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Hesper I E430R 12英寸单片减压硅外延系统
1、优异的气流场和加热场设计提供优良的工艺性能
Unique gas field and thermal field design provide excellent process performance
2、高效传输设计，可提高产能
High speed transfer robot design can improve the production capacity
3、单、双、四腔兼容设计，可满足不同客户需求
Single, double and four chamber compatible design can meet different customer needs
技术参数 Technical Parameters
1、晶圆尺寸 12 英寸
2、适用材料 硅
3、适用工艺 埋层外延、选择性外延 、多晶外延
4、适用领域 科研、集成电路
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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外延系统Hesper I E430R 的使用方法?
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