仪器种类: 高真空快速退火炉
产地类别: 国产
样品尺寸: 最大支持 150mmx150mm 样品
温度范围: 1000℃
最高升温速率: 100℃/s
降温速率: 30℃/s
退火温度准确性: 0.5℃
退火温度均匀性: ±1%
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我司具有软件、自动化和机械等整套研发人员,可依据客户需求,完成定制化设备的研发生产。
工艺应用:
快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
离子注入/接触退火;
高温退火;
高温扩散。
金属合金;
热氧化处理;
应用领域:
化合物半导体(砷化镓、氮化物、碳化硅等);
多晶硅;
太阳能电池片;
MEMS;
功率器件;
IC晶圆;
LED晶圆。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 技术人员现场培训
免费仪器保养: 2月1次
保内维修承诺: 软件免费重装,硬件维修
报修承诺: 24小时到达
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