仪器种类： 高真空快速退火炉
产地类别： 国产
样品尺寸： 最大支持 300mmx300mm 样品
温度范围： 1300℃
最高升温速率： 150℃/s
降温速率： 200℃/s
退火温度准确性： 0.5℃
退火温度均匀性： ±1%
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二手设备的维修、翻新和销售：光刻机、刻蚀设备、快速退火炉等。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 技术人员现场培训
免费仪器保养: 2月1次
保内维修承诺: 软件免费重装，硬件维修
报修承诺: 24小时到达
