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v 应用范围：对重掺杂碳化硅（SiC）表面沉积的过渡金属进行退火，形成良好的欧姆接触
v 加工尺寸：4inch、6inch
v 加工速度：1000mm/s
v 加工精度：±1μm
v 平台参数：行程300mm×300mm
v 重复定位精度：±0.001mm
v 激光器参数:紫外
v 稼动率:98%以上
v 重大故障间隙时间:＞1000H
良率:≥99.5%
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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