NanoMEGAS 透射电镜旋进电子衍射和纳米晶体分析系统 DigiSTAR

核心参数：

DigiSTAR P2010 数字化旋进电子衍射控制器

•    适合于任意 200-300kV 透射电镜 ;

•    电子束的旋进和扫描不依赖于电镜STEM附件,有无STEM附件均可; 安装时可选择工作于 TEM 或 STEM 模式；

•    电子束旋进角范围：0 ~ 2.5° ;

•    电子束旋进频率 : 场发射 TEM 典型值为 100/200Hz；安装Merlin 直接电子探测器后可提高到≥ 300Hz（取决于 TEM）；

•    最小束斑 ≤ 2nm (FEG-TEM)；平行光模式和纳米束模式；

•    电子束的旋进和去扫描控制可以单独控制和微调 ;

•    电子束旋进过程中可以通过控制器独立实现电子束的微调和对中;

•    旋进电子衍射控制器关闭后对电镜的所有参数均不产生影响。

TopSPIN 旋进电子衍射扫描和数据采集软件平台

•    使用所支持的光学相机和 / 或直接电子探测器实现虚拟 STEM/ 明场像 / 暗场像；

•    多种扫描方式，如点、线、面；

•    基本图像处理功能，如亮度直方图、Gama  调整、自动数据转移和图像输出等；

•    集成旋进电子衍射工作模式；

•    电子束旋进控制和自动合轴对中；

•    相机常数辅助校准，畸变辅助矫正；

•    电子束漂移矫正；

•    为 ASTAR 优化的数据采集工作流程。

ASTAR 纳米晶体取向和晶相分布分析软件

•    电子束最小扫描步长：≤ 1 nm (FEG TEM)；

•    空间分辨率 : ≤ 2 nm (FEG TEM);

•    晶体取向分辨率 ≤ 1° ;

•    使用 Merlin 1R 直接电子探测器 , 衍射花样采集速度可达 150 ~

≥ 400 幅 / 秒（取决于 TEM）;

•    电子衍射花样模版生成系统包含所有晶系 ;

•    电子衍射花样的识别和指标化全自动完成 ;

•    自动完成晶体取向图、晶相分布图；

•    虚拟明场像、虚拟暗场像 ( 可选一个或多个衍射斑点 )；

•    孪晶、晶界、晶粒度、非晶化区域分析功能。

STRAIN 纳米晶体应变分析软件

•    空间分辨率≤ 3nm；

•    应变分析精度≤ ±0.02%;

•    在旋进电子衍射条件下快速实现点、线、面分析。

ADT-3D 电子衍射花样三维重构分析软件

•    对序列旋进电子衍射花样 ( 样品倾斜范围 +/-40°或更大，倾斜步长 1° ) 进行三维倒易空间重构，确定晶体的单胞参数 ( 精度 2~3%)；

•    对特殊晶体结构 ( 如孪晶和位错 ) 进行分析；

•    对每个衍射斑点自动指标化并提取出其强度，然后使用标准的晶体学软件 ( 本系统未包含这些软件 ) 进行晶体学分析。

产品介绍：

旋进电子衍射原理示意图

DigiSTAR/MerlinEM-1R 应用实例

样品：Ti 合金。从左至右：虚拟明场像，相分布图 ( 红色α 相、蓝色 β 相 )，晶体取向图

样品：Al-9nm/TiN-1nm 多层膜结构。

上：ASTAR 取向图，红色层为 Al 层，绿色层为1nm TiN 层。

下：ASTAR 取向图，1nm TiN 标示为黑色带。

Si 基底上纳米 SiGe 层的应变分析