AXIC等离子去胶机,等离子清洗机PlasmaSTAR 200
AXIC等离子去胶机,等离子清洗机PlasmaSTAR 200

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埃斯科

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PlasmaSTAR 200

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美洲

  • 银牌
  • 第1年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

AXIC PlasmaSTAR®

桶状等离子体处理的独特模块化方法

Axic公司的PlasmaSTAR®系列等离子体处理系统定义了桶状等离子体处理的新概念。该系统基于模块化设计概念。从通用基础单元开始,多个电极模块可轻松插入基础单元。您会发现易用性,各种等离子工艺,可维护性和有吸引力的价格是任何其他等离子无法超越的。


可互换电极模块

多种电极配置:笼,托盘,RIE,下游

经过验证的工艺配方

经过现场验证的组件

端点检测(可选)

自动射频匹配

下游压力控制(可选)

计算机控制

触摸屏操作

多种泵送方案


PlasmaSTAR 100

系统描述

在等离子体加工的研究、工艺开发和生产中,对高度通用和可靠的工具的需求一直是相当大的。随着等离子体研究需求的不断变化,所选择的系统必须能够提供最广泛的工艺参数,最高程度的可重复性,以验证工艺,并易于修改以满足新的工艺要求。PlasmaSTAR®系列干法处理系统将满足执行这些任务所需的苛刻要求。PlasmaSTAR®是一种等离子体工具,用于光刻胶的研究、工艺开发和批量生产,可用于各向同性和各向同性蚀刻、有机灰化、混合电路清洗、印刷电路板去屑、失效分析、塑料的表面处理和改性、聚合物沉积以及广泛的其他等离子体应用。


PlasmaSTAR®产品线为桶状等离子体系统提供了一种独特的新型模块化方法。PlasmaSTAR®可加工200毫米或更小的基板。(用于300mm晶圆的单晶圆RIE加工)选择经过验证的高质量组件,模块化子组件,通用腔室电极设计,紧凑的尺寸,自动化和现场验证的工艺配方将使PlasmaSTAR®成为等离子工艺工程师的“首选系统”。



PlasmaSTAR 200


售后服务承诺

产品货期: 200天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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埃斯科去胶机PlasmaSTAR 200的工作原理介绍

去胶机PlasmaSTAR 200的使用方法?

埃斯科PlasmaSTAR 200多少钱一台?

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去胶机PlasmaSTAR 200使用的注意事项?

埃斯科PlasmaSTAR 200的说明书有吗?

埃斯科去胶机PlasmaSTAR 200的操作规程有吗?

埃斯科去胶机PlasmaSTAR 200报价含票含运吗?

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