Park Systems推出具有全300毫米半导体晶片扫描功能的Park NX20 300mm研究型原子力显微镜

Park Systems推出具有全300毫米半导体晶片扫描功能的Park NX20 300mm研究型原子力显微镜

Park NX20 300mm – 市场上第一款能够扫描整个样品区域的原子力显微镜，它使用300毫米的真空吸盘同时保持系统噪音低于 0.5angst。

Park Systems董事长说道：“Park NX20 300毫米可进行整个300毫米晶圆区域低噪声原子力显微镜测量分析，以及全自动化测量” 

全球领先的原子力显微镜制造商Park Systems公司推出的Park NX20 300mm是市场上首款唯一能够使用300毫米真空吸盘扫描300毫米晶圆的整个样品区域，同时保持系统噪声低于0.5angstrom (?) RMS。Park NX20 300mm系统由Park公司新的操作软件SmartScan™运行，具有自动扫描控制功能，并具有“批量模式”功能，用户可以在300mm x 300mm的区域内进行配方自动化，无限次的连续多点测量。300毫米晶圆上的自动化测量显著提高了工业实验室环境中的用户便利性和生产效率，在这种情况下，点对点之间的比较以及样品与样品间的表面形态（高度，表面粗糙度测量）是非常重要的。

 “如今300mm晶圆和衬底的大量样品被广泛用于工艺开发，失效分析和生产，但到目前为止还没有一种原子力显微镜（AFM）测量工具可以精确测量一个负载的全部面积并有很容易的编程，一次点击可进行多个站点测量。”Park Systems董事长Keibock说道，“Park NX20 300mm可进行整个300毫米晶圆区域低噪声原子力显微镜测量分析，以及全自动化测量。”

Park NX20 300mm可以通过300mm x 300mm电动XY工作台对300mm晶圆的整个样品区域进行原子力显微镜检查和扫描，因此系统可以访问300mm晶圆上的任何位置。Park NX20 300mm是目前市场上唯一能够容纳300mm样品的产品，例如Park竞争对手的系统与300毫米样品卡盘相结合，因电动XY平台的范围限制为180毫米 x 220毫米，所以需要用户加载9次才能进入整个300毫米晶圆区域。

Park NX20 300mm标准真空吸盘适用于容纳300毫米至100毫米尺寸的样品，甚至可以使用真空孔支持任意形状的小型样品。目前市场上的产品限于200毫米样品尺寸，并且必须依靠切割样品来维持工业所需的低噪音，这是非常复杂的并且使得共享原子力显微镜更具有挑战性。这台新的Park NX20是拥有不同样品大小尺寸的共享实验室的完美解决方案，因其可支持从大到小的各种样品，并兼容Park其他研究AFM产品的所有模式和选项。

获得纳米测量领域创新认可的Park Systems凭借其专有技术（如SmartScan OS和真正非接触模式）荣获2016年Frost&Sullivan全球年度技术领导力大奖，产品的核心竞争力表现在几个方面：第一，拥有全球领先的创新产品；第二，产品不仅使用方便还有准确的精度。这些创新使得Park Systems能够把原子力显微镜的超强优势带给更广泛的用户群，帮助研究人员和工程师能够进一步从材料到半导体再到生命科学的发现领域寻得更长远的技术更新与进步。

Frost&Sullivan行业分析师Mariano Kimbara表示：“Park NX20 300mm是Park Systems在当今快速发展的半导体行业中具备产品创新能力的一大力证，在这个新的纳米技术发展时代，创新必不可少。”

自1997年以来，Park Systems在其原有的原子力显微镜设计上加大创新，为成像方法带来了具有里程碑性的变化并提升了用户体验，从而获得了巨大成功。Park Systems拥有32项与院子里显微镜（AFM）技术相关的专利，包括使用解耦的XY和Z扫描仪的 True Non-Contact Mode™，HDD应用的PTR测量，使用活细胞扫描电导显微镜（SICM）的NX-Bio技术，3D AFM, 全部智能化原子力显微镜操作软件(SmartScan™)。SmartScan完全自动化AFM成像，简单的使用方法使得任何使用者都可以轻松获得纳米级分辨率和具有专业高清晰度的图像。

Park Systems拥有全方位的AFM系统，为化学，材料，物理，生命科学，半导体和数据存储等多种学科的研究人员和工程师提供解决方案。Park被全球数千家最杰出的学术和研究机构所使用，被公认为纳米技术的创新合作伙伴。

Park Systems 的介绍

Park Systems是全球市场领先的原子力显微镜（AFM)和新型纳米显微镜系统的制造商，为化学，材料，物理，生命科学，半导体和数据存储行业的研究人员以及工程师提供全配套产品。Park的显微镜被全球上千家公司和机构使用，并凭借独有的创新工程技术，提供高纳米分辨率，在最低运营成本前提下保证最佳效率而海内外闻名。我们的总部遍及韩国，美国，日本和新加坡，在欧洲，亚洲，美洲拥有无数经销商，我们为研究领域和工业界提供世界上最精确, 最高效的原子力显微镜。