初始亮度。此外，聚合物凝胶复合材料的前体油墨与多种涂层和印刷技术兼容，例如旋涂、喷墨印刷、点胶和刷涂。重要的是，这些设备的重构功能开辟了加密显示系统的新途径，并且作为概念验证，我们展示了ACEL加密密码和内容可更改的数字时钟。2. Park: 请叙述下您的研究将会如何被使用?罗紫晴：h-ACEL设备概念将开辟一条通向未来柔性发光设备的新途径，用于可拉伸显示和信息加密。此外，使用粘附性透明电极的可重构设备概念可能适用于其他光电子器件，如发光二极管和光伏器件。3. Park: 请问Park AFM的哪些特性对您的研究最有帮助？罗紫晴：Park Systems是全球顶级的原子力显微镜制造商，Park AFM能够以原子尺度的分辨率观察器件表面的形貌和结构。更重要的是，其真正非接触模式使我们能够在不损坏探针和样品表面的情况下，准确确定其表面形貌和结构信息。这对于水凝胶等易受探针破坏的样品尤为重要。4. Park: 为什么Park原子力显微镜对您的研究至关重要？罗紫晴：通过Park AFM，我们可以深入探索器件的表面特征，包括其粗糙度、微观纳米结构、界面特征以及薄膜的平均高度。这种能力有助于我们更好地理解器件中材料的排列和分布情况，以及可能存在的缺陷和污染物。通过对器件表面的高分辨率观察，我们可以识别出潜在的表面缺陷，如表面裂纹、颗粒或异物，从而为优化器件的制备工艺和改进器件性能提供重要线索和指导。总的来说，Park AFM的高分辨率成像能力使得我们能够更全面地了解器件的表面特性，从而为器件的设计和性能优化提供了宝贵的信息和支持。公司官网：www.parksystems.cn销售热线：400-878-6829Park北京分公司—北京市海淀区彩和坊路8号天创科技大厦518室 Park上海实验室—上海市闵行区丰虹路199号德必虹桥国际WE 5号楼118Park广州实验室—广州市天河区五山路200号天河北文创苑B座211

售后是企业可持续发展的基石，也是企业成功的关键。作为原子力显微镜的创新者和引领者，Park Systems始终以“新型 高效 优质 ”为售后理念，致力于帮助客户有效解决产品的售后问题，坚定承诺不断满足客户的需求，为客户提供满意的原子力显微镜使用体验。实时更新葆活力1. 客户对接中，工程师能积极参与工厂的生产规划环节，再根据中国市场情况，去工厂对客户的设备需求进行出厂检查以及调试。2. 如有需要，我们的工程师还会陪同客户去工厂对设备进行预验收。当问题出现时，客户可以通过电话、微信、网络留言等多种方式联系到我们。如果条件允许，我们不仅可以进行视频协助，甚至可以派遣就近人员上门处理。在中国，我们的备件仓库可以实现80%以上的本土维修。3. 发出新设备时，我们的售后工程师会定期返回工厂接受新产品新方案的相关培训，也会对客户做一些基础培训。4. 韩国工厂在各个模块应用相对应的manual操作视频讲解系统也基本趋于完善，客户随时随地都可以获得相关的培训资料以便用于学术研究。“竭心尽诚绘丹心”。Park Systems 的售后团队是一个躬身力行为客户解决问题的团队，也是一支不停吸收新鲜血液，不断更新学习的团队。在理论与实践、吸收和服务的循环作用下，我们的售后服务越来越受到认可，售后价值也在逐步提高，稳步实现了我们在这个行业的可持续发展。希望在未来之路，Park Systems 能以更优质更高效的售后服务为纳米科技绘制更好的明天！公司官网：www.parksystems.cn销售热线：400-878-6829Park北京分公司—北京市海淀区彩和坊路8号天创科技大厦518室 Park上海实验室—上海市闵行区丰虹路199号德必虹桥国际WE 5号楼118Park广州实验室—广州市天河区五山路200号天河北文创苑B座211

积极响应国家利好政策：Park Systems 支持设备更新，助力节能提效近日，国务院常务会议审议通过《推动大规模设备更新和消费品以旧换新行动方案》，这将有力促进投资和消费。为加快构建新发展格局、推动国民经济高质量发展，工业、农业、教育、医疗等多个领域，都迅速掀起了设备更新的浪潮。作为原子力显微镜的创新者和引领者，Park Systems 将积极响应此项国家利好政策，为Park客户提供优质高效便捷的设备更新服务。Park Systems始终以“创新 高能 卓越 ”为企业理念，致力于帮助客户追求前沿的发现和创新，确保Park Systems的原子力显微镜始终走在研究事业的前沿。我们坚定承诺不断满足客户的需求，为他们提供满意的原子力显微镜使用体验。此次大规模设备更新和旧换新活动，Park 精心为大家准备了设备更新换购单，快来看一看吧~Park FX40专为高效率的原子力显微镜使用和专为高效率的原子力显微镜使用而设计 基于人工智能的自动化:是一款能够自动化设置和扫描的原子力显微镜 提供早期警告系统和故障保护，以保护正在研究中的样品 配备环境传感器，便于对温度和湿度进行精准控制，以实现定制设置Park FX40改变了传统原子力显微镜的操作流程，通过突破性的自主性和前沿技术， 将用户的利益置于首位。它集成了智能和自动化技术，能够自动执行设置和扫描任务， 使研究人员摆脱繁琐的手动操作。这包括探针识别、准直激光、样品定位和成像优化。 这使用户能够更专注于他们的研究工作。借助于优秀的机电性能、降噪技术和多样品 成像功能，FX40简化了数据收集、研究工作和数据发布流程，从而加速了科学的探索 发现和创新进步。Park NX10高精准度和高分辨率成像，  拥有业界领跑级的低噪音水平 灵活的开放式访问，可根据特定需求进行定制，并配备一系列附件 全面的扫描探针显微镜（SPM）模式及兼容选项和升级 支持在液体环境中使用扫描离子导电模块（SICM），适用于细胞生物学和分析化学 Park NX10 是科学研究和工程创新领域备受信赖的主力原子力显微镜。凭借其可靠 的精准度和用户友好的操作界面，科学家和工程师能够以高纳米分辨率获取可靠的 数据。Park NX10 提供多种测量模式和附件，使用户能够轻松为其个性的项目定制设置。Park NX20介质和基底的表面测量 Nx20可测量200 mm晶圆的全部区域，无需手动晶圆即可跑满整个200 mm晶圆片 缺陷检测成像和分析功能 具备高分辨率电扫描模式 用于进行3D结构研究的侧壁测量 Park NX20是故障分析和半导体计量的理想解决方案。它提供准确、精准和可重复的 测量，采用非接触模式以保持针尖的锐度，实现快速缺陷成像，并使用解耦的XY扫描 系统进行3D测量。低噪声的Z探测器确保在高速扫描期间获得精准的形貌测量，避免 错误。Park NX20具备表面粗糙度测量、缺陷检测成像、高分辨率电子扫描和侧壁测 量功能，适用于解决复杂的半导体挑战和大样品研究.Park NX-Hivac用于故障分析和对大气敏感材料研究的高真空原子力显微镜 在高真空条件下进行纳米尺度的电学测量，特别是用于前沿半导体故障分析的SSRM和SCM 具备自动真空抽气和通风的高度可用性Park NX-Hivac 是专为半导体故障分析和对大气敏感材料研究而设计的高真空 AFM。 其在高真空环境中运行，确保更高的准确性和重复性，大大减少针尖和样品的损坏。 该系统在多个应用中发挥关键作用，其中包括使用扫描扩散电阻显微镜 (SSRM) 评估 掺杂剂浓度。借助Park Systems直观的Hivac管理器和自动真空控制，Park NX-Hivac 简化了真空过程，提供快速的真空条件。因此，Park NX-Hivac在无氧真空环境中提供高精度的研究。Park NX-IR用于化学分析和材料成像的纳米级红外光谱系统Park NX-IR 有效融合了崭新的红外光谱技术、Molecular Vista 的光诱导力显微镜（PiFM)以及行业前沿的 Park AFM 技术。PiFM 红外光谱采用非接触式检测技术，在空间分辨率、测量可靠性和样品安全性方面皆优于现有的光谱技术，包括轻敲PTIR(光热诱导共振）。Park NX-IR 中的 PiFM不仅能够进行高分辨率红外光谱分析，还能进行高质量的红外吸收材料成像，以进行准确的化学成分测量。高分辨率红外光谱与传统的FTIR(傅里叶变换红外）光谱保持着密切的相关性。此外，Park NX-IR 还可以通过检测技术、直接驱动和边带双峰检测的变化提供不同深度的有价值的材料信息。Park Accurion EP4成像椭偏仪EP4是新一代的成像椭偏仪，它有机地结合了传统光谱椭偏仪和光学显微镜技术。这使得我们能够在小至1µm的微结构上以椭偏仪的灵敏度表征薄膜厚度和折射率。显微镜部分能够同时测量光学系统全视场范围内的所有结构。传统的椭偏仪注重于测量整个光斑，而不能实现高精度的横向分辨率，并且需要逐点测量。EP4的显微镜功能使得我们能够获得微观结构的椭偏增强对比图像。在相机的实时图像中可以看到折射率或厚度的微小变化。允许识别椭偏测量的感兴趣区域（选区测量），以获得厚度（0.1 nm-10µm）和折射率的值。单次测量就可以获取厚度和折射率横向变化的3D图。各种联用技术，例如原子力显微镜（AFM）、石英晶体微天平（QCM-D）、反射式测量仪、拉曼光谱仪等等，可以对同一区域进行原位分析。另有在各种受控温度和气氛环境下测量的附件可选。Park北京分公司北京市海淀区彩和坊路8号天创科技大厦518室 Park上海实验室上海市闵行区丰虹路199号德必虹桥国际WE 5号楼118Park广州实验室广州市天河区五山路200号天河北文创苑B座211

为迎合高速发展的半导体市场需求和逐渐增加的产品线，韩国Park Systems于2023年9月15日在韩国果川市隆重举行了Park Systems新总部大楼的奠基仪式。伴随着同期Park Systems在韩国龙仁市制造中心建设项目，本次奠基仪式标志着Park Systems公司实现了公司规模的指数级增长。Park Systems创始人兼首席执行官Sang-il Park博士在奠基仪式上表示：“自2015年KOSDAQ上市以来，秉持专注、深耕的经营理念，公司历经多年的产品研发和技术投入，在纳米计量领域成功推出了多种精密纳米计量产品，公司业绩实现了持续性加速增长。此刻，我们能自豪地宣布：Park Systems现在拥有了自己的独立办公园区。这无疑是我们发展进程中一个重要的里程碑。”Park Systems 建设新总部园区和建设新的生产基地的重大投资，是为了满足公司在纳米计量领域产品多样化的生产需求，能够在现有基础上实现产能质的飞跃。Park Systems新总部大楼位于 SK 海力士领导的龙仁半导体产业圈内。这一战略选址使 Park Systems 研发和生产更好的契合半导体产业的发展。扩建详情果川总部：Park Systems果川总部将于下个月开始建设，预计于2026年完工。该设施投资额达 642 亿韩元，新总部将提供更加舒适便利的工作空间，以满足不断增长的员工需求。龙仁制造中心：Park Systems龙仁生产基地，占地面积为13216平方米。大幅增长的公司业绩和相关半导体企业的支持有力地推动了此次扩建。AFM 产品多样化和部件本地化随着年订单量逐年增长，Park Systems 认识到有必要进一步扩大产能。为了更好的服务客户，满足不同国家间的半导体产业需求，公司也在逐步扩大在海外生产基地和维修基地的建设。关于Park SystemsPark Systems是世界领先的原子力显微镜（AFM）、椭偏仪和其他纳米计量系统制造商，为化学、材料、物理、生命科学、半导体和数据存储行业的研究人员和工程师提供最完善的解决方案。Park Systems的使命是：帮助科学家和工程师解决世界上最紧迫的问题，推动科学发现和工程创新的发展。Park Systems的客户包括亚洲、欧洲和美洲的大多数世界领先的半导体公司和国立研究型大学。Park Systems是韩国证券交易所（KOSDAQ）的一家上市公司，公司总部位于韩国水原，地区总部位于加利福尼亚州圣克拉拉、曼海姆、巴黎、北京、东京、新加坡、印度和墨西哥城。

2023 年9 月18 日，韩国Park Systems再次隆重入选“福布斯亚洲2023 年十亿美元以下最佳企业”榜单。此次入选标志着 Park Systems继2020年跻身福布斯200强之后，第二次荣登著名的福布斯榜单。“福布斯亚洲年度十亿美元以下最佳企业榜”是为了表彰在科技领域有突出贡献，在全球经济低迷下行的情况下，依旧逆势快速增长的公司。在今年的福布斯榜单中，Park Systems排名亚洲16强，Park Systems以快速发展的产品线，领先的检测技术，优异的业绩荣膺其中（亚太地区的上市公司超过20,000家）。Park Systems一贯致力于纳米科学和纳米技术领域的开拓创新和卓越品质。本次入选福布斯的企业排行榜，又一次肯定了Park Systems在先进计量领域的领先地位。在过去的几年里，Park Systems不仅在收入和盈利方面稳步增长，还在研发方面做出了突出贡献。其纳米计量系统（包括AFM和椭偏仪）被半导体、电子、材料科学、生命科学等众多行业的研究人员和科学家广泛使用。“福布斯亚洲十亿美元以下最佳企业榜单”的评定需要综合各种指标，进行严格评定。其指标包括债务管理、销售增长、一年和三年期间的每股收益增长以及一年和五年平均的强劲股本回报率。此外为确保榜单的权威性，治理、会计实务、环境意识和管理绩效等定性标准也被纳入评定范围。Park Systems首席执行官Sang-il Park博士表示：“我们非常荣幸被评为‘福布斯2023年亚洲十亿美元以下最佳企业’之一。这一殊荣凸显了我们对创新、质量和客户满意度的坚定追求。”入选“福布斯2023年亚洲十亿美元以下最佳企业”榜单，Park Systems彰显了无与伦比的坚韧和卓越。Park Systems将继续砥砺前行，巩固其作为纳米计量行业全球领跑者的地位。关于Park SystemsPark Systems是世界领先的原子力显微镜（AFM）、椭圆偏振仪和其他纳米计量系统制造商，为化学、材料、物理、生命科学、半导体和数据存储行业的研究人员和工程师提供完善的解决方案。Park Systems的使命是帮助科学家和工程师解决世界上最紧迫的问题，推动科学发现和工程创新的发展。Park Systems的客户包括亚洲、欧洲和美洲的大多数世界领先的半导体公司和国立研究型大学。Park Systems是韩国证券交易所（KOSDAQ）的一家上市公司，公司总部位于韩国水原，地区总部位于加利福尼亚州圣克拉拉、曼海姆、巴黎、北京、东京、新加坡、印度和墨西哥城。

2023年6月29日，半导体和电子行业年度盛会SEMICON China 2023在上海新国际博览中心隆重举行。展会现场，Park Systems携原子力显微镜产品亮相E5馆，并向观众展示半导体解决方案。Park Systems展位展会期间，仪器信息网就参会感受、解决方案、行业发展趋势等话题采访了Park Systems中国区销售总裁张家荣先生。以下是现场采访视频：

近期，Park System重磅上新——智能惠享Park NX15。Park NX15一款独具特色的原子力显微镜，不仅非常适合共享实验室里的研究人员处理各种样品、进行多变量实验，也同样适合故障分析工程师处理晶圆的系统性工作。Park NX15具有强大的集成功能、智能的自动优化，简便的操作流、实惠的价格优势，是您从事研究的理想拍档！Park Systems新品Park 重磅上新——智能惠享 NX15  扫码查看Park NX15 新品介绍页面：彩页下载页面：产品特点作为一款功能强大的智能原子力显微镜，Park NX15不但能兼容4英寸、6英寸跑满，而且XY样品台行程可达100mm 、150 mm。除此，用户还可以对4英寸、6英寸晶片上的任意点进行定位。凭借丰富多样的定制化设计和灵活可选的个性化配置方案，Park NX15不仅非常适合共享实验室里的研究人员处理各种样品、进行多变量实验，也同样适合故障分析工程师处理晶圆的系统性工作。与同类原子力显微镜相比，Park NX15因其更强大的集成功能、更智能的自动优化，更简便的操作流程和实惠的价格而倍显优势。Park Systems大中华区的总裁张家荣说：”Park自成立以来，就以’创新卓越‘为宗旨来砥砺前行。更好地为客户提供高效的产品和优质的服务，一直是我们追求的目标。Park NX15原子力显微镜在各个方面的设计都匠心独运，能让您得到无可比拟的高精度纳米级分辨率数据，从而获得满意的成果。长期以来，Park始终致力于创新原子力显微镜技术，以推动纳米科技的不断进步。Park NX系列尽融多项核心技术，例如：无耦合关系的XY和Z扫描器、无扫描器弓形弯曲的平直正交XY轴扫描、真正的非接触™ 模式等。除了专业技术以外，凭借优异的产品质量和出色客户服务，Park NX系列已经成为原子力显微镜中不可忽视地一抹亮色。”

近期，Park System重磅上新——智能惠享Park NX15。Park NX15一款独具特色的原子力显微镜，不仅非常适合共享实验室里的研究人员处理各种样品、进行多变量实验，也同样适合故障分析工程师处理晶圆的系统性工作。Park NX15具有强大的集成功能、智能的自动优化，简便的操作流、实惠的价格优势，是您从事研究的理想拍档！作为一款功能强大的智能原子力显微镜，Park NX15不但能兼容4英寸、6英寸跑满，而且XY样品台行程可达100mm 、150 mm。除此，用户还可以对4英寸、6英寸晶片上的任意点进行定位。凭借丰富多样的定制化设计和灵活可选的个性化配置方案，Park NX15不仅非常适合共享实验室里的研究人员处理各种样品、进行多变量实验，也同样适合故障分析工程师处理晶圆的系统性工作。与同类原子力显微镜相比，Park NX15因其更强大的集成功能、更智能的自动优化，更简便的操作流程和实惠的价格而倍显优势。

扫描探针技术(SPM)是一类显微术的总称，是在扫描隧道显微镜（STM）的基础上发展起来的，主要分为STM和原子力显微镜（AFM）。首台扫描隧道显微镜于1981年问世，它的出现使得人们首次可以直接探测物体表面的原子排列及其电子行为，对于物理学、材料学、表面科学、微电子加工技术、化学和生命科学等均有着重要的意义。STM具有许多表面分析仪器不能比拟的优点，但其仅局限于对半导体和金属样品进行测量。为了弥补STM这一不足，1985年AFM诞生了。相比于扫描隧道显微镜，原子力显微镜不仅可以研究不具有导电性的样品，可以拓展应用于更多的材料体系研究，同时可以在大气和液体环境中工作，极大地扩展了其应用范围。近日，仪器信息网走进中国人民大学采访了在扫描探针显微镜领域持续进行技术方法创新的“开拓者”——中国人民大学教授程志海老师。程志海老师与课题组实验室的Park NX10 原子力显微镜漫漫求学路 亲历国内扫描探针技术的兴起与发展程志海老师本科就读于大连理工大学物理系，初入科研领域的程志海深受原子操纵、扫描隧道显微镜等先进技术的吸引。那时纳米技术刚刚在国内兴起，程志海找到回国不久的物理所高鸿钧老师，进入其实验室进行扫描探针显微技术的研究。此时，国内还没有多少课题组在进行扫描探针领域的研究工作。在高鸿钧老师的支持下，程志海老师前往德国柏林自由大学深造，学习原子操纵技术。这所大学是当时原子操纵研究较早、也是做得比较好的大学之一。博士毕业后，程志海又赴美留学，在加州大学河滨分校进行动态STM技术的研究，并将其应用于催化和表面扩散领域。这段经历，让他深刻认识到纳米显微技术的重要性，并促使程老师在扫描探针技术领域持续进行技术方法创新，成为扫描探针显微镜领域的“开拓者”，并获得了国际上的高度认可。原子级分辨率骨架成像2011年回国后，程志海加入国家纳米科学中心并在裘晓辉老师领导的纳米表征研究室工作，当时的方向瞄准纳米标准检测方面，主要基于原子力探针显微技术来开展。通过进一步优化发展qPlus- AFM技术，2013年直接“看见”了氢键，获得了原子级分辨率的分子化学骨架结构图像。该成果发表在Science，并入选2013年中国科学十大进展，同年也被Nature评为年度最震撼的图片之一。该实验室是国内第一个掌握该技术的课题组，当时国际上掌握类似技术的课题组也不超过5家。在该成果影响下，随后陆续国内有几个课题组跟进他们的工作并对qPlus-AFM技术很有兴趣，到现在已有更多国内的课题组进入到了这一领域，开展了不同体系的研究工作。AFM：一种通用型的平台技术在qPlus AFM技术应用的过程中，程志海老师意识到AFM具有非常强大的实用功能。相比于扫描隧道显微镜（STM），AFM在应用范围方面更广，不仅适用于半导体、绝缘体样品，也适用于生物样本，还可以用于工业样品的检测和表征。由于qPlus AFM对样品的限制性较大，程志海老师开始转向应用范围更广的大气微悬臂AFM进行技术上的探索。同时，他的实验室也购买了一台Park NX10原子力显微镜，进一步扩大了研究领域和应用范围。这些探索和实践为程志海教授在纳米领域的科研探索打下了坚实的基础，也为国内的纳米技术发展提供了新的思路和方法。Park NX10原子力显微镜使用AFM进行研究，不仅需要对AFM技术理论有一定的了解，也要掌握相关研究领域的知识。目前，程志海教授的研究团队主要集中于低维材料的电学性质、力学性质和热学性质方面的研究，同时与材料科学和生物领域的科研团队开展合作研究。程志海教授认为，AFM更像是一种通用的平台技术，可根据使用者的需求定制具体研究方案。目前，AFM在二维材料、半导体、高分子和细胞生物学等领域有着广泛的应用。为了进一步推广这一技术，程志海教授计划拓展AFM在低温磁场/极端条件下的应用，并进行量子材料探测等相关研究工作，为纳米材料的研究和发展做出贡献。以AFM技术方法为核心开展研究程志海教授的研究团队将AFM技术方法作为核心，开展相关研究。这种方法不同于以仪器为中心的研究方法，但两种方法并没有优劣之分。程志海解释道：“大部分研究者可能是基于材料和问题出发，技术方法仅是其服务的工具。而我们的课题组则是以技术方法为核心，开拓创新先进的扫描技术方法，然后在各种体系中开展展示性的应用，随后可以与基础研究的合作伙伴或仪器公司进一步进行技术合作。”程志海教授进一步表示：“我们使用的许多技术方法并非常规方法，通常需要对现有的AFM设备进行改造来实现。这种研究思路在国内可能比较少见，但国际上许多顶尖的研究团队也采用这种方法。”从方法和需求创新出发 发展AFM技术程志海教授认为，想要进一步突破AFM技术的发展现状，需要从方法和需求两个方面出发。从方法上可以进行技术创新，比如将微波与AFM结合，或是将时间分辨技术与AFM相结合。同时，也可以将人工智能引入AFM技术领域，在自动化数据分析、扫描选取、参数调节等方面进行应用。从需求方面出发，其一是更加注重实际应用场景，将AFM适用于更为实际的复杂体系中，如天然产物或生物等。其二、用户需求也可以作为技术创新的发展方向，仪器公司可以根据客户需求开发相应的技术和方法。程志海教授团队倾向于以需求为核心，结合最新的技术方法进行创新和发展，并将这些技术迅速推广到科研群体中。对用户而言，怎样才是一台好的AFM？程志海老师认为，一台好的AFM还应具有以下特点：1. 精确度和稳定性：能够实现纳米级别的精度，并且测量结果准确可靠。设备皮实耐用，仪器经常故障势必会带来糟糕的使用体验。2. 灵活性好：能够适应不同的样品类型和测试需求，具有多种不同的测试模式和功能。3. 可操作性和兼容开放的平衡：仪器应该容易上手，操作流程应该清晰简单，用户无需花费过多的时间和精力学习如何使用仪器。同时应兼容一定的开放性，为用户对设备的改造预留想象空间。4. 成熟度：用户体验感既依赖于不同类型用户的需求，也依赖于整个仪器技术的成熟度。AFM的不同产品有的适用于工业界，有的适用于平台，有的适用于研究型。国外公司设计的AFM产品基本均经过了较长时间的迭代，具有较高的产品成熟度，而目前国内产品在产品迭代方面就有所欠缺，这也是国产仪器发展的一个瓶颈。对AFM领域的入门者有哪些建议？此外，程志海教授给AFM入门学生提出了以下建议：1. 系统学习基础知识：包括仪器的原理、使用方法、样品制备技术等基础知识，从最基础的开始系统学习，一步步深入，逐渐掌握技能。2. 多动手实践：在学习的同时，多参与实验操作，多看一些样品的实际操作，并从实践中总结经验，不断优化自己的操作技能。3. 注重数据分析：对于得到的数据，应该仔细分析，了解每一个参数的意义，找到相应的解释，积累数据处理的经验，提高数据分析和结果解释的能力。对于即将购买AFM设备的入门者，程志海老师也给出了自己的意见。他提到：“需要先了解自己的研究方向和研究需求，根据需求来选择设备,不要期待着一台设备能实现所有的功能。” “很多老师买设备的时候，总是希望加很多附件，这没有必要。你可能会发现很多功能都是‘打架’的。有些附件或者功能，可能你几年也用不到一次，特殊的功能因为买的人少，成本更高，不仅很贵，服务也不好。所以要根据自己的需求来选择AFM。”程志海老师表示：“对于入门研究学者来说，切忌一下子开展太多的方向，需要积累到一定的阶段才能去开拓比较多的方向。”总之，购买AFM设备需要从自己的需求和实际情况出发，认真选择和了解设备，尽量做到买得安心、用得放心。

仪器信息网讯 5月16日，帕克原子力显微镜(以下称为Park Systems)上海实验室举行了开幕式。为了向客户提供更出色的产品和服务，Park Systems对2019年成立的上海实验室进行了扩建。扩建后的上海实验室占地更加广阔，设备也更加齐全，相信对于Park Systems进一步开辟中国市场将发挥重要作用。Park Systems上海实验室开幕式Park Systems中国区首席代表张菲博士介绍到场嘉宾韩国驻上海领事馆商务领事金根模先生致开幕词Park Systems全球执行副总裁Dr. Sang-Joon Cho致祝贺辞Park Systems亚太区销售经理Terry Yang部长致辞Park Systems中国区销售总裁张家荣介绍中国市场发展现状和发展蓝图Park Systems中国区销售总裁张家荣首先介绍了Park公司经历的三个冒险阶段，第一阶段是1988-1997年，当时Park Systems的创始人Sang-il Park（朴尚一博士）博士是美国斯坦福大学的研究人员之一，见证并参与了第一台原子力显微镜的发明。随后在1988年，第一台商用原子力显微镜问世，至1997年短短十年间就在全世界卖出了几千台原子力显微镜。第二阶段是1997-2022年，Sang-il Park博士回国创立Park Systems公司，并将目标转向了工业界，在经历了最初一段相对艰难的时期后，经过与IMEC的合作，最终在半导体市场取得了巨大的成功。2015年，Park Systems公司在韩国上市，直至2023年市值已经达到约1兆韩元。Park Systems在北京、上海、广州等多地布局，随着国内市场的繁荣，Park Systems公司也决定进一步地扩大上海实验室的规模。随后就在2023年，Park Systems公司进入了第三个冒险阶段，Park Systems公司推出了全自动的原子力显微镜FX40。对于国内市场而言，全新的自动化的原子力显微镜FX40必将掀起一轮新的革新。此外，Park Systems公司也在尝试结合不同的光学光学方法开发更多更好的原子力显微镜应用。Park Systems中国区售后经理张华新介绍中国区售后服务规划Park Systems中国区售后经理张华新介绍道，Park Systems售后团队的主要工作是机台的安装、培训、调试以及机台的维护保养等，目前中国区售后工程师已经突破了30人，并在武汉、合肥、北京、青岛、无锡、上海、广州等地设置了售后服务点。此外，Park Systems总部也有约10名售后工程师随时援助中国区售后团队，其中大部分都会说中文。Park Systems在国内还有充足的备件，在武汉、上海、合肥、武汉等地都有备品仓库，这些备品能够让Park Systems售后团队更快地解决客户发生的问题，特别是工业级的客户。今年Park Systems还计划在广州和青岛建立两个备件仓库，用来支援华中和华南两地。Park Systems在国内还有两个维修服务中心，这两个维修服务中心能够缩减备品返修时间，提高备品供应的效率。Park Systems在上海实验室布置了NX10和NX20两个科研型的演示机台，还新增了工业设备NX-Wafer，这些演示机台不仅具有演示作用，售后团队也可以利用演示机台进行内部培训，提高工程师的售后能力；演示机台也可以辅助售后工程师进行故障排查以及新应用和新功能的评估。Park Systems中国区销售经理魏晓冬致闭幕辞魏先生表示，Park Systems上海实验室位于上海虹桥核心区域，建筑面积接近500平米，现拥有12英寸的NX-Wafer全自动在线机台、兼容工业和科研的8英寸的NX20以及研究型的小样品机台NX10，近期还会再进驻全自动的研究型机台FX40，不久的将来Park Systems新收购的德国Accurion在线椭偏仪和主动隔振平台产品也都将亮相上海实验室。这些产品和应用方案可以给客户从购买设备之前的调研考察到售后阶段的各种应用需求提供完备的技术支持，从而帮助客户在各自的量测领域应用中解决面临的问题，提升工艺水平，提高研发效率。Park Systems中国区销售经理魏晓冬、Park Systems亚太区销售经理Terry Yang部长、Park Systems中国区首席代表张菲博士、Park Systems全球执行副总裁Dr. Sang-Joon Cho、韩国驻上海领事馆商务领事金根模先生、Park Systems中国区销售总裁张家荣、Park Systems全球市场部副总裁Jessica Kang常务、Park Systems全球技术支援部副总裁Peter Kang部长（从左至右）参加剪彩仪式Park Systems上海实验室参观

为了向客户提供更出色的产品和服务，Park对2019年成立的上海实验室进行了扩建。扩建后的上海实验室占地更加广阔，设备也更加齐全。全新的多功能半导体机台和研究机台将为用户提供精准的demo实验。为此，Park将于5月16日在上海实验室举办开幕式，并进行线上直播。届时Park大中华区总裁将在直播间带来Park的全新产品，并介绍Park公司未来的发展蓝图；Park公司中国区售后总经理张华新将在直播间分享中国区售后服务工作规划。此外，开幕式上将举办全新的Park上海实验室剪彩仪式，也将组织上海实验室云参观活动！诚邀各位关注和喜爱Park的用户莅临直播间！直播时间：5月16日直播平台：仪器信息网视频号韩国驻上海领事馆领事金根模先生 开幕致辞届时韩国驻上海领事馆领事金根模先生将为开幕式做精彩致辞，欢迎大家扫码预约收看。开幕式直播间帕克原子力显微镜上海实验室外景一角帕克原子力显微镜在开幕式直播间欢迎您的到来！

近期，Park原子力显微镜公司收购了德国欧库睿因公司，并于2月20日在山东济南鲁能贵和洲际酒店进行了欧库睿因成像椭偏仪产品相关的研讨会。  在本场研讨会上，Park欧库睿因中国销售经理左方青作了《成像椭偏仪》的相关报告介绍。报告分为六个部分：椭偏仪原理介绍；成像椭偏仪介绍；成像椭偏仪的优缺点；成像椭偏仪与传统椭偏仪的比较；Accurion成像椭偏仪的硬件及特点；成像椭偏仪的应用范围和应用案例。 除此之外，左青方还详细介绍了欧库睿因产品、欧库睿因被收购前在中国的销售业绩、客户分布范围以及售后问题等内容。报告人介绍：左方青，Park中国销售代表，成像椭偏仪应用工程师，拥有十年以上成像椭偏仪销售和售后经验。目前专注于帕克Accurion成像椭偏仪和主动隔震台的销售和应用。  本场研讨会持续了四个小时，其中一小时作为讨论。整场讨论会气氛热烈。本场研讨会让我们更加了解了欧库睿因产品的历史，并对如何结合Park现有客户拓展新型多样化的销售渠道等问题做了规划。此后Park中国区技术团队将竭心维护欧库睿因产品的销售和售后，相信欧库睿因的销量和客户满意度将逐步提高。据相关报道，早在2022年10月14日，Park Systems为庆祝这一战略扩张，在德国举行盛大仪式庆祝Accurion公司的并购，双方管理团队齐聚一堂。Accurion新公司名称宣布为：Park Systems GmbH，Accurion Division。“我非常确信，我们选择了一个具有许多协同效应的非常好的合作伙伴。这不仅对Park的业务有利，而且对Accurion的业务也有利，”新的Park Systems公司的首席执行官Stephan Ferneding补充道。Accurion与Park Systems的合并为Park的计量产品带来了一个超越AFM技术的新时代。“通过将成像光谱和椭圆测量模块与Park Systems平台相结合，我们可以轻松地为半导体行业创建新的ISE解决方案。所有这些都将超越AFM扩大我们的业务组合，这是推动我们公司增长的重要一步。”Dr. Park透露。关于Accurion公司Accurion在两个产品线中提供高端可靠的尖端技术：成像椭偏和主动振动隔离。2009年，主动隔振解决方案专家Halcyonics公司和表面分析工具专家Nanofilm Technology 公司并入Accurion公司。回顾其30年的宝贵经验，Accurion为世界各地的客户提供了技术和科学进步，设计和制造了先进的仪器，用于具有挑战性的测量任务。

利用原子力显微镜进行的自动缺陷复检可以以纳米级的分辨率在三维空间中可视化缺陷，因此纳米级成像设备是制造过程的一个重要组成部分，它被视为半导体行业中的理想技术。结合原子力显微镜的三维无创成像，使用自动缺陷复查对缺陷进行检测和分类。伴随光刻工艺的不断进步，使生产更小的半导体器件成为可能。 随着器件尺寸的减小，晶圆衬底上的纳米级缺陷已经对器件的性能产生了限制。 因此对于这些缺陷的检测和分类需要具有纳米级分辨率的表征方法。 由于可见光的衍射极限，传统的自动光学检测（AOI）无法在该范围内达到足够的分辨率，这会损害定量成像和随后的缺陷分类。 另一方面，使用原子力显微镜 (AFM) 的自动缺陷复检 (ADR)技术以 AFM 常用的纳米分辨率能够在三维空间中可视化缺陷。 因此，ADR-AFM 减少了缺陷分类的不确定性，是半导体行业缺陷复检的理想技术。缺陷检查和复检随着半导体器件依靠摩尔定律变得越来越小，感兴趣的缺陷（DOI）的大小也在减小。DOI是可能降低半导体器件性能的缺陷，因此对工艺良率管理非常重要。DOI尺寸的减小对缺陷分析来说是一个挑战：合适的表征方法必须能够在两位数或一位数纳米范围内以高横向和垂直分辨率对缺陷进行无创成像。传统上，半导体行业的缺陷分析包括两个步骤。第一步称为缺陷检测，利用高吞吐量但低分辨率的快速成像方法，如扫描表面检测系统（SSIS）或AOI。这些方法可以提供晶圆表面缺陷位置的坐标图。然而，由于分辨率较低，AOI和SSIS在表征纳米尺寸的DOI时提供的信息不足，因此，在第二步中依赖高分辨率技术进行缺陷复检。对于第二步，高分辨率显微镜方法，如透射或扫描电子显微镜（TEM和SEM）或原子力显微镜（AFM），通过使用缺陷检测的缺陷坐标图，对晶圆表面的较小区域进行成像，以解析DOI。利用AOI或SSIS的坐标图可以最大限度地减少感兴趣的扫描区域，从而缩短缺陷复检的测量时间。众所周知，SEM和TEM的电子束可能会对晶圆造成损伤，所以更佳的技术选择应不能对晶圆产生影响。那么选择采用非接触测量模式的AFM可以无创地扫描表面。不仅有高横向分辨率，AFM还能够以高垂直分辨率对缺陷进行成像。因此，原子力显微镜提供了可靠的缺陷定量所需的三维信息。原子力显微镜通过在悬臂末端使用纳米尺寸的针尖对表面进行机械扫描，AFM在传统成像方法中实现了最高的垂直分辨率。除了接触模式外，AFM还可以在动态测量模式下工作，即悬臂在样品表面上方振荡。在这里，振幅或频率的变化提供了有关样品形貌的信息。这种非接触AFM模式确保了以高横向和垂直分辨率对晶圆表面进行无创成像。由于自动化原子力显微镜的最新发展，原子力显微镜的应用从学术研究扩展到了如硬盘制造和半导体技术等工业领域。该行业开始关注AFM的多功能性及其在三维无创表征纳米结构的能力。因此，AFM正在发展成为用于缺陷分析的下一代在线测量解决方案。使用原子力显微镜自动缺陷复检基于 AFM 的缺陷复检技术的最大挑战之一是将缺陷坐标从 AOI 转移到 AFM。最初，用户在 AOI 和 AFM 之间的附加步骤中在光学显微镜上手动标记缺陷位置，然后在 AFM 中搜索这些位置。然而，这个额外的步骤非常耗时并且显着降低了吞吐量。另一方面，使用 AFM 的自动缺陷复检从 AOI 数据中导入缺陷坐标。缺陷坐标的导入需要准确对准晶圆以及补偿 AOI 和 AFM 之间的载物台误差。具有比 AOI 更高位置精度的光学分析工具（例如Candela）,可以减少快速中间校准步骤中的载物台误差。以下 ADR-AFM 测量包括在给定缺陷坐标处的大范围调查扫描、缺陷的高分辨率成像和缺陷分类。由于自动化，测量过程中用户不必在场，吞吐量增加了一个数量级。为了保持纳米级的针尖半径，使多次后续扫描依旧保持高分辨率，ADR-AFM 采用非接触式动态成像模式。因此，ADR-AFM 可防止探针针尖磨损并确保对缺陷进行精确地定量复检。图1：用AOI和ADR-AFM测定的缺陷尺寸的直接比较，见左侧表格。右侧显示了所有六种缺陷的相应AFM形貌扫描。突出的缺陷称为Bump，凹陷的缺陷称为Pit。AOI和ADR-AFM的比较图1比较了 AOI 和 ADR-AFM 对相同纳米级缺陷的缺陷复检结果。AOI 根据散射光的强度估计缺陷的大小，而 ADR-AFM 通过机械扫描直接缺陷表面进行成像：除了横向尺寸外，ADR-AFM 还测量缺陷的高度或深度，从而可以区分凸出的“bump”和凹陷的“pit”缺陷。 缺陷三维形状的可视化确保了可靠的缺陷分类，这是通过 AOI 无法实现的。当比较利用 AOI 和 ADR-AFM 确定缺陷的大小时，发现通过 AOI 估计的值与通过 ADR-AFM 测量的缺陷大小存在很大差异。对于凸出的缺陷，AOI 始终将缺陷大小低估了一半以上。 这种低估对于缺陷 4 尤其明显。在这里，AOI 给出的尺寸为 28 nm ，大约是 ADR-AFM 确定的尺寸为 91 nm 的三分之一。 然而，在测量“pit”缺陷 5 和 6 时,观察到了 AOI 和 ADR-AFM 之间的最大偏差。 AOI将尺寸在微米范围内的缺陷低估了两个数量级以上。 用 AOI 和 ADR-AFM 确定的缺陷大小的比较清楚地表明，仅 AOI不足以进行缺陷的成像和分类。图 2：ADR-AFM 和 ADR-SEM 之间的比较，a) ADR-SEM 之前遗漏的凸出缺陷的 AFM 图像。 ADR-SEM 扫描区域在 AFM 形貌扫描中显示为矩形。 b) 低高度 (0.5 nm) 缺陷的成像，ADR-SEM 无法解析该缺陷。 c) ADR-SEM 测量后晶圆表面上的电子束损伤示例，可见为缺陷周围的矩形区域。ADR-SEM和ADR-AFM的比较除了ADR-AFM，还可以使用 ADR-SEM 进行高分辨率缺陷复查。ADR-SEM根据AOI数据中的DOI坐标，通过SEM测量进行自动缺陷复检，在此期间，高能电子束扫描晶圆表面。虽然SEM提供了很高的横向分辨率，但它通常无法提供有关缺陷的定量高度信息。为了比较ADR-SEM和ADR-AFM的性能，首先通过ADR-SEM对晶圆的相同区域进行成像，然后进行ADR-AFM测量（图2）。AFM图像显示，ADR-SEM扫描位置的晶圆表面发生了变化，在图2a中，AFM形貌显示为矩形。由于ADR-AFM中ADR-SEM扫描区域的可见性，图2a说明ADR-SEM遗漏了一个突出的缺陷，该缺陷位于SEM扫描区域正上方。此外，ADR-AFM具有较高的垂直分辨率，其灵敏度足以检测高度低至0.5nm的表面缺陷。由于缺乏垂直分辨率，这些缺陷无法通过ADR-SEM成像（图2b）。此外，图2c通过总结高能电子束对样品表面造成的变化示例，突出了电子束对晶片造成损坏的风险。ADR-SEM扫描区域可以在ADR-AFM图像中识别为缺陷周围的矩形。相比之下，无创成像和高垂直分辨率使ADR-AFM非常适合作为缺陷复检的表征技术。结论随着现代技术中半导体器件尺寸的不断减小，原子力显微镜作为一种高分辨率、无创的缺陷分析方法在半导体工业中的作用越来越明显。AFM测量的自动化简化并加快了之前AFM在缺陷表征方面低效的工作流程。AFM自动化方面的进展是引入ADR-AFM的基础，在ADR-AFM中，缺陷坐标可以从之前的AOI测量中导入，随后基于AFM的表征不需要用户在场。因此，ADR-AFM可作为缺陷复检的在线方法。特别是对于一位或两位级纳米范围内的缺陷尺寸，ADR-AFM补充了传统的AOI，AFM的高垂直分辨率有助于可靠的三维缺陷分类。非接触式测量模式确保了无创伤表面表征，并防止AFM针尖磨损，从而确保在许多连续测量中能够维持高分辨率。作者:Sang-Joon Cho, Vice President and director of R&D Center, Park Systems Corp.Ilka M. Hermes, Principal Scientist, Park Systems Europe.

仪器信息网讯 近日，作为一家有超过30年制造史的原子力显微镜制造厂商，Park原子力显微镜公司现推出新一代高效、安全的光罩修复设备——Park NX-Mask。Fully Compatible with EUV Dual Pods Park NX-Mask旨在为用户提供优异的解决方案，其强大的兼容性可适用于处理EUV光罩的dual pod。从自动缺陷检测到缺陷修复再到修复验证的一站式解决方案更是以前所未有的高修复效率极大地提高了生产效率，助力用户的研发和生产工作。“Park NX-Mask配有最先进的原子力显微镜光罩缺陷修复系统，适用于高端EUV半导体制造以及光罩修复fab。它也是目前半导体市场上性价比最高的机台。”Park 原子力显微镜产品营销总监 Richard Lee如是介绍。Park NX-Mask的核心优势是以亚纳米级边缘定位精度进行缺陷修复、杂质颗粒去除。NX-Mask在高效修复光罩的同时，不会引入额外的样品损伤和颗粒污染。AFM Based EUV Mask Repair Equipment, NX-Mask  基于AFM的EUV光罩修复设备Park NX-Mask集自动缺陷检测和光罩修复为一体，可实现高吞吐量、高分辨率，并可避免传统方法带来的破坏性风险。此外，Park NX-Mask能为表面粗糙度和图案台阶高度提供全自动的原子力显微镜纳米计量。在非接触扫描模式下，它以亚埃垂直精度完美地做到了这一点。关于Park原子力显微镜公司作为当今发展最快、世界一流的原子力显微镜系统制造商，Park原子力显微镜(Park Systems)一直与时俱进，竭诚为化学、材料、物理、生命科学、半导体和数据存储等行业的研究员及工程师提供各系列产品。“真诚协助科学家和工程师解决世界上最紧迫的难题，源源不竭推动科学发现，坚持拓展工程创新的边界，不断实现纳米级的进步”始终是Park原子力显微镜的使命。发展至今，Park Systems 的客户已涵盖了多数世界领先级的半导体公司和亚洲、欧洲和美洲的国家研究型大学。 Park原子力显微镜(Park Systems)是韩国证券交易所 (KOSDAQ) 的上市公司，其总部位于韩国水源，地区总部位于美国、墨西哥、德国、法国、英国、大中华区、日本、新加坡和印度。了解详情请查看：Park NX-Mask-参数-价格-仪器信息网 (instrument.com.cn)

仪器信息网讯 Park原子力显微镜11月14日发布了NX系列新品——Park NX7。Park NX7通过消除扫描器串扰进行准确的XY扫描，操作软件可以帮助初次使用用户和资深用户进行专业的纳米级研究，支持高级样品表征。Park NX7涵盖所有扫描探针显微镜的扫描模式，26种SPM模式包括3种形貌成像、3种介电/压电特性、1种磁学特性、9种电学特性、8种力学特性和2种化学特性模式，拥有极佳的选择兼容性和可升级性。Park NX7 配有Park原子力显微镜顶尖技术，其设计与新型显微镜一样彰显细节品质，可以有效助您取得精准的研究成果。现在价格实惠，是您预算合理下的理想首选。NX系列产品优势:True Non-Contact™模式可延长探针寿命、保护样品和精准测量；高速扫描器可在提高扫描速度的同时提供高解析度图像，为用户提供高效率解决方案；人性化设计的软件和硬件功能，拓展功能齐全。实惠智能Park NX7（点击查看更多仪器信息）概览通过消除扫描器串扰进行准确的XY扫描• 独立闭环XY和Z柔性扫描器• 正交XY扫描• 样品表面形貌信息测量精准，无需软件处理最全面的原子力显微镜解决方案• 涵盖所有扫描探针显微镜的扫描模式• 更智能的NX电子控制器默认启用高级纳米机械测量模式• 拥有业界最佳选择兼容性和可升级性人性化设计的软件和硬件功能• 方便样品或换针的开放式使用• 预对准的探针夹设计，可轻易直观的进行SLD光校准• Park SmartScanTM - 原子力显微镜操作软件可以帮助初次使用用户和资深用户进行专业的纳米级研究。技术信息无扫描器弓形弯曲的平直正交XY轴扫描Park的串扰消除技术不仅改善了扫描器弓形弯曲的缺点，还能够在不同扫描位置，扫描速率和扫描尺寸条件下进行平直正交XY轴扫描。即使最平坦的样品也不会出现如光学平面,各种偏移扫描等背景曲率。因此Park能不惧艰难挑战，为您在研究中提供高精度的纳米测量。 无耦合关系的XY和Z扫描器Park的核心优势在于匠心独运的扫描器架构。基于独立XY扫描器和Z扫描器设计的独特挠曲结构，能让您轻松获得无可比拟的高精度纳米级分辨率数据。 行业领先的低噪声Z探测器Park AFM 配备了该领域最有效的超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,因而达到了样品形貌成像精准，没有边沿过冲无需校准的高效率。Park NX系列不仅为您提供高精准的数据，更为您最大化地节省了时间成本。  由低噪声Z探测器测量准确的样品形貌• 利用低噪声Z探测器信号进行形貌成像• 有高宽带，Z探测器低噪声只有0.02 nm• 边缘位置无前沿或后沿过冲现象• 只需在原厂校准一次样品: 1.2 μm标准台阶高度(9 μm x 1 μm, 2048 pixels x 128 lines)True Non-Contact™模式可延长探针寿命、保护样品和精准测量True Non-Contact™ 模式是Park原子力显微镜系统独有的扫描模式，通过在扫描过程中防止针尖和样品损坏，从而产生高分辨率和准确的数据。接触模式下，针尖在扫描过程中持续接触样品；轻敲模式下，针尖周期性地接触样品；而在非接触模式下针尖不会接触样品。因此，使用非接触模式具有几大关键优势。由于针尖锐度得以保持，在整个成像过程中会以最高分辨率进行扫描。非接触模式下由于针尖和样品表面不会直接接触，从而避免损坏软样品。 更快速的Z轴伺服使得真正的非接触式原子力显微镜有更精确的反馈• 减少针尖磨损 → 长时间高分辨率扫描• 无损式探针-样品接触 → 样品受损最小化• 可满足各种条件下，对各种样品都能够进行非接触式扫描  此外，非接触模式可以感知探针与样品原子之间的作用力，甚至可以检测到探针接近样品时产生的横向力。因此，在非接触模式下使用的探针可以有效避免撞到样品表面时突然出现的高层结构。而接触模式和轻敲模式只能进行探针底端检测，很容易受到这种撞击伤害。原子力显微镜模式最具扩展性的 AFM 解决方案:行业领先——支持最广泛的SPM模式和选项如今，研究人员需要在不同的测量条件和样品环境下表征广泛的物理特性。 Park Systems能为您提供最广的 SPM 模式、最全的 AFM 选项以及业界最佳的选项兼容性和可升级性，支持高级样品表征。Park NX7拥有最广泛的 SPM 模式形貌成像• 非接触模式• 接触模式• 轻巧模式介电/压电特性• 压电力显微镜(PFM)• 高压PFM• Piezoresponse Spectroscopy磁学特性• 磁力显微镜 (MFM) 电学特性• 导电原子力显微镜 (C-AFM)• 电流-电压分光镜• 开尔文探针力显微镜 (KPFM)• 高压KPFM• 扫描电容显微镜 (SCM)• 扫描扩展电阻显微镜 (SSRM)• 扫描隧道显微镜(STM)• 光电流映射 (PCM)• 静电力显微镜 (EFM) 力学特性• 力调制显微镜 (FMM)• 纳米压痕• 纳米刻蚀• 高压纳米刻蚀• 纳米操纵• 横向力显微镜 (LFM)• 力距(F/d)光谱• 力容积成像化学特性• 具有功能化探针的化学力显微镜• 电化学显微镜 (EC-AFM)技术参数Park NX7 参数ScannerZ扫描器柔性引导高推动力扫描器Z扫描范围: 15 μm (30 μm可选) XY扫描器闭环控制式单模块柔性XY扫描器扫描范围: 50 µm × 50 µm(可选 10 μm × 10 μm 或 100 μm × 100 μm)位移台Z位移台Z位移台行程范围: 28 mm XY位移台XY位移台行程范围: 13 mm X 13 mm 样品架样品大小 : 最大50 mm样品厚度: 最厚20 mm软件SmartScanTMAFM系统控制和数据采集软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的高级使用和更精密的扫描控制 SmartAnalysisTMAFM数据分析软件独立设计—可以安装和分析AFM以外的数据能够生成采集数据的3D绘制 Dimensions in mm

实现先进 ▶▶▶纳米级研究Park原子力显微镜  创新是企业的第一生产动力。近期，众企业迎来了重磅级好消息。为激励企业加大研发投入，购买更新设备，提高创新能力，国家战略实施阶段性支持企业创新的减税政策。该政策将无疑成为国产科学仪器发展的最强助力，同时也掀起了新一轮设备采购的浪潮。✦国策利好关键点✦01对高新技术企业在今年四季度购置设备的支出，允许当年一次性税前全额扣除并100%加计扣除，且地方和中央财政进一步予以支持。   02在今年第四季度，对现行按75%比例税前加计扣除研发费用的行业，统一提高扣除比例到100%，鼓励改造和更新设备。03对企业出资科研机构等基础研究支出，允许税前全额扣除并加计扣除。04对高校、职业院校和实训基地、医院、地下综合管廊、新型基础设施、产业数字化转型和中小微企业、个体工商户等设备购置和更新改造新增贷款，实施阶段性鼓励政策，中央财政贴息2.5个百分点，期限2年。  该政策于10月1日正式实施，12月31日截止。  在这种减税利好的政策下，Park将继续秉承初心，竭力作为原子力显微镜的开拓者和引领者，Park始终坚定不移地以“与时俱进，卓越高效，全心至诚”为宗旨，为客户提供个性化的解决方案，企业产品广泛用于研究和工业测量领域领域, 为用户需求提供精确的纳米级测量方案。♚ Park产品概览图  ♚关于Park原子力显微镜:  Park原子力显微镜公司（Park Systems）成立于1988年，是全球第一个推出商业原子力显微镜产品的上市公司。Park成立30多年来，始终致力于纳米领域的形貌&力学测量和半导体先进制成工艺的计量的新技术新产品的开发。Park独有的技术是将XY和Z扫描器分离，实现探针与样品间的真正非接触，避免形貌扫描过程中因探针磨损带来的图像失真，快速成像还可以大大提高测试效率，降低实验测试成本。  Park成立至今，致力于新产品和新技术的开发，为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。Park的原子力显微镜以高尖端产品质量和快捷优质的售后服务受到广大客户的认可。为了给客户提供高效便捷的售后服务， 韩国帕克股份有限公司北京代表处建立有售后服务中心并配有备件仓库。Park全系列显微镜卓现时代品质  “路漫漫其修远兮，吾将上下而求索。”在通往纳米世界的征途中，Park原子力显微镜永远与您并肩同行，携手共进！

仪器信息网讯 2022年9月2日，Park原子力显微镜公司(Park Systems Corp.) 宣布收购德国欧库睿因公司(Accurion GmbH)。德国欧库睿因公司是一家研发并制造成像椭偏仪和主动隔振器的私营公司。此次收购优化了Park原子力显微镜和白光干涉显微镜联用技术。交易的财务细节没有披露。欧库睿因公司总部位于德国哥廷根，是成像椭偏仪领域的先驱。该公司起初是马克斯-普朗克生物物理化学研究所的衍生公司，成立之时便开始研发用于表征超薄膜的布鲁斯特角显微镜。由于这些显微镜对振动很敏感，主动隔振技术就此应运而生。欧库睿因的成像椭偏仪将椭偏仪和光学显微镜的优点集于一身。强强联合之下创造了一款新兴的计量工具，突破了光学显微镜的测量极限。成像椭偏仪增强的空间分辨率将椭偏仪扩展到微分析、微电子和生物分析的新领域。“这是 Park原子力显微镜公司第一次进行完整品牌收购。我们很高兴这家传奇的高科技公司能成为Park，这也将成为Park企业史上浓墨重彩的一笔。”Park原子力显微镜的CEO朴尚一博士(Dr. Sang-il Park)介绍道，“欧库睿因的成像椭偏仪和主动隔振将与 Park 现有的原子力显微镜系列融合，衍生出许多造福纳米界的新产品，并产生业务协同效应。对我们的客户和投资者来说，这无疑是个令人振奋的好消息。”“我们很荣幸成为 Park原子力显微镜公司的一员。”欧库睿因的联合创始人兼首席执行官 Stephan Ferneding 补充道，“我们很期待 Park原子力显微镜公司以工业制造自动化系统方面的专业知识、优秀的全球销售能力以及专业的售后服务把业务带入全新的领域，创造新机遇。我们不仅具有 30 多年来为全球客户服务的宝贵经验，更还期待今后能在 Park原子力显微镜公司领导下更加快速地成长。”关于德国欧库睿因公司：德国欧库睿因公司（Accurion GmbH）位于德国下萨克森州的哥廷根，公司起源于1991年从德国马克斯-普朗克生物物理化学研究所（Max-Planck Institute for biophysical chemistry in Goettingen）独立出来的高科技公司Nanofilm GmbH。德国欧库睿因公司（Accurion GmbH）新公司于2008年由Nanofilm GmbH战略并购Halcyonics GmbH后更名而成立。公司的产品主要是Nanofilm产品，应用在材料、物理、化学、生物和医学等领域的光学表面及界面分析测量技术；以及Halcyonics产品，为各种高精仪器提供主动减震平台。关于Park原子力显微镜公司(Park Systems Corp.):作为世界领先的原子力显微镜 (AFM) 制造厂商，Park原子力显微镜公司为化学、材料、物理、生命科学、半导体和数据存储行业的研究人员和工程师提供全系列产品。“为科学家和工程师实现纳米级进步，助其解决世界上最紧迫的问题，并推动科学发现和工程创新不断地前进”是Park原子力显微镜公司义不容辞的使命。 Park原子力显微镜的客户大多数是世界前20的半导体公司和亚洲、欧洲和美洲的国家研究型大学。 近年来在10纳米先进制程量测领域取得不菲业绩。Park原子力显微镜公司是韩国证券交易所 (KOSDAQ) 的上市公司，公司总部位于韩国水原，分公司分别位于加利福尼亚州圣克拉拉、曼海姆、巴黎、北京、东京、新加坡、印度和墨西哥城。

2018年，帕克NX系列开始进入中国市场武汉，随着国内业务的拓展，帕克首先在北京成立了办公室，帕克国内半导体服务团队也由此而生。多样的服务形式帕克有local和on site两种服务形式：如果客户电话通知相关问题，通常情况下帕克售后团队会选择电话支援。但如果客户遇到难以解决的紧急情况，帕克会远程协助客户电脑端进行支援。除此之外，当工厂需要on site支援时，帕克售后团队会派遣工程师去客户端支援。广泛的服务网络为确保帕克售后服务的全面性，帕克将全国分成几个服务区以面盖全，基本覆盖了全国大部分地区，包括上海在内的江浙沪地区、安徽合肥、湖北武汉、山东、广州、甚至台湾售后服务中心——大中华区。在这些半导体集中的地方，帕克都有local售后工程师常驻。在中国，原子力显微镜行业并不是大热门，想在国内找到一个有AFM专业经验的工程师，甚至有AFM使用经验的工程师都很困难。如果遇到现场处理不了的紧急情况，帕克售后团队通常会以紧急会议的方式直接和韩国总部同事进行沟通对话。在韩国总部，有丰富AFM经验的中国同事进行支援，使得语言沟通和专业不再是问题，显著提高了服务效率。必备的售后培训帕克新入职的员工需要在国内接受简单的半导体方面和帕克机台的知识培训。当对机台有一定了解之后，再到韩国总部接受深层培训。在总部培训一个月左右回到中国，再向有5-10年AFM工作经验的工程师现场学习。疫情期间，虽然新职员无法到韩国总部培训，但仍会定期举行远程会议，比如需要学习某一个软件。韩国总部会派出有经验的工程师，通过视频会议的方式来进行培训。除此之外，总部每两周都会提供专业的应用和售后支持文件，在总部售后团队的协助下提供系统培训。个性的考核制度为了提高帕克售后服务人员的专业性，帕克引入了工程师能力测试和KPI机制，从设备安装、使用、操控，到软件应用都会有相对应的表格来考量一个工程师的综合水平。完善的备件仓库在这个高速发展的信息时代，帕克不仅有庞大的售后团队（分布在中国11座主要城市），还建立有完善的备件仓库，可以做到72小时甚至24小时的硬件更换，以最短的时间实现最快的响应。帕克在北京、上海、广州都有demo机台，可以用来解决客户的应用问题。除此之外，亚洲区的APEC中心在台湾，这样极大缩短了维修时间，能更加简便高效的为客户提供优质的服务。这些年来帕克一直在竭诚践行自己的售后服务目标，即确保每一位客户都有一对一的专业售后团队支持，而帕克客户服务的最终目标是：让客户能够放心使用帕克原子力显微镜产品。给客户更优质的服务，是帕克永不改变的宗旨。这些年我们可以明显看到帕克中国售后的变化，欣喜于它一步步成长，逐渐走向完善，与时俱进，共同进步。Park原子力显微镜公司帕克（Park）公司的创始人是世界上第一台原子力显微镜发明组的一员，1986年研制了世界首台商用原子力显微镜，一直致力于原子力显微镜技术的开发与应用，帕克（Park）在原子力显微镜的发展过程中一直占有重要的一席之地。帕克作为纳米显微镜和计量技术领域的领导革新者，一直致力于新兴技术的开发，并为研究领域和工业界提供世界上最精确、最高效的原子力显微镜做出不懈努力。

帕克原子力显微镜公司（Park Systems，以下称：帕克）为满足半导体客户对大面积扫描和纳米级计量日益增长的需求，最新推出了Park NX-Hybrid WLI半导体机台，可为用户提供全面的计量解决方案。此机台不仅可实现亚埃米级的高精度微观形貌测量，同时在成像时还具有测量区域大、吞吐量高的优点。 Park NX-Hybrid WLI半导体机台，作为一种功能强大的半导体计量工具，首次将原子力显微镜 (AFM) 与白光干涉仪 (WLI) 轮廓测量技术二者的核心优势整合为一个最佳系统。其中， 白光干涉测量 (WLI) 是一种无损伤、非接触式的光学技术，用于生成高保真的2D 和 3D 的轮廓模型，现已成为半导体生产质量保证。然而，单独的 WLI 已经不能满足特定的需要，应运而生的Park NX-Hybrid WLI适用于更高分辨率和精确度的应用，例如高级化学机械抛光 (CMP) 计量和监测、凹陷、腐蚀和边缘过度腐蚀 (EOE) ，膜厚，柱高，孔结构和模具比较。除此之外，它还能应用于包括硅通孔 (TSV) 、微凸点测量重分布层 (RDL) 测量和光刻胶残留检测在内的高级封装。△Park NX-Hybrid WLI 与传统独立的WLI和AFM系统不同，Park NX-Hybrid WLI以无缝衔接的方式实现了更多功能，并以极低的成本创建了一个完整的集成工具，将两种工具安装在同一个支架上并由一个 EFEM 馈送，该系统创建了完全集成和可交换的数据，减少了晶圆厂占地面积并提高了更大面积的吞吐量。在这个整合的系统中，基于Park NX-Wafer而成的Park AFM，是业界领先的半导体及相关设备的自动化原子力显微镜系统，它能够进行线上生产质量保证和研发。组合而成的AFM/WLI系统，使用 WLI模块能够在超广的区域提供高通量成像，并使用AFM在需要的区域提供亚埃高度分辨率的纳米级计量。其中“热点检测”技术能快速定位高分辨率AFM的缺陷位置。此系统可以使用该技术比较和参考目标样本区域的图像来检测图案结构的缺陷。 Park WLI 模块支持白光干涉测量 (WLI) 和相移干涉测量 (PSI) 模式。PSI 模式通过电动滤光片更换器启用，两个物镜可以由电动镜头自动更换，支持 2.5倍、10倍、20倍、50倍的物镜放大倍率，并具有 100x CMOS 的相机功能。 Park NX-Hybrid WLI 糅合了两种互补的技术，是一个全面综合性自动化计量系统。与两个独立的系统相比，该系统可有效节约成本。 目前推出的新款Park NX-Hybrid机台，是帕克公司今年计划推出的一系列混合计量产品的一部分，用以提高和改善原子力显微镜在各大工业和学术研究应用中的利用率。 关于帕克公司韩国帕克股份有限公司(Park)成立于1988年，是全球第一个推出商业原子力显微镜产品的上市公司。Park成立30多年来，始终致力于纳米领域的形貌&力学测量和半导体新技术新产品的开发。Park采用XY和Z轴分离的平板式扫描器，加上独家的真正非接触模式，可避免形貌扫描过程中因探针磨损带来的图像失真和数据不一致问题；快速成像技术还可以大大提高测试效率，降低实验测试成本。Park成立至今，致力于新产品和新技术的开发，为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。Park的原子力显微镜以高尖端产品质量和快捷优质的售后服务受到广大客户的认可。为了给客户提供高效便捷的售后服务， 韩国帕克股份有限公司北京代表处建立有售后服务中心并配有备件仓库。 

利用原子力显微镜进行的自动缺陷复检可以以纳米级的分辨率在三维空间中可视化缺陷，因此纳米级成像设备是制造过程的一个重要组成部分，它被视为半导体行业中的理想技术。结合原子力显微镜的三维无创成像，使用自动缺陷复查对缺陷进行检测和分类。伴随光刻工艺的不断进步，使生产更小的半导体器件成为可能。 随着器件尺寸的减小，晶圆衬底上的纳米级缺陷已经对器件的性能产生了限制。 因此对于这些缺陷的检测和分类需要具有纳米级分辨率的表征方法。 由于可见光的衍射极限，传统的自动光学检测（AOI）无法在该范围内达到足够的分辨率，这会损害定量成像和随后的缺陷分类。 另一方面，使用原子力显微镜 (AFM) 的自动缺陷复检 (ADR)技术以 AFM 常用的纳米分辨率能够在三维空间中可视化缺陷。 因此，ADR-AFM 减少了缺陷分类的不确定性，是半导体行业缺陷复检的理想技术。  缺陷检查和复检 随着半导体器件依靠摩尔定律变得越来越小，感兴趣的缺陷（DOI）的大小也在减小。DOI是可能降低半导体器件性能的缺陷，因此对工艺良率管理非常重要。DOI尺寸的减小对缺陷分析来说是一个挑战：合适的表征方法必须能够在两位数或一位数纳米范围内以高横向和垂直分辨率对缺陷进行无创成像。 传统上，半导体行业的缺陷分析包括两个步骤。第一步称为缺陷检测，利用高吞吐量但低分辨率的快速成像方法，如扫描表面检测系统（SSIS）或AOI。这些方法可以提供晶圆表面缺陷位置的坐标图。然而，由于分辨率较低，AOI和SSIS在表征纳米尺寸的DOI时提供的信息不足，因此，在第二步中依赖高分辨率技术进行缺陷复检。对于第二步，高分辨率显微镜方法，如透射或扫描电子显微镜（TEM和SEM）或原子力显微镜（AFM），通过使用缺陷检测的缺陷坐标图，对晶圆表面的较小区域进行成像，以解析DOI。利用AOI或SSIS的坐标图可以最大限度地减少感兴趣的扫描区域，从而缩短缺陷复检的测量时间。 众所周知，SEM和TEM的电子束可能会对晶圆造成损伤，所以更佳的技术选择应不能对晶圆产生影响。那么选择采用非接触测量模式的AFM可以无创地扫描表面。不仅有高横向分辨率，AFM还能够以高垂直分辨率对缺陷进行成像。因此，原子力显微镜提供了可靠的缺陷定量所需的三维信息。 原子力显微镜 通过在悬臂末端使用纳米尺寸的针尖对表面进行机械扫描，AFM在传统成像方法中实现了最高的垂直分辨率。除了接触模式外，AFM还可以在动态测量模式下工作，即悬臂在样品表面上方振荡。在这里，振幅或频率的变化提供了有关样品形貌的信息。这种非接触AFM模式确保了以高横向和垂直分辨率对晶圆表面进行无创成像。由于自动化原子力显微镜的最新发展，原子力显微镜的应用从学术研究扩展到了如硬盘制造和半导体技术等工业领域。该行业开始关注AFM的多功能性及其在三维无创表征纳米结构的能力。因此，AFM正在发展成为用于缺陷分析的下一代在线测量解决方案。 使用原子力显微镜自动缺陷复检 基于 AFM 的缺陷复检技术的最大挑战之一是将缺陷坐标从 AOI 转移到 AFM。最初，用户在 AOI 和 AFM 之间的附加步骤中在光学显微镜上手动标记缺陷位置，然后在 AFM 中搜索这些位置。然而，这个额外的步骤非常耗时并且显着降低了吞吐量。另一方面，使用 AFM 的自动缺陷复检从 AOI 数据中导入缺陷坐标。缺陷坐标的导入需要准确对准晶圆以及补偿 AOI 和 AFM 之间的载物台误差。具有比 AOI 更高位置精度的光学分析工具（例如Candela）,可以减少快速中间校准步骤中的载物台误差。以下 ADR-AFM 测量包括在给定缺陷坐标处的大范围调查扫描、缺陷的高分辨率成像和缺陷分类。由于自动化，测量过程中用户不必在场，吞吐量增加了一个数量级。为了保持纳米级的针尖半径，使多次后续扫描依旧保持高分辨率，ADR-AFM 采用非接触式动态成像模式。因此，ADR-AFM 可防止探针针尖磨损并确保对缺陷进行精确地定量复检。图1：用AOI和ADR-AFM测定的缺陷尺寸的直接比较，见左侧表格。右侧显示了所有六种缺陷的相应AFM形貌扫描。突出的缺陷称为Bump，凹陷的缺陷称为Pit。 AOI和ADR-AFM的比较 图1比较了 AOI 和 ADR-AFM 对相同纳米级缺陷的缺陷复检结果。AOI 根据散射光的强度估计缺陷的大小，而 ADR-AFM 通过机械扫描直接缺陷表面进行成像：除了横向尺寸外，ADR-AFM 还测量缺陷的高度或深度，从而可以区分凸出的“bump”和凹陷的“pit”缺陷。 缺陷三维形状的可视化确保了可靠的缺陷分类，这是通过 AOI 无法实现的。当比较利用 AOI 和 ADR-AFM 确定缺陷的大小时，发现通过 AOI 估计的值与通过 ADR-AFM 测量的缺陷大小存在很大差异。对于凸出的缺陷，AOI 始终将缺陷大小低估了一半以上。 这种低估对于缺陷 4 尤其明显。在这里，AOI 给出的尺寸为 28 nm ，大约是 ADR-AFM 确定的尺寸为 91 nm 的三分之一。 然而，在测量“pit”缺陷 5 和 6 时,观察到了 AOI 和 ADR-AFM 之间的最大偏差。 AOI将尺寸在微米范围内的缺陷低估了两个数量级以上。 用 AOI 和 ADR-AFM 确定的缺陷大小的比较清楚地表明，仅 AOI不足以进行缺陷的成像和分类。图 2：ADR-AFM 和 ADR-SEM 之间的比较，a) ADR-SEM 之前遗漏的凸出缺陷的 AFM 图像。 ADR-SEM 扫描区域在 AFM 形貌扫描中显示为矩形。 b) 低高度 (0.5 nm) 缺陷的成像，ADR-SEM 无法解析该缺陷。 c) ADR-SEM 测量后晶圆表面上的电子束损伤示例，可见为缺陷周围的矩形区域。 ADR-SEM和ADR-AFM的比较 除了ADR-AFM，还可以使用 ADR-SEM 进行高分辨率缺陷复查。ADR-SEM根据AOI数据中的DOI坐标，通过SEM测量进行自动缺陷复检，在此期间，高能电子束扫描晶圆表面。虽然SEM提供了很高的横向分辨率，但它通常无法提供有关缺陷的定量高度信息。为了比较ADR-SEM和ADR-AFM的性能，首先通过ADR-SEM对晶圆的相同区域进行成像，然后进行ADR-AFM测量（图2）。AFM图像显示，ADR-SEM扫描位置的晶圆表面发生了变化，在图2a中，AFM形貌显示为矩形。由于ADR-AFM中ADR-SEM扫描区域的可见性，图2a说明ADR-SEM遗漏了一个突出的缺陷，该缺陷位于SEM扫描区域正上方。此外，ADR-AFM具有较高的垂直分辨率，其灵敏度足以检测高度低至0.5nm的表面缺陷。由于缺乏垂直分辨率，这些缺陷无法通过ADR-SEM成像（图2b）。此外，图2c通过总结高能电子束对样品表面造成的变化示例，突出了电子束对晶片造成损坏的风险。ADR-SEM扫描区域可以在ADR-AFM图像中识别为缺陷周围的矩形。相比之下，无创成像和高垂直分辨率使ADR-AFM非常适合作为缺陷复检的表征技术。 

“根”本不一样的精彩——扫描电化学显微镜实现纳米级高分辨图像测试 近日，天津大学纳米中心（TICNN）马雷教授课题组的在读博士生刘根利用自主研制的~50 nm探针和最小化应用电压方案，实现了50 nm的电化学图像分辨率，从而解决了SECCM高分辨测试中液滴针尖的稳定性问题。其论文Topography Mapping with Scanning Electrochemical Cell Microscopy作为封面文章发表在Analytical Chemistry期刊上，原文链接：https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.analchem.1c04692。SECCM纳米级高分辨率图像扫描电化学显微镜能够能够同时实现样本被研究表面局部形貌和电化学信息获取，扫描探针与样本通过半月形微液滴接触，对样本形貌无损伤，无需脱水，固化、金属喷涂等复杂的预处理。还可以通过移液管向材料表面进行定量物质传送，因此SECCM在纳米材料沉积、电化学微传感器和电催化等方面有广泛的应用前景。△图为2022年帕克AFM奖学金获得者刘根与Park NX10原子力显微镜合照  经过反复的测试与实验，该课题组利用自主研制的~50 nm直径探针及SECCM测试方案，最终得到了纳米级别的的高分辨率图像。同时也成功得到了~45 nm自组装单层金纳米颗粒的形貌和电化学产氢反应的活性图像。这项研究成果不仅能够在纳米尺度实现了SECCM的常规化测试，还能同时得到样品的形貌和电化学活性信息。该项研究成果为真正意义上的常规化测试迈出了坚实重要的一步，并极大扩展了SECCM在不同领域的应用。 工欲善其事，必先利其器。Park NX 10在该研究起到了重要作用。“SECCM测试中使用的是50 nm左右的小探针，这意味着pA级别的小电流。而且多数时候，这一数值会小于1.0 pA。这对体系的稳定性有着极高的要求。而Park NX 10体系则很好的满足了这一需求。此外，Park AFM体系的z-方向位移台，可以稳定地运行0.1 μm/s的进针速度，提供0.1 nm的高分辨率，这均满足了SECCM测量中对硬件的极高要求，极大地增加了测试的可行性和成功率。”刘根同学介绍道。在此，Park表示将竭心为用户推出易于操作、测量精准、升级创新的AFM，助力科研。并预祝马雷教授课题组能够取得更多优异的科研成果，为国家的纳米科技增光添彩！ 

近期，Park公司收到了一组激动人心的好消息：深圳大学的周学昌教授团队利用Park NX-10 AFM，在材料科学研究方面取得突破性进展。众所周知，软电子学正朝着从医疗监测到医疗植入的应用领域发展。然而，较差的粘附强度和显著的机械失配不可避免地会导致器件界面失效。因此，设计和开发新型性能优异的自粘附导电聚合物材料至关重要。Park NX-10AFM则在此项科研中起到了举足轻重的作用。Park NX10是Park公司推出的一款精准高效、易于操作、利于科研的测试工具。该系统来表征自粘附导电聚合物复合物的物理特性，可以获得材料的表面形貌、粗糙度和高度等信息。“Park NX10 AFM真正的非接触模式允许我们在不需要损坏探针和修饰样品表面的情况下，确定其确切的地形信息。与Park NX-10 AFM相匹配的数据分析软件XEI可用于收集和分析自粘附导电聚合物复合物在纳米尺度内的物理和结构表征数据，评估了导电薄膜的平均高度、直径和表面粗糙度等参数，进一步帮助我们评估、分析了超分子溶剂的浓度对聚合物材料的电学性能的影响。因此，AFM可以帮助我们更好地理解和优化自粘附导电聚合物材料的性能。”在我们的相关采访中，Park AFM奖学金获得者周教授如是说道。据悉，周学昌教授团队通过刚性和非粘性PEDOT:PSS复合材料中掺杂生物相容性超分子溶剂（SMS）β-环糊精和柠檬酸，开发了一种用于柔性电子学的自粘导电聚合物（SACP）复合材料。该材料具有低模量（56.1-401.9 kPa）、高拉伸性（700%）、高界面粘合性（搭接剪切强度>1.2 MPa）和高导电性（1-37 S/cm）。团队展示了基于溶液工艺的自粘附导电聚合物电极的制造。该制造可用于各种软设备，包括交流电致发光设备、肌电图监测，以及一个可视化肌电图信号集成系统。这种自粘性的导电聚合物因其良好的特性，可以进一步开发成可穿戴和舒适的生物电子设备，使人体的生理电信号在日常活动中可读和显示。这项科研进展无疑给医学界打了一剂强心针，为以后的医疗应用带来了新的可能和福音。在这里，Park祝愿每一位用户都能取得喜人的科研成果。我们将竭心提供更优质的AFM产品,并完善Park AFM奖学金项目，为科学研究助力添彩!

（2021年6月25日）Park帕克原子力显微镜公司(以下简称为“Park”)作为一家飞速成长的原子力显微镜公司，一直潜心于研发新科技并取得了丰硕的成果。近日Park隆重推出了一款重量级的全新型显微镜——Park FX40！该显微镜集全自动技术、安全性能、智能学习等人工智能软件一体化。这也是世界首台能够自动化所有前期设置和扫描过程的智能型原子力显微镜（AFM）。毋庸置疑，Park FX40将为研究界翻开崭新的一页！新型全自动原子力显微镜Park FX 40助力您的科学研究“与Park推出的前几代AFM系列不同，Park FX40自行负责了扫描前和扫描期间的所有设置，包括自动换针、探针识别、激光校准、样品定位以及近针和成像优化等操作。”Park全球产品研发部门副总裁Ryan Yoo评论道，“Park FX40兼有最新的人工智能技术和Park领先于半导体行业且价值百万美金的自动化技术，所以可以轻松自主执行上述任务。”新的 Park FX40 原子力显微镜不仅是几十个新功能的组合和原件的再升级，它还在原有的设计基础上，进行了全面而彻底的改革，使得AFM 具备高级的自动化能力。福音来了！即便是未经专业培训的研究型科学家们也能通过该显微镜轻松快捷地完成扫图过程，而专业的研究人员更可以将选择和正确装载探针的时间节省下来，以专注于他们更擅长的领域。“作为研发的新品，Park FX40的强大功能来源于其他AFM迄今为止从未使用过的全新技术。”Yoo补充道。除此之外，Park FX40还彻底升级了AFM的许多关键方面，其中包括采用尖端的机电技术极大降噪，减少束斑大小，调整光学视野，以及多功能嵌入样品台等。“我们很高兴能成为北美第一个体验Park FX40原子力显微镜的研究所。”哥伦比亚大学机械工程系的James Home教授发言道，“这款FX40增加了许多新功能并且升级了很多特性。作为Park的长期用户，我们对此感到非常兴奋和激动。这款FX40在人工智能和自动化技术上都实现了崭新的突破。我相信它可以极大地提高我们实验室的研究水平，并且推动整个纳米计量领域的创新。”Park FX 尖端的智能系统可以让您在初始操作时同时放置多个样品（相同或不同类型），它将根据您的需求进行自动成像。除此之外，该显微镜还能轻松及时地获取可发布的数据，并缩短研究周期来获得科学和工程上的最终成功。这些都有助您实现更快更准的研究。 Park FX40 独特的环境传感、自我诊断系统和避免头部碰撞的智能系统确保自身能够以最佳性能持续运行。在与全球原子力显微镜应用科学家们的密切合作下，Park产品市场部过去一整年都在不懈努力，潜心研发Park FX。"我们的科学家认识到AFM可以帮助研究人员获得前所未有的科学数据，并对纳米科学创新产生不可估量的影响。” Park公司的创立者，全球CEO朴尚一博士（Dr. Sang-il Park）评论道，“一直以来，我们都秉承着一颗赤诚之心来研发超级智能自动化的 Park FX 。因为我们的终极目标是为研究人员的工作保驾护航，帮助他们发现并打开科学更深处奥秘的大门！”在半导体市场，Park一直以其领先的自动化AFM 系统而闻名。它率先将AFM 技术作为纳米级计量的主要工具，使其成为行业的主流。而现在，Park最新推出的Park FX也将引领AFM创新领域开启新的自然篇章。关于帕克原子力显微镜帕克原子力显微镜是全球第一个推出商业原子力显微镜产品的上市公司。帕克公司成立30多年来，始终致力于纳米领域的形貌和力学测量以及半导体先进制程工艺的计量的新技术新产品的开发。帕克独有的技术是将XY和Z扫描器分离，实现探针与样品间的真正非接触，避免形貌扫描过程中因探针磨损带来的图像失真，快速成像还可以大大提高测试效率，降低实验测试成本。帕克公司成立至今，致力于新产品和新技术的开发，为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。Park公司的原子力显微镜以高尖端产品质量和快捷优质的售后服务受到广大客户的认可。 为了给客户提供高效便捷的售后服务，帕克公司在中国区建立有售后服务中心并配有备件仓库。 

作者: Sang-Joon Cho, Park Systems Corp.副总裁兼研发中心总监、Ilka M. Hermes, Park Systems Europe 首席科学家利用原子力显微镜进行的自动缺陷复检，通过纳米级的分辨率在三维空间中可视化缺陷。因此，纳米级成像设备是制造过程的一个重要组成部分，它被视为当今半导体行业中最理想的技术。结合原子力显微镜的三维无创成像，使用自动缺陷复查对缺陷进行精确检测和准确分类。 与时俱进的光刻工艺使得生产的半导体器件越来越微小化。器件尺寸一旦减小，晶圆衬底上的纳米级缺陷就限制了器件的性能使用。因此对于这些缺陷的检测和分类需要具有纳米级分辨率的表征技术。由于可见光的衍射极限，传统的自动光学检测（AOI）无法在该范围内达到足够的分辨率，进而损害定量成像和随后的缺陷分类。而原子力显微镜 (AFM) 自动缺陷复检 (ADR)技术则有效地解决了该问题。该技术利用 AFM 常用的纳米分辨率，能够在三维空间中可视化缺陷，大大减少了缺陷分类的不确定性。因此，ADR-AFM 成为了当今半导体行业缺陷复检最理想的技术。缺陷检查和复检由于摩尔定律，半导体器件变得越来越小，需要检查的缺陷（DOI）大小也在减小。DOI可能会降低半导体器件性能的缺陷，因此对工艺良率的管理非常重要。DOI尺寸的减小对缺陷分析来说是一个挑战。合适的表征技术必须能够在两位数或一位数纳米范围内以高横向分辨率和垂直分辨率对缺陷进行无创成像。一般来说，半导体行业的缺陷分析包含两个步骤。第一步：缺陷检测。利用吞吐量虽高但低分辨率的快速成像方法，如扫描表面检测系统（SSIS）或AOI。这些方法可以提供晶圆表面缺陷位置的坐标图。然而，由于分辨率较低，AOI和SSIS在表征纳米尺寸的DOI时提供的信息不足，接下来需要依赖高分辨率技术进行缺陷复检。第二步：缺陷复检。利用高分辨率显微镜方法，如透射电子显微镜(TEM)或扫描电子显微镜(SEM)或原子力显微镜（AFM）。通过使用缺陷检测的缺陷坐标图，对晶圆表面的较小区域进行成像，以解析DOI。利用AOI或SSIS的坐标图可以最大限度地减少检查的扫描区域，从而缩短缺陷复检的测量时间。众所周知，SEM和TEM的电子束可能会对晶圆造成损伤，而非接触测量模式的AFM则有效地避免了该影响。它不仅可以无创地扫描表面，还有高横向和垂直分辨率对缺陷进行成像。因此，原子力显微镜能提供可靠的缺陷定量所需的三维信息。原子力显微镜通过在悬臂末端使用纳米尺寸的针尖对表面进行机械扫描，AFM在传统成像方法中可达到最高的垂直分辨率。除接触模式外，AFM还可以启用动态测量模式，即悬臂在样品表面上方振荡。由此，振幅或频率的变化提供了有关样品形貌的信息。这种非接触AFM模式确保了以高横向和垂直分辨率对晶圆表面进行无创成像。随着自动化原子力显微镜的更新发展，原子力显微镜的应用越来越广泛，从学术研究扩展到了如硬盘制造和半导体技术等工业领域。该行业开始关注AFM的多功能性及其在三维无创表征纳米结构的能力。因此，AFM正发展成为用于缺陷分析的新一代在线测量解决方案。使用原子力显微镜自动缺陷复检AFM 缺陷复检技术的最大挑战之一是将缺陷坐标从 AOI 转移到 AFM。基于此，用户最初会在 AOI 和 AFM 之间的附加步骤中，手动在光学显微镜上手动标记缺陷位置，然后在 AFM 中搜索这些位置。然而，这个额外的步骤不仅非常耗时还大大降低了吞吐量。另外，使用 AFM 的自动缺陷复检需要从 AOI 数据中导入缺陷坐标。而缺陷坐标的导入需要准确对准晶圆及精减AOI 和 AFM 之间的载物台误差。位置精度比AOI 更高的光学分析工具（例如Candela）,可以有效减少中间校准步骤中的载物台误差。以下 ADR-AFM 测量包括在给定缺陷坐标处的大范围调查扫描、缺陷的高分辨率成像和缺陷分类。自动化的测量过程无需用户在场，吞吐量还增加了一个数量级。为了保持纳米级的针尖半径和连续扫描依旧保持高分辨率，ADR-AFM 采用非接触式动态成像模式。因此，ADR-AFM 可有效防止探针针尖磨损并确保对缺陷进行精确地定量复检。△图1：用AOI和ADR-AFM测定的缺陷尺寸的直接比较，见左侧表格。右侧显示了所有六种缺陷的相应AFM形貌扫描。突出的缺陷称为Bump，凹陷的缺陷称为Pit。AOI和ADR-AFM的比较图1比较了 AOI 和 ADR-AFM 在相同纳米级缺陷下所产生的不同缺陷复检结果。AOI 根据散射光的强度估计缺陷的大小，而 ADR-AFM 则通过机械直接扫描缺陷表面进行成像。除了横宽，ADR-AFM 还测量缺陷的高度或深度，从而可以区分凸出的“bump”和凹陷的“pit”缺陷。可视化的缺陷三维形状确保了缺陷分类的可靠性和精确性，而这些是AOI无法实现的。当对比分别利用 AOI 和 ADR-AFM 确定缺陷的大小时，我们发现通过 AOI 估计的值与通过 ADR-AFM 测量的缺陷大小存在很大差异。对于凸出的缺陷，AOI 始终将缺陷大小低估了一半以上。这种低估对于缺陷 4 尤其明显。在这里，AOI 给出的尺寸为 28 nm ，大约是 ADR-AFM 确定的 91 nm 尺寸的三分之一。在测量“pit”缺陷 5 和 6 时,我们观察到了 AOI 和 ADR-AFM 之间的最大偏差。AOI将尺寸在微米范围内的缺陷低估了两个数量级以上。上述比较清楚地表明，仅用AOI不足以进行缺陷的成像和分类。△图2：ADR-AFM 和 ADR-SEM 之间的比较，a) ADR-SEM 之前遗漏的凸出缺陷的 AFM 图像。ADR-SEM 扫描区域在 AFM 形貌扫描中显示为矩形。b) 低高度 (0.5 nm) 缺陷的成像，ADR-SEM 无法解析该缺陷。c) ADR-SEM 测量后晶圆表面上的电子束损伤示例，可见为缺陷周围的矩形区域。ADR-SEM和ADR-AFM的比较除了ADR-AFM， ADR-SEM 也可以进行高分辨率的缺陷复查。ADR-SEM根据AOI数据中的DOI坐标，通过SEM测量进行自动缺陷复检。在此期间，高能电子束扫描晶圆表面。虽然SEM提供了很高的横向分辨率，但它通常无法提供有关缺陷的定量高度信息。为了比较ADR-SEM和ADR-AFM的性能，首先需要通过ADR-SEM对晶圆的相同区域进行成像，然后通过ADR-AFM进行测量（图2）。AFM图像显示，ADR-SEM扫描的晶圆表面发生了变化，在图2a中，AFM形貌显示为矩形。由于ADR-AFM中ADR-SEM扫描区域的可视性，图2a表明ADR-SEM遗漏了一个突出的缺陷，该缺陷位于SEM扫描区域正上方。此外，ADR-AFM具有较高的垂直分辨率，其灵敏度足以检测高度低至0.5nm的表面缺陷。由于缺乏垂直分辨率，这些缺陷无法通过ADR-SEM成像（图2b）。此外，图2c通过总结高能电子束对样品表面造成的变化示例，突出了电子束对晶片造成损坏的风险。ADR-SEM扫描区域可以在ADR-AFM图像中识别为缺陷周围的矩形。相比之下，无创成像和高垂直分辨率使ADR-AFM非常适合作为缺陷复检的表征技术。结论随着现代技术不断创新，半导体器件尺寸不断减小，原子力显微镜作为一种高分辨率、无创的缺陷分析方法在半导体工业中的作用越来越明显。AFM自动化的测量简化并加快了之前AFM在缺陷表征方面低效的工作流程。AFM自动化方面的进展是引入ADR-AFM的基础。在ADR-AFM中，缺陷坐标可以从之前的AOI测量中导入，随后基于AFM的表征不需要用户在场。因此，ADR-AFM可作为缺陷复检的在线方法。特别是对于一位或两位级纳米范围内的缺陷尺寸，ADR-AFM补充了传统的AOI性能，AFM的高垂直分辨率有助于进行可靠的三维缺陷分类。非接触式测量模式确保了无创伤的表面表征，并有效防止AFM针尖磨损，从而确保在许多连续测量中能够依旧保持精准的高分辨率。

近期，Park公司收到了一组激动人心的好消息：深圳大学周学昌教授团队的谭鹏同学利用Park NX10 AFM，在材料科学研究方面取得突破性进展。 本次重要研究进展于今年被收录到Nature 出版集团旗下的综合性学术期刊《Nature Communications》, 研究论文标题为“Solution-processable, soft, self-adhesive, and conductive polymer composites for soft electronics”.。众所周知，软电子学正朝着从医疗监测到医疗植入的应用领域发展。然而，较差的粘附强度和显著的机械失配不可避免地会导致器件界面失效。因此，设计和开发新型性能优异的自粘附导电聚合物材料至关重要。Park NX10 AFM则在此项科研中起到了举足轻重的作用。Park NX10 AFM是Park公司推出的一款精准高效、易于操作、利于科研的测试工具。该系统来表征自粘附导电聚合物复合物的物理特性，可以获得材料的表面形貌、粗糙度和高度等信息。“Park NX10AFM真正的非接触模式允许我们在不需要损坏探针和修饰样品表面的情况下，确定其确切的地形信息。与Park NX10 AFM相匹配的数据分析软件XEI可用于收集和分析自粘附导电聚合物复合物在纳米尺度内的物理和结构表征数据，评估了导电薄膜的平均高度、直径和表面粗糙度等参数，进一步帮助我们评估、分析了超分子溶剂的浓度对聚合物材料的电学性能的影响。因此，AFM可以帮助我们更好地理解和优化自粘附导电聚合物材料的性能。”在我们的相关采访中，ParkAFM奖学金获得者谭鹏同学如是说道。据悉，谭鹏同学所在的周学昌教授团队通过刚性和非粘性PEDOT:PSS复合材料中掺杂生物相容性超分子溶剂（SMS）β-环糊精和柠檬酸，开发了一种用于柔性电子学的自粘导电聚合物（SACP）复合材料。该材料具有低模量（56.1-401.9 kPa）、高拉伸性（700%）、高界面粘合性（搭接剪切强度>1.2 MPa）和高导电性（1-37 S/cm）。团队展示了基于溶液工艺的自粘附导电聚合物电极的制造。该制造可用于各种软设备，包括交流电致发光设备、肌电图监测，以及一个可视化肌电图信号集成系统。这种自粘性的导电聚合物因其良好的特性，可以进一步开发成可穿戴和舒适的生物电子设备，使人体的生理电信号在日常活动中可读和显示。这项科研进展无疑给医学界打了一剂强心针，为以后的医疗应用带来了新的可能和福音。

“根”本不一样的精彩——扫描电化学显微镜实现纳米级高分辨图像测试近日，天津大学纳米中心（TICNN）马雷教授课题组的在读博士生刘根利用自主研制的~50 nm探针和最小化应用电压方案，实现了扫描电化学纳米级别的成像，有效的解决了SECCM高分辨成像中液滴针尖的稳定性问题。其论文Topography Mapping with Scanning Electrochemical Cell Microscopy作为封面文章发表在Analytical Chemistry期刊上。△SECCM 纳米级高分辨图像扫描电化学显微镜能够能够同时实现样本被研究表面局部形貌和电化学信息获取，扫描探针与样本通过半月形微液滴接触，对样本形貌无损伤，无需脱水，固化、金属喷涂等复杂的预处理。还可以通过移液管向材料表面进行定量物质传送，因此SECCM在纳米材料沉积、电化学微传感器和电催化等方面有广泛的应用前景。△图为2022年帕克AFM奖学金获得者刘根与Park NX10原子力显微镜合照经过反复的测试与实验，该课题组利用自主研制的~50 nm直径探针及SECCM测试方案，最终得到了纳米级别的的高分辨率图像。同时也成功得到了~45 nm自组装单层金纳米颗粒的形貌和电化学产氢反应的活性图像。这项研究成果不仅能够在纳米尺度实现了SECCM的常规化测试，还能同时得到样品的形貌和电化学活性信息。该项研究成果为真正意义上的常规化测试迈出了坚实重要的一步，并极大扩展了SECCM在不同领域的应用。工欲善其事，必先利其器。Park NX 10在该研究起到了重要作用。“SECCM测试中使用的是50 nm左右的小探针，这意味着pA级别的小电流。而且多数时候，这一数值会小于1.0 pA。这对体系的稳定性有着极高的要求。而Park NX 10体系则很好的满足了这一需求。此外，Park AFM体系的z-方向位移台，可以稳定地运行0.1 μm/s的进针速度，提供0.1 nm的高分辨率，这均满足了SECCM测量中对硬件的极高要求，极大地增加了测试的可行性和成功率。”刘根同学介绍道。△2022年帕克AFM奖学金证书在此，Park表示将竭心为用户推出易于操作、测量精准、升级创新的AFM，助力科研。并预祝马雷教授及其课题组在未来可期的日子里取得更多优异的科研成果，为国家的纳米科技增光添彩！