看了外延系统的用户又看了
MARS iCE120 多片碳化硅外延系统
1、产能大,6 英寸运营成本低
Higher throughput, lower CoO/CoC for 6 inch
2、薄膜和厚膜外延兼容,工艺稳定性高
Thin film and thick film epitaxy compatible, high process stability
3、具备多层外延能力
Multi-layer epitaxy capability
4、独特的气流场和加热场设计,工艺性能优异
Unique flow field and thermal field design provide excellent process performance
5、可靠的压力控制系统,成膜质量均一性好
Reliable pressure control system, good uniformity of film formation quality
6、兼容 8 英寸
Compatible with 8 inch
技术参数 Technical Parameters
1、晶圆尺寸 6、8 英寸
2、适用材料 碳化硅 SiC
3、适用工艺 N&P 碳化硅外延
4、适用领域 科研、化合物半导体
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
北方华创外延系统MARS iCE120 的工作原理介绍
外延系统MARS iCE120 的使用方法?
北方华创MARS iCE120 多少钱一台?
外延系统MARS iCE120 可以检测什么?
外延系统MARS iCE120 使用的注意事项?
北方华创MARS iCE120 的说明书有吗?
北方华创外延系统MARS iCE120 的操作规程有吗?
北方华创外延系统MARS iCE120 报价含票含运吗?
北方华创MARS iCE120 有现货吗?
最多添加5台