电子枪种类: 冷场发射
产地类别: 进口
二次电子图象分辨率: 0.8 nm(加速电压 15 kV) 0.9 nm(加速电压 1 kV)
放大倍数: 20~2,000,000倍
加速电压: 0.1~30 kV
背散射电子图像分辨率: ZrO/W热场发射(肖特基热场发射)
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在相同WD的条件下,可同时实现二次电子、背散射电子观察与X射线分析
最多可同时实现6通道检测与显示
可配置18个附件接口
应用领域:
金属
复合材料
半导体器件
EBSP分析
最多添加5台