TESCAN LYRA3镓等离子双束FIB系统（GM）

TESCAN LYRA3镓等离子双束FIB系统

基于高分辨率肖特基FEG-SEM镜筒和高性能聚焦离子束镜筒，LYRA3 FIB-SEM是一款SEM与FIB良好结合的一体化系统，能够满足高要求客户的需要。

新一代场发射扫描电子显微镜（LYRA3）给用户带来了新的技术优点，包括改进的高性能电子设备使成像速度更快，包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的超快扫描系统，内置的编程软件等，都使LYRA3保持着很高的性价比。

LYRA3系列的设计适用于各种各样的SEM应用及当今研究和工业的需求。大电子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3维断层扫描等分析应用。借助于高性能软件，TESCAN的FIB-SEM已成为适合电子束/离子束光刻、TEM样品制备等应用的强大工具。LYRA3聚焦离子束扫描电子显微镜配备了XM与GM两种样品室。

现代电子光路

• 独特的大视野光路设计提供各种工作与显示模式

• 以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同“光阑转换器”

• 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束

• 全自动镜筒设置与对中

• 成像速度很快

• 3维电子束技术提供实时立体图像

• 可选的电子束遮没装置提供了电子束光刻技术

高性能离子光路

• 高性能CANION FIB设备提供既快又精确的切片与TEM样品制备技术

• 可选的高分辨率COBRA-FIB离子束设备在成像与铣削过程中依然保持很高的分辨率

聚焦离子束装置

• 装有两套差异泵的独特离子束装置使离子散射效应较更低

• 马达驱动高重复性光阑转换器

• 电子束遮没装置与法拉第筒作为标配

• 同时可以进行离子刻蚀/沉积与SEM成像

• FIB的操作软件集成在SEM软件

• 软件工具栏包括了基本形状与可编程的参数

• 微/纳米加工

• 离子束光刻

维修简单

只需要很短的停机检修时间，就能使得电镜长期保持在优化的状态。每个细节设计得非常仔细，使得仪器的效率最大化，操作最简化。

自动程序

自动设置和许多其他的自动化操作是设备的特点之一。除此之外，电镜还有样品台自动导航与自动分析 程序，能明显减少操作员的操作时间。通过内置脚本语言 （Python）可进入操作软件的大多数功能，包括显微镜控制、样品台控制、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户还可以编程其自己的自动操作程序。

用户界面友好的软件与软件工具

• 多用户和多语言操作界面

• 图像管理与报告生成

• 内置的系统检查与系统诊断

• 网络操作与远程进入/诊断

• 模块化的软件结构

• 标准的软件模块包括：自动离子束控制、电子束写入基本版、同时的FIB/SEM成像、预定义FIB工作模式等软件工具

• 可选软件包括了：颗粒度分析标准版/专家版、3维表面重建等模块

• 电子束写入软件使聚焦离子束扫描电子显微镜成为能进行电子束曝光、电子束沉积、电子束刻蚀、离子束沉积、离子束减薄的强大工具

• 可选的3D Tomography软件提供使用FIB时的全自动连续SEM图像，三维重构与三维可视化

TESCAN LYRA3镓等离子双束FIB系统（GM）

分析潜力

• 高亮度肖特基发射可获取高分辨率、高电流和低噪声的图像

• 可选配超高分辨率的In-Beam二次电子探头

• 独特的三透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN特有可优化电子束光阑的中间镜设计

• 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™）可模拟和进行束斑优化

• 成像速度快

• 低电压下的电子束减速模式（Beam Deceleration Technology – BDT），可获得高分辨率（选配）

• In-Beam背散射电子探头提供小工作距离下的BSE图像（选配），甚至适合铁磁性样品的分析

• 全计算机化优中心电动载台设计优化了样品操控

• 完美的几何设计更适合安装能谱仪（EDX）、波谱仪（WDX）、背散射电子衍射仪（EBSD）

• 由于使用了强力的涡沦分子泵和无油干式真空泵，因而可以快速简单的得到干净的真空样品室。电子枪的真空由离子泵维持。

• 全自动设置的显微镜包括了电子光路设置和合轴功能

• 网络操作和内置远程控制/诊断软件为标配

• 3维电子束技术提供了实时立体图像

• 在低真空模式下样品室真空可达到500Pa，用于观测不导电样品

• 独特的离子差异泵（2个离子泵）使得离子散射效应非常低

• 聚焦离子束镜筒内有马达驱动高重复性光阑转换器

• 聚焦离子束的标配包括了电子束遮没装置和法拉第筒

• 在高束流下，选配的Cobra聚焦离子束提供了超高的分辨率和卓越的性能

• FIB切割、信号采集、3维重构（断层摄影术），3D EBSD、3D EBIC与集成3维可视化

• 成熟的SEM/FIB/GIS操作软件，图片的获取、存档、处理和分析功能

LYRA3配置

LYRA3 GMH
装有马达驱动全计算机化优中心样品台的超大样品室电镜，适用于在高真空模式下对导电样品的分析。

LYRA3 GMU
可变真空式SEM，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。

软件（标配）：

• 测量

• 图象处理

• 3维扫描

• 硬度测量

• 多图像校准

• 对象区域

• 自动关机时间

• 公差

• 编程软件

• 定位

• 投影面积

• EasySEM^TM

软件（选配）：

根据实际配置和需求

配件：

• 二次电子探头

• 背散射电子探头

• In-Beam SE

• In-Beam BSE

• 探针电流测量

• 压差式防碰撞报警装置

• 可观察样品室内部的红外线摄像头

• TOP-SIMS

• 二次离子探头

等，各种配件可供选择