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SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品,配置超高分辨率与观察能力。此系列突破了传统SEM产品受安装样品尺寸与重量的限制,通过简单的操作即可实现数据采集。可用于钢铁等工业材料,汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。
此外,SE系列包括4种型号(两种类型,两个等级),满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途(如微观结构控制:用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能;异物、缺陷分析:用于提高产品品质)选择适合的产品。
产品特点:
热场SEM支持低真空,搭载超大样品仓,可扩展实现更多功能
电子显微镜是进行材料形貌评价与分析的重要手段,而且直接观察样品的需求很常见。
SU3900/SU3800SE系列搭载牢固的多用途样品仓,对于非导电性样品,无需进行导电处理(金属镀膜);对于超大超重样品,无需进行切割等破环处理,可以直接安装到样品台,实现样品的多角度观察。
【SU3900SE/SE Plus】
ф300mm晶圆安装示例 在使用样品交换仓时
也可以安装高度45mm的样品。
130mm 高金属配件安装示例
具有更高的分辨率和样品极表面信息观察的能力
此系列搭载新开发的热场电子枪,在高、低加速电压条件下,均可获得超高分辨率图像。
高端型号(SE Plus)可以满足对样品极表面的观察需求。
并且,标配的低电压高灵敏度背散射电子探测器,可以获取高质量的样品成分和凹凸信息。
SE系列的探测系统,通过选配的UVD探测器,还可以获得样品多种类型信息,实现多种模式观察。
自动化、辅助功能让操作更便捷
SU3900/SU3800 SE系列配备自动光学系统调整功能,可大量简化操作流程。
此外,使用选配功能【EM Flow Creator】,可以自动连续获取图像。
将条件设置(如放大倍率,样品台位置等)、调整对焦/对比度等SEM功能转化为可组合的模块,生成一系列观察程序。每个客户都可以创建自己的观察程序。
通过拖拽模块,可以像流程表一样创建程序。通过执行创建的程序,即可实现自动观察。
①确定指定区域,以×300倍率拍摄低倍图像
②以×1,000 拍摄同一区域的中倍图像
③以×5,000 拍摄同一区域的高倍图像
应用案例
金属
铁丝断面
可以确认韧性断裂引起的微小孔洞
电子元件
电路板 多层陶瓷电容器横截面
通过低倍率、高倾斜观察,可以确认贴装元件的立体形状及位置 可以观察到镍电极/电介质层的成分和晶体衬度
无机材料
氧化锌颗粒 高熵硬质合金薄膜
可以观察到50 nm 左右的细小颗粒及立体形状 可以观察到不同成分/形状的多个颗粒的分布
电池材料
锂离子电池正极材料 锂离子电池负极材料
可以观察到正极材料颗粒与周围粘合剂的分布 可以观察到负极材料最表面的粘合剂
保修期: 面议
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 面议
免费仪器保养: 面议
保内维修承诺: 面议
报修承诺: 面议
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