暴光定时器

IC光刻胶开发一般来说会涉及研发设备和测试设备，其中研发设备主要就是以混配釜和过滤设备为主，此类设备需考虑纯度控制，设备内一般使用PFA内衬或PTFE涂层，避免金属离子析出。测试设备（必备的）ICP-MS、膜厚仪、旋涂机、显影器、LPC、质谱、GPC，另外关于光刻机也是核心部分。光刻胶是半导体产业重要的耗材，而有这样一家企业从事光刻胶研发多年，去年却因采购光刻机投入了人们的视野，登上了风口浪尖。苏州晶瑞化学股份有限公司（已更名为“晶瑞电子材料股份有限公司”）是一家微电子化学品及其它精细化工品生产商，公司的产品主要包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料以及锂电池粘结剂等，可应用于半导体、光伏太阳能电池、LED等相关行业，具体应用到下游电子信息产品的清洗、光刻、制备等工艺环节。其采购光刻机主要用于晶瑞化学集成电路用高端光刻胶研发项目。近日，仪器信息网从公开文件了解到该项目的相关信息，涉及工艺流程和仪器配置等信息，详情如下：项目主体工程研发方案建设项目工程一览表本项目主要生产设备一览表营运期工艺流程及产污分析：工艺流程及简述：本项目通过小试实验为晶瑞化学股份有限公司生产提供技术支撑，不产生具体产品，实验室在进行实验后得到的合成树脂与光产酸剂用于合成光刻胶，光刻胶性能测试结束后剩余物料作为危险废物委托有资质单位处理，不作为产品销售或外卖。1. 研发工艺流程图因研发中心项目每次开发过程中所使用的化学原料、可能发生的化学反应等均具有不确定性，因此研发中心项目的流程以实验研发中心为单元进行表示如下：本次研发中心项目工作流程图工艺流程描述研发中心项目具体操作流程如下：a、实验前风险评估：在此阶段科学家将对需进行的研究进行预研发风险分析，并通过相关的安全分析得出需研究项目的试验安全等级，确定试验过程中需采取的安全和环保措施。b、风险评估通过后将进入研发小试实验阶段：因研发中心项目每次实验需用到的物料和用量均无法事先设定，需根据具体的研发方向和实验要求来确定，因此研发中心项目的物料使用种类和使用量具有不确定性。但公司从环保角度考虑，研发中心项目各实验室均按标准化实验室进行建设，本次研究实验除光刻胶制备与测试在密闭的光刻机中进行，其他实验步骤均在实验室通风橱内进行，通风橱收集率为 90%，光刻机为密闭系统，产生的废气由单独的管道收集，收集率为 98%。收集后的废气经一套“蜂窝活性炭+袋式活性炭”两级活性炭处理装置处理后由 30m 高排气筒 P4 排放。研发中心项目实验过程得到的合成树脂与光产酸剂用于合成光刻胶，光刻胶性能测试结束后剩余物料均收集后作为危废委外处理，有妥善的处理处置方式。具体研发实验工艺：1、树脂合成工艺：树脂合成工艺流程树脂合成工艺流程简述如下：除氧：常温、常压下，向搭载机械搅拌、冷凝管和温度计的四口烧瓶中持续通入氮气，除去反应瓶中的氧气，氮气作为保护气体，可以保护后续反应不受氧气干扰。聚合反应：除氧后向四口烧瓶中依次加入反应所需单体，引发剂及适量溶剂后，将四口烧瓶置于油浴锅（加热辅材为硅油）中使用机械搅拌器搅拌至四口烧瓶中的物料搅拌成透明均一的溶液，于设定温度条件下油浴锅加热反应，红外监测反应进程。油浴加热为间接加热，使用硅油作为加热辅材，硅油的沸点高于100摄氏度，油浴加热所需的加热温度为 20~60 摄氏度，该温度下硅油几乎不产生油雾，反应在通风橱中进行。引发剂和溶剂的添加种类与添加量，单体的配比等根据设定的工艺路线及实验的测试结果进行优化。该过程使用的单体有：（A）丙烯酸酯类单体（甲基丙烯酸 5-氧代四氢呋喃-3-基酯，2-甲基 2-金刚烷基甲基丙烯酸酯，丙烯酸叔丁酯）；（B）马来酸酐；（C）降冰片烯；加入的溶剂为二氧六环；引发剂为：对甲基苯磺酸、偶氮二异庚腈、偶氮二异丁酸二甲酯、偶氮二异丁腈、过氧化苯甲酰，以及氨水。反应过程中无废液产生，反应装置使用自来水间接冷却。该反应过程产生G1-1 有机废气、G1-2 氨气。聚合反应方程式一次清洗、过滤、干燥：使用滴液漏斗将树脂溶液用丙酮稀释，通过滴液漏斗缓慢滴加到 5 倍用量纯水中，将上述混合物倒入布氏漏斗，并用真空泵抽滤，得到白色粉末产物，将得到的产物放置于 65 ℃ 烘箱烘 20h（仪器可定时，烘干结束后自动停止）。树脂沉淀过滤过程中，产生 S1-2 废滤材及 S1-2 清洗废液，均作为危废委托有资质单位进行处理。干燥过程产生 G1-2 有机废气。金属离子去除：将离子交换树脂填充到离子交换柱中。将醋酸丁酯和聚合物粉末于烧杯中溶解，并调节体系固含至 15-20 wt%。将树脂溶液直接倒入离子交换柱中，流经离子交换树脂，循环多次，ICP-MS 金属离子浓度低于 10 ppb。该过程产生固体 G1-3 有机废气、S1-3 离子交换树脂。二次清洗、过滤、干燥：将树脂溶液缓慢滴加到去 5 倍用量的纯水中（1L废水量），抽滤得到白色粉末状聚合物，将得到的产物放置于 65 ℃ 烘箱烘 20h（仪器可定时，烘干结束后自动停止），产生 S1-4 废液、S1-5 废滤材、G1-4 有机废气。水分测试：加入卡尔菲休试剂，使用水分仪检测水分含量至 2000ppm，该过程产生 G1-5 有机废气，S1-6 测试废液。理化性质测试：树脂经过真空干燥后，在测试实验室中使用四氢呋喃、DMF、四氢呋喃、重水、氘代丙酮、氘代氯仿、DMSO-d6、甘油、丙二醇甲醚醋酸酯、乙腈、丙酮、溴化钾、硝酸钾等溶剂对树脂的理化性质进行测试。通过核磁测试聚合物结构，通过凝胶渗透色谱测定聚合物分子量大小，该过程产生 G1-6 有机废气以及 S1-7 测试废液。2、光产酸剂制备工艺：光产酸剂制备工艺流程生产工艺流程简述如下：备料：光产酸剂制备研发实验常用的原料包括：对羟基苯磺酸钠、十二烷基苯磺酸、樟脑坤磺酸钠、和三苯基氯化硫鎓盐，二苯基氯化碘鎓盐、醋酸酐、间苯二酚等；溶剂包括：纯水、甲醇等；该工序产生 G2-1 有机废气。合成：将光产酸合成所需原料钠盐加入到搭载机械搅拌的四口烧瓶中，用水溶解。光产酸剂合成反应方程式萃取：通过滴液漏斗向烧瓶中缓慢滴加鎓盐溶液，于室温下反应 3-5 个小时。静止分层，除去上层水溶液，并继续用水洗涤 3 次，用甲醇萃取产物，该工序产生 S7 废液。该工序产生 S2-1 废液以及 G2-2 有机废气。干燥、过滤：用无水硫酸钠干燥甲醇萃取液 24h，然后过滤。该工序产生 S2-2硫酸钠以及 S2-3 废滤材。旋蒸：使用旋转蒸发仪将滤液旋蒸后得到产物光产酸剂。该过程产生 G2-3有机废气。3、光刻胶制备与测试：光刻胶制备与测试工艺流程该工艺全部在光刻机中进行，工艺流程简述如下：样品制备与测试：样品制备所用树脂为实验室自主研发合成，光致产酸剂为自主研发合成；所用溶剂包括：丙二醇甲醚醋酸酯、乳酸乙酯、二甲苯、γ -丁内酯、丁酮、丙二醇单甲醚、醋酸丁酯、石油醚、二甘醇单丁醚、甲基异丁基酮、DMAC、NMP等。调制时根据设定的工艺路线或前次的测试结果选择加入不同的树脂和溶剂。将所用的树脂与光致产酸剂、碱性添加物三辛胺等和溶剂按照一定的比例混合、溶解。样品调制用树脂主要包括：酚醛树脂、重氮萘醌磺酸酯、叠氮类化合物、甲醚化三聚氰胺等。光产酸剂有：三苯基硫鎓盐、二苯基碘鎓盐、三嗪类化合物等。样品制备过程中无化学反应发生，不产生污染物。过滤：使用漏斗等过滤仪器将样品过滤，该工序产生 S3-1 废滤材。光刻胶成膜、烘干：使用匀胶显影涂布机将调制好的光刻胶涂布在硅片上，涂布好的硅片用100℃热板烘干。涂布、烘干过程中光刻胶中的有机溶剂挥发产生 G3-1 有机废气；剩余的光刻胶报废处理，产生 S3-2 废光刻胶。冷却：将涂布、烘干后的硅片冷却至室温，该工序产生 G3-2 有机废气。光刻胶曝光显影：将冷却至室温的硅片放入曝光机内曝光。曝光结束后将硅片放入显影液中显影，显影后使用纯水清洗硅片即可得到微米或纳米级别图案。实验室常用的显影液包括：四甲基氢氧化铵、氢氧化钾、氢氧化钠溶液等，该工序产生 S3-3 碱性废液。成像测试：主要通过显微镜、椭偏仪等仪器观察光刻胶图形的成像效果。测试后产生 S3-4 废硅片。4、仪器清洁：仪器清洗工艺流程工艺流程简述如下：残余物溶解：加丙酮溶解仪器内残留的光刻胶或树脂，产生溶解废液 S4-1，丙酮挥发产生有机废气 G4-1；清洗溶剂：加少量纯水，清洗仪器内残留的废液，产生含有机溶剂的清洗废液 S4-2，丙酮挥发产生有机废气 G4-2；擦拭：使用无尘布蘸取少量丙酮擦拭干净仪器内壁，产生有机废气 G4-3。润洗：待仪器干燥后，使用纯水对仪器进行润洗，产生的 W1 润洗水排入污水管网；干燥：仪器清洗干净后放在置物架自然晾干或放入烘箱烘干。上述流程除光刻胶制备与测试在密闭的光刻机中进行，其他实验步骤均在实验室通风橱内进行。5、设备清洗设备清洗工艺流程使用纯水对设备进行清洗，使用的工段有：（1）显影工艺中对硅片进行喷淋清洗；（2）湿法曝光工段中作为镜头与硅片间的浸没液体；该工序产生清洗废液，作为危废委托有资质单位进行处理。纯水使用情况详情见下表：设备清洗用水汇总

2023年315晚会上，央视曝光了一起震惊公众的食品安全事件——“香精大米”现象。安徽淮南寿县永良米业、安徽合肥香王粮油食品科技有限公司、安徽淮南市楚丰工贸有限公司、上海朗枫香料有限公司等企业因涉嫌生产和销售假冒伪劣的“泰国香米”，在2023年315晚会上被点名批评。事件发生后，市场监管、公安等联合执法组迅速介入，对涉事企业进行了严格的查处。安徽香王粮油食品科技有限公司因其在食品中添加其他化学物质和其他可能危害人体健康的物质，于2023年6月被列入严重失信企业名单。随后，该公司遭遇多家食品经销商的起诉，并在同年8月被吊销食品生产许可证和营业执照，同时被处以罚款。寿县永良粮油食品有限公司和淮南市楚丰工贸有限公司作为“香精大米”的加工厂商，分别被处以200万元和555.88万元的罚款。楚丰工贸公司因此次事件受到的冲击尤为严重，五年内不得从事食品经营相关工作，其负责人也因大量欠债而官司缠身，多次被列为失信人员。企查查显示负责人被限制高消费，企业存在11条自身风险21条关联风险。相比之下，作为香精供应商的上海朗枫香料有限公司和上海枫米实业有限公司，在去年的风波中并未受到明显的处罚。这一现象引发了公众对于食品安全监管力度和公平性的广泛讨论。2022年央视“315晚会”上，一则土坑酸菜制作过程被曝光，工人穿着拖鞋甚至光脚踩踏腌制土坑酸菜，以及制作环节中各种不卫生的操作方式，让人作呕。主要涉事企业湖南插旗菜业等酸菜企业是康师傅老坛酸菜等经典方便面的供应商。事发后，湖南当地监管部门对涉事酸菜企业进行了查处，康师傅等方便面品牌也纷纷致歉。酸菜类方便面被大面积下架。尽管事发2月后，这些酸菜方便面带着检测证明重新上架各大商超，但是土坑酸菜的制作过程给广大消费者留下了很深的心理阴影，酸爽的酸菜方便面再也难以回到昔日的繁华。这些事件不仅对涉事企业造成了直接的经济损失和声誉损害，也引起了消费者对于食品安全的高度关注。食品安全问题关乎民众的健康福祉，任何忽视质量、违反法规的行为都将受到法律的严惩。这起事件也警示着其他食品生产企业，必须严格遵守食品安全法律法规，确保产品质量，维护消费者权益。在食品安全监管方面，此事件也促使相关部门加强了对食品生产和销售环节的监督检查，提升了食品安全法规的执行力度。通过加大惩处力度，提高违法成本，可以有效遏制食品安全违法行为，保护消费者的饮食健康。总的说来，315晚会曝光的食品安全事件，不仅是对涉事企业的一次沉重打击，也是对整个食品行业的一次深刻警醒。它提醒所有食品生产和经营企业，必须将食品安全放在首位，严格遵守法律法规，切实承担起保障食品安全的责任。同时，也呼吁监管部门持续加强食品安全监管，确保消费者餐桌上的每一份食物都是安全、健康的。

p　　刚刚过去的“315”，央视晚会曝光了多家公司涉嫌违规在饲料中添加兽药。/pp　　其中，成武县旺泰饲料有限公司的产品速肥肽、郑州百瑞动物药业有限公司的产品厚祺峥重(浓缩型)、河南漯河市宇信生物科技有限公司的产品日长三斤、江苏远方中汇生物科技有限公司的产品造肉1号以及河南新纪元动物药业有限公司的产品都被爆添加了违禁成分。/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201703/noimg/fe3a6c7e-9715-4f1b-b8a9-e16bd2fc78a6.jpg" title="177694d7-42c6-456b-ad2b-657e4f46d5f2.jpg"//pp　　据新闻爆料，喹乙醇和二氢吡啶以及人用兽药成饲料添加中的主要违禁成分。/pp　　此前，国家饲料药剂添加规范明令记载喹乙醇适用于35公斤以下猪，禁用于禽，兽药管理条例更是明令禁止将人用药用于动物，而且农业部2009年曾发文整治喹乙醇滥用。这些违禁成分可能造成人体耐药性，对人体造成潜在危害。/pp　strong　何为喹乙醇?/strong/pp　　又称喹酰胺醇，商品名为倍育诺、快育灵。由于喹乙醇有中度至明显的蓄积毒性，对大多数动物有明显的致畸作用，对人也有潜在的三致性，即致畸形，致突变，致癌。喹乙醇本身不稳定，在短时间内代谢，其在动物体内有多种代谢产物，以喹噁啉 -2-羧酸(QCA)、3-甲基喹噁啉-2-羧酸(MQCA)最为常见。/pp　　《中国兽药典》(2005版)明确规定，喹乙醇被禁止用于家禽及水产养殖。另外，《兽药典》及《饲料药物添加剂使用规范》也都明确规定了喹乙醇的适用范围。/pp　　2009年国标8381.7文件、2006年农业部781号公告和2014年农业部2086号公告就先后推出过测定饲料中喹乙醇，动物源食品中喹噁啉-2-羧酸、3-甲基喹噁啉-2-羧酸的液相和液相色谱-质谱检测方法。/pp　　在全民关注“315”之际，屡遭曝光的违规兽药也引起了仪器厂商的关注。近期，各大厂商纷纷推出用于违规兽药添加剂检测的解决方案，仪器信息网编辑摘录部分如下：/pp　strongspan style="color: rgb(0, 112, 192) "　a style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline " title="沃特世：应对喹乙醇及其代谢物测定提供完整解决方案" target="_blank" href="http://www.instrument.com.cn/application/Solution-822363.html"span style="color: rgb(0, 112, 192) "沃特世：应对喹乙醇及其代谢物测定提供完整解决方案/span/a/span/strong/pp　　沃特世作为液质仪器行业整体解决方案的领先者，不仅利用Oasis聚合物填料中的HLB(200mg/6CC)及MAX(60mg/3CC)分别将本次曝光的喹乙醇及其代谢物等富集净化，而且也将此类化合物收录在四极杆及高分辨兽药筛查数据库中，更结合国标方法推出了测定喹乙醇及其代谢物的完整解决方案，以助相关检测机构高效检测食品饲料中兽药残留，保障人民食品安全....../pp　　a title="莱伯泰科：饲料样品中喹乙醇检测产品配置单(固相萃取)" target="_blank" href="http://www.instrument.com.cn/application/Solution-822326.html"span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong莱伯泰科：饲料样品中喹乙醇检测产品配置单(固相萃取)/strong/span/a/pp　　本方法使用SePRO全自动高通量柱膜通用固相萃取系统净化饲料中喹乙醇回收率在90.9%~96.3%，RSD为2.0%，结果比较理想，验证样品加标浓度在10ug/mL回收率可靠，实验可行，避免人工操作繁琐的问题....../pp　　a title="维德维康：“315”检测产品列表" target="_blank" href="http://www.instrument.com.cn/netshow/sh103232/news_214958.htm"strongspan style="color: rgb(0, 112, 192) "维德维康：“315”检测产品列表/span/strong/a/pp　　2003年我国农业部明确规定了在猪肌肉与肝脏组织中喹乙醇代谢物的最大残留限量分别为：4 μg/kg( ppb) 、50μg/kg (ppb)。就此，维德维康推出酶联免疫试剂盒和胶体金快速检测卡等产品....../pp　　a title="天津阿尔塔科技：First Standard® 标准品应用于兽药检测" target="_blank" href="http://www.instrument.com.cn/netshow/SH103034/news_214936.htm"span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong天津阿尔塔科技：First Standard® 标准品应用于兽药检测/strong/span/a/pp　　在近日的315曝光中，一些饲料企业瞒天过海往饲料中非法添加各种“禁药”，包括“人用西药”。标准品是兽药检测中的必备试剂，First Standard® 标准品涵盖文中的所有兽药种类....../pp　　a style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline " title="【315曝光：饲料中的喹乙醇】看睿科检测解决方案" target="_blank" href="http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102039/news_214987.htm"span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong【315曝光：饲料中的喹乙醇】看睿科检测解决方案/strong/span/a/pp　　本文参考《农业部2086号公告-5-2014饲料中卡巴氧、乙酰甲喹、喹烯酮和喹乙醇的测定液相色谱-串联质谱法》，建立了利用高通量全自动固相萃取仪(reeko fotector plus)结合液相色谱/质谱检测饲料中喹乙醇的方法....../pp　　a title="猪肉中的药物残留害人害己 3.15海能在行动!" target="_blank" href="http://www.instrument.com.cn/netshow/SH101343/news_214878.htm"span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong猪肉中的药物残留害人害己，3.15海能在行动!/strong/span/a/pp　　饲料违规添加禁用药物，使饲养的动物傻吃酣睡猛长，但是抗生素却在肉中有残留，人食用这种肉以后，或产生“耐药性”。海能仪器应用实验室，现针对食用肉类中四种硝基呋喃类代谢物残留量测定，为大家提供以下方案....../ppbr//p