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IDE PAD系列低频主动隔振平台,是专为精密设备消除低频振动的平台。PAD系列主动隔振台一般放在地面上,从而将精密设备从地面隔离出来,起到隔振效果。 产品特点: a) 压电陶瓷材质,能够随表面应力的变化而实时变化 b) 六维自由度隔振,不仅检测地面振动,还可检测其他方向振动 c) 主动隔振频率0.7~150Hz,低频隔振效果显著 d) 减振步幅大,每次达到100微米 e) 无需空气装置
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