电子枪种类: 冷场发射
二次电子图象分辨率: 1.0nm@15kV,1.6nm@1kV,2.5nm@1kV
放大倍数: 25~800,000
加速电压: 0.5~30kV
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日立高新分析超高分辨率肖特基热场发射扫描电子显微镜SU-70 是一种新概念扫描电子显微镜。日立高新分析超高分辨率肖特基热场发射扫描电子显微镜SU-70采用了日立经过实地验证的 “semi-in-lens”超高分辨率技术以及肖特基热场发射电子枪技术。
除了具有超高分辨率(1.0 nm/15 kV,1.6 nm*/1 kV)的特点外,日立高新分析超高分辨率肖特基热场发射扫描电子显微镜SU-70 还借助声名远播的SuperExB功能可观察减轻荷电图像,成分构成对比图像,超低加速电压图像*。肖特基场发射电子枪的探针电流为100nA,可进行各种各样的分析操作(X 射线能谱仪*, X射线波谱仪*,电子背散射衍射系统*等)(*选购件)。
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