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Satur系列 多片式MOCVD系统
1、优异的均匀性、一致性、稳定性控制
Excellent uniformity control (WiW, WtW, RtR)
2、盒对盒全自动传输系统
Cassette to cassette transfer system
3、先进的实时监控系统
Advanced in-situ, real-time monitoring system
4、友好界面与配方编辑功能
User-friendly interface & recipe editor
5、满足 SEMI S2 安全标准
Match SEMI S2 safety standard
技术参数 Technical Parameters
1、晶圆尺寸 4、6、8 英寸
2、沉积材料 氮化镓、砷化镓、磷化铟
3、适用材料 硅、碳化硅、氧化铝、砷化镓、磷化铟
4、适用领域 科研、集成电路、化合物半导体
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
北方华创外延系统Satur系列 的工作原理介绍
外延系统Satur系列 的使用方法?
北方华创Satur系列 多少钱一台?
外延系统Satur系列 可以检测什么？
外延系统Satur系列 使用的注意事项？
北方华创Satur系列 的说明书有吗？
北方华创外延系统Satur系列 的操作规程有吗？
北方华创外延系统Satur系列 报价含票含运吗？
北方华创Satur系列 有现货吗？
