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批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300

批处理式自然氧化膜去除设备RISETM-300是用于去除位于LSI的Deep-Contact底部等难以去除的自然氧化膜的批处理式预清洗装置。可处理200mm，300mm尺寸晶圆。

产品特性 / Product characteristics

• 高产率以及低CoO

• 良好的刻蚀均一性（小于±5%/批）和再现性

• 干法刻蚀

• Damage-Free（远端等离子、低温工艺）

• 自对准接触电阻仅为湿法的1/2

• 灵活的装置布局

• 高维护性（方便的侧面维护）

• 300mm晶圆批处理：50枚/批

产品应用 / Product application

• 自对准接触形成工艺前处理

• 电镀工艺前处理

• 晶膜生长前处理

• Co/Ni自对准多晶硅化物的前处理

售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期: 是

现场技术咨询: 有

免费培训: 技术人员现场培训

免费仪器保养: 2个月1次

保内维修承诺: 软件免费重装，硬件维修

报修承诺: 24小时到达

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批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300信息由北京亚科晨旭科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于批处理式自然氧化膜去除设备 RISE-300报价、型号、参数等信息，ASTchian客服电话：400-860-5168转4552，欢迎来电或留言咨询。

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