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埃斯科
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SSDR150
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欧洲
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描述
SSDR150是最新一代MPCVD反应堆。它是坚固的设备，以满足最苛刻的要求和最多样化的应用(量子物理，电容器，辐射探测器，光学窗口，热管理…)。该反应器的设计是针对PLASSYS的解决方案，是考虑微波、等离子体和流体动力学建模的迭代研究工作的结果。这使得SSDR150反应器成为可靠而坚固的设备，完全适应研发实验室和工业的需求。
10年来，PLASSYS一直致力于提高性能或集成新功能。这使得它现在成为一种优化的广谱工具，与电子/量子应用或光学仪器的钻石受控生长兼容。
优点:
通用的平台
工艺稳定性、可重复性、可靠性、长工艺兼容性(2-3周)
高功率密度等离子体(6kW, 2.45 GHz)
温度控制
Ø60 mm基板级包括z轴运动
操作压力:20- 400mbar
产品货期: 200天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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