仪器种类： 普通真空快速退火炉
产地类别： 国产
样品尺寸： 2-4英寸
温度范围： 300℃-1000℃
最高升温速率： ≦100℃/sec(裸片)
降温速率： 30-80°C/s
退火温度准确性： ±1
退火温度均匀性： ≦±1%
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设备规格：
1.手动操作模式；
2. 适应于 2英寸-4英寸 晶圆或者支持 (100mmx100mm)样品；
3.退火温度范围 300℃-1000℃；
4.升温速率 ≦100℃/sec(裸片)；
5.温度均匀性 ≦±1%(>500 ℃)；
6.常压腔体（可选配真空腔体）；
7.冷却方式包括水冷和氮气吹扫；
8.MFC控制，1-4路制程气体。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 技术人员现场培训
免费仪器保养: 2月1次
保内维修承诺: 软件免费重装，硬件维修
报修承诺: 24小时到达
