看了等离子体刻蚀设备的用户又看了
蚀刻材料金属和电介质材料蚀刻
基板最大尺寸 8英寸
产品产量 1片/次
源(气): 注入式喷淋头式
卡盘单元卡盘通过冷却器冷却
基板背面He冷却
带夹具的机械晶片夹紧
电源偏置:RF功率Max.2kW@13.56MHz
ICP源:射频功率Max.3kW@13.56MHz
极限压力<5.0E-6Torr(TMP和干式泵)
压力控制摆阀,baratron压力计
负载锁定室极限压力:<5.0E-3Torr(干式泵或旋转泵)
气体输送SF6、CHF3、CF4、C4F8、BCl3、Cl2O2、Ar、He、,…
控制PC控制(UPRO软件)
可选静电卡盘,盒式装载锁
系统尺寸(宽*深*高)2050mm X 800mm X 1600mm
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 1次免费培训
免费仪器保养: 3月1次
保内维修承诺: 免费维修免费更换部件
报修承诺: 2小时响应
等离子体刻蚀KVET的工作原理介绍
等离子体刻蚀KVET的使用方法?
KVET多少钱一台?
等离子体刻蚀KVET可以检测什么?
等离子体刻蚀KVET使用的注意事项?
KVET的说明书有吗?
等离子体刻蚀KVET的操作规程有吗?
等离子体刻蚀KVET报价含票含运吗?
KVET有现货吗?
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