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Osiris
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BASIXX ST20+
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欧洲
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Osiris 桌面型匀胶机 旋涂机 热板BASIXX ST20+
产品简介
BASIXX ST20 +是一款桌面式匀胶机系统，性价比高，具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能，样品尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片，广泛用于大学，研究所等科研实验室。
产品特色
1. 桌面版本的紧凑型设计
2. 手动装载/卸载
3. 衬底可达 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)
4. 软件提供用户友好的操作
5. 直驱旋涂电机
6. 全轴电机驱动且完全可编程
7. 带安全中断传感器的透明盖
8. 可更换并易于拆卸的工艺腔和防溅环，方便清洁。
9. 系统材料可抵抗所有类型的抗蚀剂和溶剂以及各种清洁介质。 (PP-聚丙烯)
10. 包含 0.5 升废液瓶
技术数据
1. 衬底尺寸: 可达 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)
2. 电机转速: 10.000 rpm，步长 1 rpm
3. 电机加速: 4.000 rpm/s
4. 步进时间: 1 至 999.9 s，步长为 0.1 s
5. 工作腔材料: PP
6. 系统架构材料: PP
7. 液体线路：
3线 : 2 x 24 V / 1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞
5线: 6 x 24 V / 1 Amp (每条) / 触发点 0.1 秒 - ∞
选项
1. 自动液体输送臂
2. 液体罐
3. 防溅环
4. 废液池
5. DI水冲洗
6. N2吹扫
7. 热板
8. 不同类型的夹具
9. 中心定位模块
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 不限人次免费安装培训
免费仪器保养: 可根据客户使用程度制定仪器保养计划。
保内维修承诺: 非人为损坏，免费保修。
报修承诺: 24小时内进行响应，48小时内出解决方案。
Osiris匀胶机BASIXX ST20+的工作原理介绍
匀胶机BASIXX ST20+的使用方法?
OsirisBASIXX ST20+多少钱一台?
匀胶机BASIXX ST20+可以检测什么？
匀胶机BASIXX ST20+使用的注意事项？
OsirisBASIXX ST20+的说明书有吗？
Osiris匀胶机BASIXX ST20+的操作规程有吗？
Osiris匀胶机BASIXX ST20+报价含票含运吗？
OsirisBASIXX ST20+有现货吗？
