看了等离子体刻蚀设备的用户又看了
CIF 推出的新一代科研型等离子清洗设备，合理的结构设计，优化的腔体尺寸，使得处理样品更大，适用范围更广。 产品性能稳定，操作简单方便，易维护。
应用领域：等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、线 路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用 于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
产品特点
◆ 7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20 个配方程序，工艺数据可存储追溯。
◆ PLC 控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
◆ 用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计或质量流量计 (CPC-FM)，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体控制准确。
◆ 气体返填吹扫，HEPA 高效过滤，防止二次污染。
◆ 316 不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用316 不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
◆ 采用 60 度倾角操作面板设计，符合人体功能学，操作方 便，界面友好。
◆ 上控制下舱体结构设计，结构紧凑，占地空间小。
◆ 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门不易损坏。
◆ 处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。
◆ 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。
◆ 安全保护，舱门打开，自动关闭电源。
技术参数
型号 | CPC-F | CPC-Fplus | CPC-FM | CPC-FMplus |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
射频功率 | 0-600W | 0-150W | 0-600W | 0-150W |
匹配器 | 自动匹配器 | 自动匹配器 | ||
激发方式 | 电容式或电感耦合（ICP） | 电容式或电感耦合（ICP） | ||
气体控制 | 双浮子流量计 | 单路 MFC（可选两路） | ||
舱体尺寸 | D200xΦ155mm | D200xΦ155mm | ||
舱体材质 | 不锈钢或石英玻璃 | 不锈钢或石英玻璃 | ||
舱体容积 | 3.8L-5L | 3.8L-5L | ||
有效处理尺寸 | L200xW155mm | L200xW155mm | ||
时间设定 | 9999 秒 | 9999 秒 | ||
真空泵 | 抽速 4m³/h | 抽速 4m³/h | ||
气体稳定时间 | 1 分钟 | 1 分钟 | ||
真空度 | 100pa 以内 | 100pa 以内 | ||
电 源 | AC220V 50/60Hz 766/316W | AC220V 50/60Hz 752/302W | ||
产品尺寸 | L440xW410xH455mm | L440xW410xH455mm | ||
包装尺寸 | L560xW560xH685mm | L560xW560xH685mm | ||
整机重量 | 32kg | 32kg | ||
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 有
免费仪器保养: 根据客户需求
保内维修承诺: 保期内免费更换零件
报修承诺: 24小时内响应
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