德国尤尼坦 大尺寸快速退火炉- 适合光伏样品 VPO-300
德国尤尼坦 大尺寸快速退火炉- 适合光伏样品 VPO-300

¥30万 - 50万

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尤尼坦

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VPO-300

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欧洲

  • 银牌
  • 第3年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。

VPO-300是一款很有特点的快速退火炉,有非常大的退火空间,适合大尺寸样品的热处理。


仪器特点:

-  快速热处理、快速热退火  RTP / RTA;

-  可在真空、甚至于高真空环境使用;

-  加热区域尺寸:300毫米 X 300毫米;

-  广泛用于太阳能电池片快速退火工艺,如156mm X 156mm电池片,300mm X 300mm电池片等;


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 免费安装培训

免费仪器保养: 质保期内免费仪器保养

保内维修承诺: 质保期内免费非人为损坏免费维修

报修承诺: 24小时内到达现场并维修

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