仪器种类： 普通真空快速退火炉
产地类别： 国产
样品尺寸： 于 2英寸-12英寸
温度范围： 300℃-1000℃；
最高升温速率： ≦150℃/sec(裸片)；
降温速率： 30-80°C/s
退火温度准确性： ±1
退火温度均匀性： ≦±1%(>500 ℃)；
看了退火炉的用户又看了
设备规格：
1.半自动操作模式，自动开关腔门、条码识别；
2. 适应于 2英寸-12英寸 晶圆，支持 4寸9片晶圆或者 单片(300mmx300mm)样品，可定制双腔体模式，单次可处理18片4寸晶片；
3.退火温度范围 300℃-850℃；
4.升温速率 ≦150℃/sec(裸片)；
5.温度均匀性 ≦±0.5%(>500 ℃)；
6.真空腔体（可选配常压腔体或正压腔体）；
7.冷却方式包括水冷和氮气吹扫；
8.MFC控制，3-5路制程气体。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 技术人员现场培训
免费仪器保养: 2月1次
保内维修承诺: 软件免费重装，硬件维修
报修承诺: 24小时到达
