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SL-1023化学机械磨抛机，适用于 CMP 平坦化和平滑化工艺技术， 整机研磨部分采用防腐材料，耐化学腐
蚀，配置自动滴料器和精密磨抛控制仪，全自动触摸屏面板，从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。
·超平不锈钢抛光盘（平面度为每 25mm×25mm 小于 0.0025mm）。
·超精旋转轴（托盘端跳小于 0.01mm）。 ·设有两个加工工位，可分别进行控制。
·配有全自动控制触摸屏面板，可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。 ·配置自动滴料器，流量速率可视化调整， 自动研磨和抛光。
·配置 GPC-100A 精密磨抛控制仪，可调节压力，修整面型，使磨抛更加方便快捷。 ·研磨部分采用防腐材料，耐化学腐蚀。
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产品名称 | SL-1023化学机械磨抛机 |
产品型号 | SL-1023 |
安装条件 | 本设备要求在海拔 1000m 以下，温度 25℃±15℃ , 湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：设备配有上水口及下水口，需自行连接自来水及下排水 |
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2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：无 4、工作台：尺寸 800mm×600mm×700mm，承重 200kg 以上 5、通风装置：不需要 | |||
主要参数 | 主机部分 | GPC-100A 精密磨抛控制仪 | 自动滴料器 |
1、电源:220V 2、功率:450W 3、磨抛盘转速:10-240rpm 4、磨抛工位:2 个 5、摆臂调节档位:1-15 档 6、托盘端跳:0.008/250mm 7、不锈钢磨抛盘: φ300mm 8、载样盘 : φ 105mm 9、修盘环 : φ 127.5mm | 1、载样盘直径：Ø103mm 2、载样盘轴向行程：12mm 3、数显表精度：0.001mm 4、载样盘可调加载压力： 0.1kg-2.1kg 5、压力确认仪有效量程： 1g-5000g 6、样品装卡方式：真空吸附 7、承载样件尺寸： 直径≤103mm、厚度≤12mm 8、尺寸：外径 146mm，高 266mm | SKZD-2 滚筒滴料器 1、容积：1.5L 2、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm； 重量：3kg SKZD-4 自动滴料器 1、加液泵：4 个 2、料液瓶：600ml/瓶 3、计时范围：1-999min 4、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm； 重量：10kg | |
产品规格： ·尺寸：550mm×700mm×420mm ·重量：74Kg |
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序号 | 名称 | 数量 | 图片链接 |
1 | 铸铁磨盘 ( Ф300mm 花盘） | 1 个 |
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2 | 不锈钢磨盘 ( Ф300mm 平盘） | 1 个 |
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3 | 载物盘（陶瓷） | 1 个 |
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4 | 修盘环（陶瓷） | 1 个 |
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5 | 抛光垫（磨砂革、合成革、聚氨酯） | 各 1 片 |
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6 | 磁力片（带背胶） | 2 片 |
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7 | 研抛底片 | 2 片 |
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8 | 刚玉研磨微粉 | 0.5kg |
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9 | 石蜡棒 | 4 根 |
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10 | 二氧化硅悬浮抛光液 2040 W0.05 | 1 瓶 |
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客户信息： | 化学机械磨抛机 | ||||||
标准配置单 | |||||||
序号 | 产品编号 | 产品名称 | 规格 | 单位 | 数量 | 备注 | 图片（仅供参考） |
1 | 化学机械磨抛 机 | SL-1023 | 台 | 1 | 主机 |
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2 | 铸铁磨盘 | Ф300mm 花盘 | 件 | 1 |
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3 | 不锈钢磨盘 | Ф300mm 平盘 | 件 | 1 |
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4 | 41031929 | 载料盘 | Ф 105mm | 个 | 1 | 陶瓷 |
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5 | 41031930 | 修盘环 | Ф 127.5mm | 个 | 1 | 陶瓷 |
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6 | 51020117 | 磨砂革抛光垫 | Ф300mm | 片 | 1 | 带背胶 |
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7 | 51020127 | 合成革抛光垫 | Ф300mm | 片 | 1 | 带背胶 |
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8 | 51020135 | 聚氨酯抛光垫 | Ф300mm | 片 | 1 | 带背胶 |
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9 | 51020226 | 磁力片（带背 胶） | Φ300mm | 片 | 2 | 其中一个 粘在不锈 钢磨盘上 |
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10 | 51020232 | 研抛底片 | Φ300mm | 片 | 2 |
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11 | 51020030 | 刚玉研磨粉 | W14 | kg | 0.5 |
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12 | 51010107 | 石蜡棒 | Φ8*100mm | 根 | 4 | 粘接剂 |
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13 | 41030436 | 螺丝刀 | 5*75 一字 | 个 | 1 |
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14 | 41030049 | 内六角扳手 | 2.5 L 型 | 个 | 1 |
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15 | 41030070 | 内六角扳手 | 3 L 型 | 个 | 1 |
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16 | 41030086 | 内六角扳手 | 4 L 型 | 个 | 1 |
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17 | 41030103 | 内六角扳手 | 5 L 型 | 个 | 1 |
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18 | 41030119 | 内六角扳手 | 6 L 型 | 个 | 1 |
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19 | 41030137 | 内六角扳手 | 8 L 型 | 个 | 1 |
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20 | 41020198 | 增强管 | φ 14 PVC 纤 维增强 | m | 2 |
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21 | 41020295 | 增强管 | φ25 PVC 纤 维增强 | m | 2 |
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22 | 41020086 | 喉箍 | φ 18-32 不 锈钢 | 个 | 2 |
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23 | 41020211 | 喉箍 | φ 13-19 不 锈钢 | 个 | 2 |
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24 | 42010061 | 国标电源线 | 3*1.5 方 /1.5m | 个 | 1 |
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25 | 51020576 | 二氧化硅悬浮 抛光液 | 2040 W0.05 | kg | 5 | 1 瓶 |
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26 | 41050004 | 锁扣式夹板箱 | 930*790*590 | 个 | 1 | ||
27 | 合格证 | 份 | 1 | ||||
28 | 说明书 | 份 | 1 |
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产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
矢量科学磨抛机SL-1023的工作原理介绍
磨抛机SL-1023的使用方法?
矢量科学SL-1023多少钱一台?
磨抛机SL-1023可以检测什么？
磨抛机SL-1023使用的注意事项？
矢量科学SL-1023的说明书有吗？
矢量科学磨抛机SL-1023的操作规程有吗？
矢量科学磨抛机SL-1023报价含票含运吗？
矢量科学SL-1023有现货吗？
