仪器信息网讯 2019年7月10日,由中国物理学会半导体物理专业委员会主办的第二十二届全国半导体物理学术会议(SPC2019)在杭州第一世界大酒店盛大开幕。朱邦芬院士、黄如院士、杜瑞瑞教授、段镶锋教授、熊启华教授、彭笑刚教授、陆卫教授、陆朝阳教授等业界知名学者莅临大会并作大会特邀报告,大会同时吸引半导体物理学领域逾千名专家学者同聚杭州,共议半导体物理学国际重大前沿领域的发展动向。
会议签名墙
全国半导体物理学术会议最早由已故世界著名物理学家、国家最高科学技术奖获奖者黄昆院士于1978年倡导召开,每两年举行一次(奇数年召开),与两年一次的国际半导体物理会议(偶数年召开)交错进行。会议宗旨是促进国内半导体物理研究领域的学术交流,把握国际重大前沿领域的发展动向,提升国内半导体物理及相关学科的国际影响力。
大会现场
本届会议由浙江大学物理学系和浙江大学硅材料国家重点实验室承办。会议将由9个特邀大会报告以及九大主题分会场的分会报告组成,同时,本届会议期间,还将公布2017-2018年度黄昆物理学奖(两年一度)的获奖人,获奖学者将就获奖工作做专题报告。
大会首日上午,首先进行了大会开幕式和大会报告上半部分的5个大会邀请报告。
浙江大学物理系吴惠桢教授主持大会
浙江大学副校长严建华致辞
大会主席中国科学院院士杨德仁致辞
大会报告人:中国科学院院士 清华大学物理系 朱邦芬
报告题目:一个大写的人和中国固体物理的奠基人——纪念黄昆先生百年诞辰
报告中,朱邦芬谈到自己与黄昆先生在一个办公室研究达15年之久,每天都跟他讨论问题,无拘无束,有幸成为世上受他教诲最多的一个人。黄昆先生离开我们已有 14 年了,离开越久,越感到他人格的伟大,越觉得他做事站在全国的高度而不是从本单位本领域出发精神的可贵,越思念他一生奋战在教学和科研第一线的大师风范及科学精神,这些都是我国当前最欠缺和急需的。随之,朱邦芬与大家共同追忆了黄昆先生如何做人、做事、做学问,并期待他的大师风范为更多的年青一代半导体物理和技术专家学习继承。
大会报告人:中国科学院院士 北京大学 黄如
报告题目:后摩尔时代微电子技术发展——探索与思考
随着微电子技术和信息系统的飞速发展,后摩尔时代算力瓶颈问题日渐突出,系统面临着功耗墙、存储墙等关键难题,报告中黄如分享讨论了后摩尔时代面临的核心技术挑战,接着对不同算力需求下的微电子器件技术发展进行探讨,并展望了适于算存融合范式的新器件技术。
大会报告人:美国加州大学洛杉矶分校段镶峰教授
报告题目:Van der Waals Integration a New Pathway to Artificial Heterostructures and High Performance Devices
不同材料的异构集成是材料科学界的长期追求,为现代电子学和光电子学奠定了物质基础。典型的材料集成策略(例如化学外延生长)通常涉及强化学键,并且通常限于具有严格的结构匹配和处理兼容性的材料。报告中,段镶峰介绍了范德瓦尔斯集成作为一种通用材料集成策略,用于创建具有最小集成引起的损伤和界面状态的各种异质结构,从而使用传统难以实现的“化学集成”方法实现高性能。近来亮点工作包括形成没有费米能级钉扎以达到肖特基-莫特极限的范德华金属/半导体触点,用于高性能大面积电子设备新型薄膜的开发。并且创建了一类新的范德瓦尔斯二维超晶格,每层具有完全不同的层,同时具有原子精度等。最后,段镶峰展望了这种异构结构的潜力,以逐渐接近物理极限,使设备具有前所未有的性能或现有材料无法达到的全新功能,以及相关的挑战。
大会报告人:浙江大学化学系 彭笑刚教授
报告题目:溶液半导体纳米晶:激发态合成控制与应用
溶液半导体纳米晶是在溶液中合成与加工的纳米尺寸无机半导体单晶。如果半导体纳米晶尺寸在半导体激子半径范围内,那么纳米晶将表现出尺寸相关的光学、电学、化学特性,因而得名为溶液量子点(Colloidal Quantum Dots)。由于它们尺寸相关的光学性质、高发光纯度、高化学与光化学稳定性、溶液加工性,溶液半导体纳米晶可能是人类至今为止发现的最优秀发光材料和光电材料。彭笑刚报告中介绍到,溶液半导体纳米晶已经被研究了40余年,但它们潜在的应有价值直到最近才部分得以实现。与体相晶体不同,溶液半导体纳米晶拥有大量的表面。大量表面的存在,是溶液量子点灵活性的基础,但也会带来大量的表面电子态。接着为绕发光和光电材料的核心——激发态,进行了一系列相关讨论,如:怎样把合成化学与激发态性质紧密结合?有可能结合吗?激发态合成化学意味着怎样的基础研究机会?激发态合成化学与应用关系如何?
大会报告人:帕克原子力显微镜(Park Systems)创始人&CEO Sang-il Park博士
报告题目:Advanced Atomic Force Microscopy for Semiconductor Metrology
Sang-il Park博士在报告中讲到,在人类科学进入纳米级研究和开发世界背景下,原子力显微镜(AFM)已被广泛使用,因为它可以在多种类型样品和多种环境条件下提供纳米级的各种物理性质参数。随着近来AFM自动化技术的发展,AFM的应用正在扩展延伸至硬盘制造、半导体工业等工业领域。特别是由于半导体器件尺寸的减小及其对器件性能的直接影响,微、纳米结构的精确测量和分析正成为一个极其重要的问题。此外,用于微观结构测量的设备(CD-SEM、TEM、OCD等)的局限性也在不断增加(如分辨率限制、试样制备和测量造成的试样损伤等)。为克服这些挑战, AFM的无损纳米结构测量和广泛利用的能力正在引起关注,并正在成为下一代在线测量解决方案之一。接着分享了帕克原子力显微镜根据这些需求开发的一系列半导体AFM解决方案,以及相应的关键AFM技术,也介绍了一些半导体计量成功案例。同时透露,测量高分辨率3D AFM计量的新应用也正在探索中,且半导体行业也正在开发一种新协议,以提高产量和器件性能。
各分会场掠影
同天下午,九个主题分会场报告同时上演,来自全国各地的半导体物理学专家们在各个会场纷纷进行了现场报告及互动交流。更多会议后续内容,请关注仪器信息网后续报道。
展商一角
会场合影
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